一种水浴装置及包含其的MOCVD装置的制作方法

一种水浴装置及包含其的mocvd装置
技术领域
1.本实用新型涉及一种水浴装置及包含其的mocvd装置，尤其涉及一种大尺寸兼顾节能的水浴装置及包含其的mocvd装置。


背景技术：

2.mocvd金属有机物化学气相沉积进行外延片生产过程中,其最重要的生产原料之一为mo源，机台在生产的过程中需要保持mo源在恒定的温度进而保持稳定的供给，而市场上常见的水浴槽规格很难满足生产使用需求。
3.现有恒温水浴槽受限于尺寸的影响，例如图1所示的恒温水浴槽，仅可以使用较小的钢瓶，水浴槽内的钢瓶规格为1200g(tmga 2#)和4000g(tmga 1#)，恒温水浴槽的空间不足以放置水浴槽外的钢瓶(规格为20000g，tmga 1#)，使用周期较短更换频繁，从而增加维护时间而且原材料利用率较低。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于扩展水浴槽的空间，延长源瓶的更换周期以及提高mo源的利用率。
5.为实现上述实用新型目的之一，本实用新型提供一种水浴装置。
6.所述的水浴装置，用于mo源瓶的水浴，所述水浴装置包括
7.恒温水浴槽，所述恒温水浴槽设置恒温组件；
8.导流管，所述导流管设置导流组件，所述导流管的一端设置于所述恒温水浴槽内；
9.至少一个扩展水浴槽，所述扩展水浴槽的侧壁上设置出水口，所述导流管的另一端设置于所述扩展水浴槽内，所述导流管经由所述导流组件作用令恒温水流自所述恒温水浴槽中流向所述扩展水浴槽；以及
10.出水管，所述出水管的一端连接所述出水口，所述出水管的另一端连接至所述恒温水浴槽内；
11.其中，多个mo源瓶串联地设置于所述扩展水浴槽内。
12.作为可选的技术方案，所述扩展水浴槽内设置tc探温装置。
13.作为可选的技术方案，所述扩展水浴槽的所述出水口高于所述恒温水浴槽。
14.作为可选的技术方案，所述导流管上具有水流量计。
15.作为可选的技术方案，所述导流组件为水泵。
16.作为可选的技术方案，两个1号mo源瓶串联地设置于所述扩展水浴槽内，一个2号mo源瓶设置于所述恒温水浴槽内，所述1号mo源瓶的规格大于所述2号mo源瓶的规格。
17.作为可选的技术方案，所述导流管内流通12℃的恒温冷却水。
18.作为可选的技术方案，所述导流管为软管。
19.本实用新型还提供一种mocvd装置，所述mocvd装置包括上述任一项所述的水浴装置及多个mo源瓶。
20.作为可选的技术方案，所述mo源瓶内的mo源为tmga。
21.与现有技术相比，本实用新型的水浴装置通过扩展水浴槽的设计，可增加水浴槽尺寸及内部空间的自由设计度，可放置较大规格的源瓶，延长源瓶的更换周期；还可借助同温度其他水浴槽的恒温控温功能，实现功能共享，可减少50％的电力消耗；另外，多个mo源瓶串联设计可提高mo源的利用率以及保证mo源的动态平衡。另外，水流量计及tc探温装置也可很好地进行水流、温度的监控。
附图说明
22.图1是现有技术水浴装置的示意图；
23.图2是本实用新型水浴装置的示意图。
具体实施方式
24.为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术具体实施方式及相应的附图对本技术技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施方式仅是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
25.下面详细描述本实用新型的实施方式，实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
