一种全自动半导体加热设备的制作方法

1.本发明涉及半导体技术领域，具体为一种全自动半导体加热设备。


背景技术：

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。
3.传统的半导体在加工生产过程中需要对其进行加热操作，传统的加热设备存在一定的缺陷，其不能加热上料一般采用人工上料的方式进行上下料，增加了上料时间，延长生产时间，增加成本。


技术实现要素：

4.本发明提供了一种全自动半导体加热设备，解决了上述背景技术中提出的问题。
5.为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种全自动半导体加热设备，包括下底板，所述下底板的上侧表面上设置有内传动机构，所述下底板的上表面上且位于内传动机构的两侧分别设置有第一输送带和第二输送带，所述下底板的上侧依靠支撑柱固定设置有加热机箱，所述加热机箱的底部开设有烘干口，所述内传动机构的底部设置有清洗机；
6.所述内传动机构包括设置在下底板中部转运半导体的转动架组件，所述转动架组件的两侧分别设置有上料组件和下料组件，并且上料组件和下料组件依靠转动架组件中心对称设置，上料组件与下料组件内的驱动电机反向转动，实现不同的转运效果，第二输送带将下料组件转运后的半导体转运出去。
7.作为本发明进一步的方案：所述上料组件包括固定设置在下底板上的第一内支撑杆、第二内支撑杆和驱动电机，所述第一内支撑杆设置有两个，两个第一内支撑杆的上端上均转动设置有转动滑块，所述第一内支撑杆上依靠转动滑块转动且滑动设置有吸料支架，所述第二内支撑杆上转动设置有转动连杆，所述驱动电机的驱动端上转动设置有内转轮，所述内转轮的正上方转动设置有马耳他机芯轮，所述转动连杆的上端与吸料支架之间转动连接，所述转动连杆的下端与外长杆的一端转动连接，所述外长杆的另一端与内转轮之间转动连接，其整体是实现半导体上料动作；
8.通过驱动电机的启动带动内转轮转动，进而带动马耳他机芯轮进行转动，由于内转轮与马耳他机芯轮之间适配转动，确保一个面的竖直方向，同时内转轮的转动带动外长杆进行摆动，拉动转动连杆进行摆动，转动连杆与吸料支架之间转动连接，带动吸料支架进行直角转动运动，吸料支架上的吸盘面板将对准八角转动辊上的吸面面板进行吸取或者收
放，将半导体从第一输送带上转运到吸面面板上，八角转动辊在驱动电机的作用下间歇转动，间歇转动的八角转动辊上的吸面面板至最上面时，烘干口对其进行加热，在间歇转动转运下来，利用下料组件反向操作进行拿取，使得其上下料都为及其上下料，替代人工上下料，手工改自动，大大提高了工作效率。
9.作为本发明进一步的方案：所述下料组件与上料组件的整体结构相同，保证装置整体的通用性。
10.作为本发明进一步的方案：所述转动架组件包括固定在下底板上的支撑架，所述支撑架在下底板上设置有两个，两个支撑架之间转动设置有八角转动辊，所述八角转动辊的八个表面上设有吸面面板，转动架组件作用中间转运载体，需要具备一定的耐高温的物理特性。
11.作为本发明进一步的方案：所述吸料支架包括两个侧边支架，两个侧边支架的相同一端上固定设置有吸盘面板，所述吸盘面板靠近侧边支架的一端上固定设置有抽气面板，每个侧边支架上均开设有滑槽口，并且滑槽口与转动滑块之间相适配，侧边支架的内部可以进行抽气的动作，将吸盘面板从第一输送带上吸取半导体。
12.作为本发明进一步的方案：所述转动连杆包括转动设置在第二内支撑杆内的连接轴，所述连接轴的一端上侧固定设置有上转动连杆，所述连接轴的另一端下侧固定设置有下转动连杆，所述上转动连杆与下转动连杆之间的夹角为钝角，确保力的转动的平稳性，不会因为角度的偏离造成力方向的改变。
13.作为本发明进一步的方案：所述内转轮主体包括转动设置在支撑架上的内转轮主体，所述内转轮主体的一侧固定设置有上连杆，所述内转轮主体的另一侧固定设置有下连杆，所述上连杆与下连杆之间为钝角设置，所述上连杆与下连杆远离内转轮主体的端口上固定设置有限制块，确保内转轮与马耳他机芯轮之间的间歇转动稳定性。
14.作为本发明进一步的方案：所述马耳他机芯轮与八角转动辊之间保证同步转动。
15.作为本发明进一步的方案：所述清洗机包括两个三脚架，两个三脚架之间转动设置三个内转辊，三个内转辊的外部共同设置有一个清洁带，所述的底部固定设置有下支架，所述清洁带的底部并且位于下底板的上侧固定设置有清洁池，所述清洁带的上表面与吸面面板的表面相接。
16.作为本发明进一步的方案：其工作方法，包括如下步骤：
17.步骤s1：将前道工序的半导体加工件按照顺序摆放在第一输送带上，第一输送带进行间接传动；
18.步骤s2：第一输送带间歇传动停止后，驱动电机启动，驱动电机的启动带动内转轮转动，进而带动马耳他机芯轮进行转动，由于内转轮与马耳他机芯轮之间适配转动，进而马耳他机芯轮保证45
°
