一种平面溅射靶材的制作方法

1.本实用新型涉及平面溅射镀膜技术领域，具体为一种平面溅射靶材。


背景技术：

2.平面溅射镀膜属于物理气相沉积方法制备薄膜的工艺之一，具体是指利用高能粒子轰击靶材表面，使得靶材原子或分子获得足够的能量逸出，并沉积在基材或工件表面，从而形成薄膜，平面溅射镀膜中溅射靶材是不可缺少的工具；
3.平面溅射靶材的绑定过程中需要对溅射靶材升温至230℃-360℃，以达到绑定层的熔点，保持绑定层材料流动性，从而完成基片和背板之间的绑定结合，然后对绑定靶材进行冷却，待绑定层材料凝固稳定后绑定工序完成，然而使用常规的自然冷却方法对绑定靶材进行冷却处理，冷却用时较长，约占整个绑定工时的一半，生产效率低，并且溅射镀膜过程中，靶材处于高温环境中，为了对靶材进行降温，通常采用持续的高压冷却水冲击，在该过程中，背板以及靶材会受到较大的冲击力，从而影响其使用寿命。


技术实现要素：

4.为了克服现有技术方案的不足，本实用新型提供一种平面溅射靶材。
5.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种平面溅射靶材，包括靶材、背板以及底座，所述靶材固定设于背板前端面的中心位置处，所述背板竖直设置在底座的端面上；
6.所述背板设有一用于安装靶材的安装槽，所述安装槽设有与靶材背部相接触的导热板，所述背板的背部固定设有散热组件。
7.优选地，所述散热组件包括一组波浪形结构的导热管，所述导热管内部封存有导热剂。
8.优选地，所述散热组件包括平行且间隔设置的一组冷水槽，所述冷水槽沿背板的长度方向延伸，所述冷水槽的两端分别具有进水口以及出水口。
9.优选地，所述靶材的背部设有连接板，所述连接板的背部设有多组夹持板，每组所述夹持板与相对应的导热板夹持连接。
10.优选地，所述底座设有直线型的滑槽，而背板底部成型有一用于与滑槽配合连接的滑块。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.靶材通过连接板以及夹持板与设置在安装槽上导热板配合连接，靶材在溅射镀膜过程中所产生的热量通过导热板传递到背板表面，背板的表面温度则分别通过导热管以及冷水槽进行快速散热，一方面连接板可起到连接作用，另一方面连接板可提高靶材的抗变形能力，同时起到保护背板的作用效果。
附图说明
13.图1为本实用新型的结构示意图；
14.图2为本实用新型靶材的结构示意图；
15.图3为本实用新型背板的结构示意图；
16.图4为本实用新型连接板的结构示意图。
17.图中标号:
18.背板1、靶材2、安装槽3、导热板4、连接件5、导热管6、冷水槽7、滑块8、底座9、夹持板10、连接板11。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.如图1-4所示，本实用新型提供了一种平面溅射靶材，包括靶材2、背板1以及底座9，所述靶材2固定设于背板1前端面的中心位置处，所述背板1竖直设置在底座9的端面上；
21.所述背板1设有一用于安装靶材2的安装槽3，所述安装槽3设有与靶材2背部相接触的导热板4，所述背板1的背部固定设有散热组件；
22.所述散热组件包括一组波浪形结构的导热管6，导热管6平行且间隔分布在背板1的上端与下端，所述导热管6内部封存有导热剂。
23.所述散热组件包括平行且间隔设置的一组冷水槽7，所述冷水槽7沿背板1的长度方向延伸，所述冷水槽7的两端分别具有进水口以及出水口。
24.所述靶材2的背部设有连接板11，所述连接板11的背部设有多组夹持板10，每组所述夹持板10与相对应的导热板4夹持连接，夹持板10表面涂覆有导热涂层，且相邻夹持板10之间具有便于散热的对流槽。
25.所述底座9设有直线型的滑槽，而背板1底部成型有一用于与滑槽配合连接的滑块8，背板1通过滑块8与底座9连接可有效提高靶材2在溅射镀膜过程中的稳定性。
26.靶材通过连接板以及夹持板与设置在安装槽上导热板配合连接，靶材在溅射镀膜过程中所产生的热量通过导热板传递到背板表面，背板的表面温度则分别通过导热管以及冷水槽进行快速散热，一方面连接板可起到连接作用，另一方面连接板可提高靶材的抗变形能力，同时起到保护背板的作用效果。
27.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。


技术特征：
1.一种平面溅射靶材，其特征在于，包括靶材、背板以及底座，所述靶材固定设于背板前端面的中心位置处，所述背板竖直设置在底座的端面上；所述背板设有一用于安装靶材的安装槽，所述安装槽设有与靶材背部相接触的导热板，所述背板的背部固定设有散热组件。2.根据权利要求1所述的一种平面溅射靶材，其特征在于，所述散热组件包括一组波浪形结构的导热管，所述导热管内部封存有导热剂。3.根据权利要求1所述的一种平面溅射靶材，其特征在于，所述散热组件包括平行且间隔设置的一组冷水槽，所述冷水槽沿背板的长度方向延伸，所述冷水槽的两端分别具有进水口以及出水口。4.根据权利要求1所述的一种平面溅射靶材，其特征在于，所述靶材的背部设有连接板，所述连接板的背部设有多组夹持板，每组所述夹持板与相对应的导热板夹持连接。5.根据权利要求1所述的一种平面溅射靶材，其特征在于，所述底座设有直线型的滑槽，而背板底部成型有一用于与滑槽配合连接的滑块。

技术总结
本实用新型公开了一种平面溅射靶材，包括靶材、背板以及底座，所述靶材固定设于背板前端面的中心位置处，背板竖直设置在底座的端面上，所述背板设有一用于安装靶材的安装槽，所述安装槽设有与靶材背部相接触的导热板，所述背板的背部固定设有散热组件，靶材通过连接板以及夹持板与设置在安装槽上导热板配合连接，靶材在溅射镀膜过程中所产生的热量通过导热板传递到背板表面，背板的表面温度则分别通过导热管以及冷水槽进行快速散热，一方面连接板可起到连接作用，另一方面连接板可提高靶材的抗变形能力，同时起到保护背板的作用效果。同时起到保护背板的作用效果。同时起到保护背板的作用效果。


技术研发人员：何午琳
受保护的技术使用者：惠州市拓普金属材料有限公司
技术研发日：2021.08.04
技术公布日：2022/3/25