26.为方便说明，本文使用表示空间相对位置的术语来进行描述，例如“上”、“下”、“后”、“前”等，用来描述附图中所示的一个单元或者特征相对于另一个单元或特征的关系。空间相对位置的术语可以包括设备在使用或工作中除了图中所示方位以外的不同方位。例如，如果将图中的装置翻转，则被描述为位于其他单元或特征“下方”或“上方”的单元将位于其他单元或特征“下方”或“上方”。因此，示例性术语“下方”可以囊括下方和上方这两种空间方位。
27.图2是本实用新型水浴装置的示意图，请参照图2。
28.水浴装置1用于mo源瓶的水浴，水浴装置1包括恒温水浴槽2、导流管3、扩展水浴槽4及出水管5。恒温水浴槽2设置恒温组件，以便保证恒温水浴槽2内的水流保持恒定的温度，例如12℃。导流管3(例如为软管)设置导流组件(例如水泵)，导流管3经由导流组件(水泵)作用令恒温水流(例如12℃的恒温冷却水)自恒温水浴槽2中流向扩展水浴槽4，具体而言，导流管3的一端设置于恒温水浴槽2内，导流管3的另一端设置于扩展水浴槽4内，而扩展水浴槽4的侧壁上设置出水口，出水管5的一端连接出水口，出水管5的另一端连接至恒温水浴槽内。如此，在水泵的作用下，恒温水自恒温水浴槽2导流至扩展水浴槽4，再经出水管5回流至恒温水浴槽2内，形成一个恒温水流的水循环。换句话说，将扩展水浴槽4扩展成了一个恒温水浴槽。
29.进行扩展后，扩展水浴槽4的尺寸可以实现较大程度的尺寸自由设计，可根据mo源瓶的规格需求进行设计，例如，如图2所示，可将两个20000g规格的1号mo源瓶(tmga 1#)串联地设置在扩展水浴槽4，实现更换周期的延长，相比于图1的设计，水浴装置1还将一个2号
mo源瓶(规格为4000g，tmga 2#)设置于恒温水浴槽2内，1号mo源瓶的规格大于2号mo源瓶的规格。如此的源瓶设置后，其使用周期可延长100％，并且，恒温水浴槽2可为mocvd装置中的其他恒温水浴装置，借助同温度的其他水浴槽的恒温控温功能，实现功能共享，可减少的电力消耗(例如为50％)，另外，自由设计尺寸可兼容各个规格的mo源规格尺寸。
30.另外，将多个mo源瓶41串联地设置于扩展水浴槽4内进行恒温的水浴流程，因为同等温度下mo源的饱和蒸汽压相同，从而可实现tmga 1#第一瓶的mo源流出和第二瓶流出一致，从而实现瓶内mo源的动态平衡，并且第一瓶的mo源利用率可达到100％，即多个mo源瓶串联设计可提高mo源的利用率以及保证mo源的动态平衡。
31.值得注意的是，上述举例为一个扩展水浴槽4，而在实际应用中，可根据具体的使用情景，进行扩展水浴槽4数量的增加，其原理均一样，均利用恒温水浴槽2的恒温环境，将恒温水流导流至各个扩展水浴槽4内，而将各个扩展水浴槽4扩展成恒温水浴槽。
32.于本实施例中，扩展水浴槽4的出水口高于恒温水浴槽2。如此，当扩展水浴槽2内部水位高于出水口时，水流会利用高度差流回到恒温水浴槽2的本体内，实现水流的自动回流，进行水流的自循环。
33.另外，扩展水浴槽4外部装有tc探温装置6，从而实现温度的实时监控以确保温度正常。
34.而为确保水流的正常流出，在导流管3上增加了水流量计7，用以监控水流正常供给。
35.本实用新型还提供一种mocvd装置，mocvd装置包括上述的水浴装置及多个mo源瓶，而mo源瓶内的mo源为tmga。
36.综上所述，本实用新型的水浴装置通过扩展水浴槽的设计，可增加水浴槽尺寸及内部空间的自由设计度，可放置较大规格的源瓶，延长更换周期；还可借助同温度其他水浴槽恒温控温功能，实现功能共享，可减少50％的电力消耗；另外，多个mo源瓶串联设计可提高mo源的利用率以及保证mo源的动态平衡。另外，水流量计及tc探温装置也可很好地进行水流、温度的监控。
37.应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
38.上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本实用新型的保护范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本实用新型的保护范围之内。