的转动，确保一个面的竖直方向，同时内转轮的转动带动外长杆进行摆动，拉动转动连杆进行摆动，转动连杆与吸料支架之间转动连接，带动吸料支架进行直角转动运动，吸料支架上的吸盘面板将对准八角转动辊上的吸面面板进行吸取或者收放，将半导体从第一输送带上转运到吸面面板上，八角转动辊在驱动电机的作用下间歇转动；
19.步骤s3：间歇转动的八角转动辊上的吸面面板至最上面时，烘干口对其进行加热，在间歇转动转运下来，利用下料组件反向操作进行拿取。
20.本发明提供了一种全自动半导体加热设备。与现有技术相比具备以下有益效果：
21.1.一种全自动半导体加热设备，通过驱动电机的启动带动内转轮转动，进而带动马耳他机芯轮进行转动，由于内转轮与马耳他机芯轮之间适配转动，进而马耳他机芯轮保证45
°
的转动，确保一个面的竖直方向，同时内转轮的转动带动外长杆进行摆动，拉动转动连杆进行摆动，转动连杆与吸料支架之间转动连接，带动吸料支架进行直角转动运动，吸料支架上的吸盘面板将对准八角转动辊上的吸面面板进行吸取或者收放，将半导体从第一输送带上转运到吸面面板上，八角转动辊在驱动电机的作用下间歇转动，间歇转动的八角转动辊上的吸面面板至最上面时，烘干口对其进行加热，在间歇转动转运下来，利用下料组件反向操作进行拿取，使得其上下料都为及其上下料，替代人工上下料，手工改自动，大大提高了工作效率。
22.2.通过内转辊与外界驱动电机相连，内转辊的转动带动清洁带转动，清洁带与吸面面板的底部相接触，吸面面板转动的同时清洁带的转动也对吸面面板的表现进行擦拭清洁，同时擦拭后的清洁带在利用清洁池清洗清洁带表面，方便对清洁带的清洁，整体保证其表面的洁净程度，防止杂质对半导体的加热产生影响。
附图说明
23.为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本发明作进一步的说明。
24.图1为本发明结构示意图；
25.图2为本发明内传动机构结构示意图；
26.图3为本发明上料组件结构示意图；
27.图4为本发明吸料支架结构示意图；
28.图5为本发明转动连杆结构示意图；
29.图6为本发明内转轮结构示意图；
30.图7为本发明转动架组件结构示意图；
31.图8为本发明清洗机结构示意图。
32.图中：1、加热机箱；2、支撑柱；3、第一输送带；4、下底板；5、内传动机构；51、上料组件；511、吸料支架；5111、侧边支架；5112、滑槽口；5113、抽气面板；5114、吸盘面板；512、转动滑块；513、第一内支撑杆；514、转动连杆；5141、上转动连杆；5142、连接轴；5143、下转动连杆；515、第二内支撑杆；516、外长杆；517、驱动电机；518、内转轮；5181、内转轮主体；5182、下连杆；5183、上连杆；5184、限制块；519、马耳他机芯轮；52、转动架组件；521、八角转动辊；522、吸面面板；523、支撑架；53、下料组件；6、第二输送带；7、烘干口；8、清洗机；81、内转辊；82、清洁带；83、三脚架；84、下支架；85、清洁池。
具体实施方式
33.为更进一步阐述本发明为实现预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如下。
34.请参阅图1-8所示，一种全自动半导体加热设备，包括下底板4，所述下底板4的上侧表面上设置有内传动机构5，所述下底板4的上表面上且位于内传动机构5的两侧分别设置有第一输送带3和第二输送带6，所述下底板4的上侧依靠支撑柱2固定设置有加热机箱1，所述加热机箱1的底部开设有烘干口7，所述内传动机构5的底部设置有清洗机8；
35.所述内传动机构5包括设置在下底板4中部转运半导体的转动架组件52，所述转动架组件52的两侧分别设置有上料组件51和下料组件53，并且上料组件51和下料组件53依靠转动架组件52中心对称设置，上料组件51与下料组件53内的驱动电机517反向转动，实现不同的转运效果，第二输送带6将下料组件53转运后的半导体转运出去。
36.所述上料组件51包括固定设置在下底板4上的第一内支撑杆513、第二内支撑杆515和驱动电机517，所述第一内支撑杆513设置有两个，两个第一内支撑杆513的上端上均转动设置有转动滑块512，所述第一内支撑杆513上依靠转动滑块512转动且滑动设置有吸料支架511，所述第二内支撑杆515上转动设置有转动连杆514，所述驱动电机517的驱动端上转动设置有内转轮518，所述内转轮518的正上方转动设置有马耳他机芯轮519，所述转动连杆514的上端与吸料支架511之间转动连接，所述转动连杆514的下端与外长杆516的一端转动连接，所述外长杆516的另一端与内转轮518之间转动连接，其整体是实现半导体上料动作。
37.所述下料组件53与上料组件51的整体结构相同，保证装置整体的通用性。
38.所述转动架组件52包括固定在下底板4上的支撑架523，所述支撑架523在下底板4上设置有两个，两个支撑架523之间转动设置有八角转动辊521，所述八角转动辊521的八个表面上设有吸面面板522，转动架组件52作用中间转运载体，需要具备一定的耐高温的物理特性。
