一种高致密高温抗氧化钼基复合靶材及其制备方法与流程

技术特征：
1.一种高致密高温抗氧化钼基复合靶材，其特征在于：包括钼基和氧化物，所述氧化物至少包括氧化铝和氧化铬中的一种，且钼基与氧化铝的质量比为(90～99):(0～5)，钼基与氧化铬的质量比为(90～99):(0～5)。2.如权利要求1所述的钼基复合靶材，其特征在于：其致密度大于98.9％。3.一种高致密高温抗氧化钼基复合靶材的制备方法，其特征在于包括以下步骤：步骤一、根据最终产品的需求，称取一定量的硝酸盐和尿素，加水充分溶解，得到混合体系，备用；步骤二、将步骤一中的混合溶液全部倒入不锈钢水热釜的聚四氟乙烯内衬中，锁紧水热釜，放入干燥箱中进行水热反应；步骤三、根据最终产品的需求，称取一定量的二钼酸铵，加入适量蒸馏水，充分搅拌，得到二钼酸铵溶液，备用；步骤四、将步骤二聚四氟乙烯内衬中水热反应之后所得混合液倒入步骤三所得二钼酸铵溶液中，经搅拌、干燥后得到混合体；将所得混合体用高速粉碎机进行粉碎处理；步骤五、将步骤四粉碎后所得粉体在氢气气氛下进行低温还原；步骤六、将步骤五低温氢气还原后的粉体在氢气气氛下再进行高温还原；步骤七、根据最终产品需求的尺寸，选取合适尺寸的石墨模具，将步骤六高温还原后所得粉体装入石墨模具中，之后将石墨模具置入放电等离子烧结炉中进行烧结处理，最终得到钼基复合靶材。4.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所得钼基复合靶材包括钼基和氧化物，所述氧化物至少包括氧化铝和氧化铬中的一种，且钼基与氧化铝的质量比为(90～99):(0～5)，钼基与氧化铬的质量比为(90～99):(0～5)。5.如权利要求3或4所述的制备方法，其特征在于：步骤一中的硝酸盐至少包括硝酸铝和硝酸铬中的一种。6.如权利要求3或4所述的制备方法，其特征在于：步骤二中水热反应的温度为120～200℃，水热反应时间为10～30h；步骤三中二钼酸铵与蒸馏水的摩尔比为1：10～30。7.如权利要求3或4所述的制备方法，其特征在于：步骤五中低温还原的温度为300～600℃，氢气流量为2～10m3/h，还原时间5～20h；步骤六中高温还原的温度为700～1000℃，氢气流量为10～20m3/h，还原时间5～20h。8.如权利要求3或4所述的制备方法，其特征在于：步骤七中烧结温度为1000℃～2000℃，升温速率为50～100℃/min，压力10～100mpa，保温时间1～20min。9.如权利要求3或4所述的制备方法，其特征在于：所制备的钼基复合靶材的致密度大于98.9％。10.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于：通过所述方法将氧化镧、氧化钇、氧化锆中的至少一种引入钼基体中形成钼基复合靶材；具体为：在步骤一中根据最终产品的需求，称取硝酸盐和尿素，加水充分溶解，得到混合溶液，备用；所述的硝酸盐至少为硝酸镧、硝酸钇、硝酸锆中的一种；最终所得钼基复合靶材包含钼基，还包含氧化镧、氧化钇、氧化锆中的至少一种，且钼基与氧化镧或氧化钇或氧化锆的质量比均为(90～99):(0～5)。

技术总结
本发明涉及一种高致密高温抗氧化钼基复合靶材及其制备方法，所述钼基复合靶材包括钼基和氧化物，所述氧化物至少包括氧化铝和氧化铬中的一种，且钼基与氧化铝的质量比为(90～99):(0～5)，钼基与氧化铬的质量比为(90～99):(0～5)。本发明采用水热法制备纯度高、分散好、形貌好、大小可控的纳米级氧化物二次相，选用液液掺杂技术保证前驱体得到均匀混合。二次相的引入，抑制了气相迁移过程，细化了复合粉体，最终得到近球形的纳米复合粉体。本发明相较于现有的熔炼法、湿化学法来说，成本更低，操作更方便，适用性更强，所制备的钼基复合靶材具有极高的致密度和高温抗氧化性能，具有广阔的规模化工业应用前景。阔的规模化工业应用前景。阔的规模化工业应用前景。


技术研发人员：杨璐 魏世忠 王喜然 赵阳 王晓东 张玢 梁栋
受保护的技术使用者：河南科技大学
技术研发日：2022.01.18
技术公布日：2022/3/25