用于使微机电系统反射镜倾斜的电极配置的制作方法

技术特征：
1.一种微机电系统设备，即mems设备，包括:反射镜结构，从第一铰链和第二铰链悬挂，第一铰链和第二铰链被布置成使得反射镜结构能够围绕倾斜轴线倾斜，其中反射镜结构包括位于倾斜轴线的相反侧的第一促动器和第二促动器；固定电极，其联接到第一促动器，以基于施加到固定电极的固定电压，使反射镜结构围绕倾斜轴线在第一方向上倾斜；和驱动电极，其联接到第二促动器，以基于施加到驱动电极的驱动电压，使反射镜结构围绕倾斜轴线在与第一方向相反的第二方向上倾斜。2.根据权利要求1的mems设备，其中施加到固定电极的固定电压导致反射镜结构围绕倾斜轴线在第一方向上倾斜第一角度。3.根据权利要求2的mems设备，其中施加到驱动电极的驱动电压的最大值导致反射镜结构围绕倾斜轴线在第二方向上倾斜第二角度，使得第一角度和第二角度的总和限定反射镜结构的倾斜范围。4.根据权利要求3的mems装置，其中倾斜范围基于以下中的一个或多个：固定电压的值、驱动电压的最大值、第一铰链或第二铰链中的一个或多个的刚度、第一促动器或第二促动器中的一个或多个的一个或多个位置、或者第一促动器或第二促动器中的一个或多个的一个或多个几何结构。5.根据权利要求2的mems设备，其中反射镜结构包括被布置成接收负偏置电压的膜，使得施加到固定电极的有效电压基于固定电压和负偏置电压。6.根据权利要求1的mems设备，其中第一促动器包括第一组静电梳，第二促动器包括第二组静电梳。7.根据权利要求1的mems设备，其中第一促动器包括第一组静电平行板，并且第二促动器包括第二组静电平行板。8.根据权利要求1的mems设备，进一步包括:驱动通道，包括将驱动电极连接到数模转换器的接口，该数模转换器被配置为将驱动电压施加到驱动电极。9.一种方法，包括:向包括反射镜结构的微机电系统设备的固定电极施加固定电压，所述微机电系统设备即mems设备；其中反射镜结构包括位于倾斜轴线的相反侧的第一促动器和第二促动器，并且其中向固定电极施加固定电压导致第一促动器使得反射镜结构围绕倾斜轴线在第一方向上倾斜；和向mems设备的驱动电极施加驱动电压，基于施加到驱动电极的驱动电压，驱动电压导致第二促动器使得反射镜结构围绕倾斜轴线在与第一方向相反的第二方向上倾斜。10.根据权利要求9的方法，其中将固定电压施加到固定电极导致反射镜结构围绕倾斜轴线倾斜第一角度，第一角度具有的值基于固定电压的值。11.根据权利要求10的方法，其中将驱动电压施加到驱动电极导致反射镜结构围绕倾斜轴线倾斜第二角度，第二角度具有的值基于驱动电压的值。12.根据权利要求11的方法，其中反射镜结构的倾斜范围基于以下中的一个或多个：固
定电压的值、驱动电压的最大值、使得反射镜结构能够围绕倾斜轴线倾斜的一个或多个铰链的刚度、第一促动器或第二促动器中的一个或多个的一个或多个位置、或者第一促动器或第二促动器中的一个或多个的一个或多个几何结构。13.根据权利要求10的方法，进一步包括:向反射镜结构的膜施加负偏压，其中施加到固定电极的有效电压基于固定电压和负偏置电压。14.根据权利要求9的方法，其中第一促动器包括第一组静电梳或静电平行板，并且其中第二促动器包括第二组静电梳或静电平行板。15.根据权利要求9的方法，其中mems设备包括单个驱动通道，以接收施加到驱动电极的驱动电压。16.一种微机电系统设备，即mems设备，包括:反射镜结构，被配置为围绕倾斜轴线倾斜；第一促动器，位于倾斜轴线的第一侧，被配置为基于施加到第一促动器的预倾斜电压，使反射镜结构围绕倾斜轴线在第一方向上倾斜第一角度；和驱动通道，包括位于倾斜轴线的第二侧上的第二促动器，该第二促动器被配置为基于施加到设置在驱动通道中的驱动电极的驱动电压，使反射镜结构围绕倾斜轴线在与第一方向相反的第二方向上倾斜第二角度，其中反射镜结构具有基于预倾斜电压和驱动电压最大值的倾斜范围。17.根据权利要求16的mems设备，其中预倾斜电压基于施加到与第一促动器联接的固定电极的固定电压。18.根据权利要求16的mems设备，其中预倾斜电压基于施加到反射镜结构的膜的负偏置电压。19.根据权利要求16的mems设备，其中预倾斜电压基于施加到与第一促动器联接的固定电极的固定电压和施加到反射镜结构的膜的负偏置电压。20.根据权利要求16的mems设备，其中，倾斜范围基于预倾斜电压的值、驱动电压的最大值、使得反射镜结构能够围绕倾斜轴线倾斜的一个或多个铰链的刚度、第一促动器或第二促动器中的一个或多个的一个或多个位置、或者第一促动器或第二促动器中的一个或多个的一个或多个几何结构。

技术总结
一种微机电系统(MEMS)设备可以包括：反射镜结构，从第一铰链和第二铰链悬挂，第一铰链和第二铰链被布置成使得反射镜结构能够围绕倾斜轴线倾斜。反射镜结构包括位于倾斜轴线的相反侧的第一促动器和第二促动器。MEMS设备可以包括固定电极，其联接到第一促动器，以基于施加到固定电极的固定电压，使反射镜结构围绕倾斜轴线在第一方向上倾斜。MEMS设备包括驱动电极，其联接到第二促动器，以基于施加到驱动电极的驱动电压，使反射镜结构围绕倾斜轴线在与第一方向相反的第二方向上倾斜。与第一方向相反的第二方向上倾斜。与第一方向相反的第二方向上倾斜。


技术研发人员：G.威尔斯 W.金 J.布莱赫塔 S.H.伍德赛德
受保护的技术使用者：朗美通经营有限责任公司
技术研发日：2021.09.06
技术公布日：2022/3/29