39.所述吸料支架511包括两个侧边支架5111，两个侧边支架5111的相同一端上固定设置有吸盘面板5114，所述吸盘面板5114靠近侧边支架5111的一端上固定设置有抽气面板5113，每个侧边支架5111上均开设有滑槽口5112，并且滑槽口5112与转动滑块512之间相适配，侧边支架5111的内部可以进行抽气的动作，将吸盘面板5114从第一输送带3上吸取半导体。
40.所述转动连杆514包括转动设置在第二内支撑杆515内的连接轴5142，所述连接轴5142的一端上侧固定设置有上转动连杆5141，所述连接轴5142的另一端下侧固定设置有下转动连杆5143，所述上转动连杆5141与下转动连杆5143之间的夹角为钝角，确保力的转动的平稳性，不会因为角度的偏离造成力方向的改变。
41.所述内转轮518包括转动设置在支撑架523上的内转轮主体5181，所述内转轮主体5181的一侧固定设置有上连杆5183，所述内转轮主体5181的另一侧固定设置有下连杆5182，所述上连杆5183与下连杆5182之间为钝角设置，所述上连杆5183与下连杆5182远离内转轮主体5181的端口上固定设置有限制块5184，确保内转轮518与马耳他机芯轮519之间的间歇转动稳定性。
42.所述清洗机8包括两个三脚架83，两个三脚架83之间转动设置三个内转辊81，三个内转辊81的外部共同设置有一个清洁带82，所述83的底部固定设置有下支架84，所述清洁带82的底部并且位于下底板4的上侧固定设置有清洁池85，所述清洁带82的上表面与吸面面板522的表面相接触，其中内转辊81与外界驱动电机相连的，内转辊81的转动带动清洁带82转动，清洁带82与吸面面板522的底部相接触，吸面面板522转动的同时清洁带82的转动也对吸面面板522的表现进行擦拭清洁，同时擦拭后的清洁带82在利用清洁池85清洗清洁带82表面，方便对清洁带82的清洁，整体保证其表面的洁净程度，防止杂质对半导体的加热产生影响。
43.所述马耳他机芯轮519与八角转动辊521之间保证同步转动。
44.其工作方法，包括如下步骤：
45.步骤s1：将前道工序的半导体加工件按照顺序摆放在第一输送带3上，第一输送带3进行间接传动；
46.步骤s2：第一输送带3间歇传动停止后，驱动电机517启动，驱动电机517的启动带动内转轮518转动，进而带动马耳他机芯轮519进行转动，由于内转轮518与马耳他机芯轮519之间适配转动，进而马耳他机芯轮519保证45
°
的转动，确保一个面的竖直方向，同时内转轮518的转动带动外长杆516进行摆动，拉动转动连杆514进行摆动，转动连杆514与吸料支架511之间转动连接，带动吸料支架511进行直角转动运动，吸料支架511上的吸盘面板5114将对准八角转动辊521上的吸面面板522进行吸取或者收放，将半导体从第一输送带3上转运到吸面面板522上，八角转动辊521在驱动电机517的作用下间歇转动；
47.步骤s3：间歇转动的八角转动辊521上的吸面面板522至最上面时，烘干口7对其进行加热，在间歇转动转运下来，利用下料组件53反向操作进行拿取。
48.本发明在使用时，将前道工序的半导体加工件按照顺序摆放在第一输送带3上，第一输送带3进行间接传动，第一输送带3间歇传动停止后，驱动电机517启动，驱动电机517的启动带动内转轮518转动，进而带动马耳他机芯轮519进行转动，由于内转轮518与马耳他机芯轮519之间适配转动，进而马耳他机芯轮519保证45
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的转动，确保一个面的竖直方向，同时内转轮518的转动带动外长杆516进行摆动，拉动转动连杆514进行摆动，转动连杆514与吸料支架511之间转动连接，带动吸料支架511转动，同时，第一内支撑杆513上的转动滑块512滑动设置在吸料支架511上的滑槽口5112内，当转动连杆514带动吸料支架511摆动的同时，转动滑块512上的通过限制吸料支架511上的滑槽口5112，这样吸料支架511的一端在第一内支撑杆513上滑动转动，另一端在转动连杆514的限制下被举升起来，由于转动连杆514的长度限制，吸料支架511在转动滑块512和转动连杆514的限制下，实现从竖直向下改变为横向水平，转动角度为90度，吸料支架511上的吸盘面板5114将对准八角转动辊521上的吸面面板522进行吸取或者收放，将半导体从第一输送带3上转运到吸面面板522上，八角转动辊521在驱动电机517的作用下间歇转动，间歇转动的八角转动辊521上的吸面面板522至最上面时，烘干口7对其进行加热，在间歇转动转运下来，利用下料组件53反向操作进行拿取。
49.以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简介修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。