一种水浴装置及包含其的MOCVD装置的制作方法

技术特征：
1.一种水浴装置，用于mo源瓶的水浴，其特征在于，所述水浴装置包括恒温水浴槽，所述恒温水浴槽设置恒温组件；导流管，所述导流管设置导流组件，所述导流管的一端设置于所述恒温水浴槽内；至少一个扩展水浴槽，所述扩展水浴槽的侧壁上设置出水口，所述导流管的另一端设置于所述扩展水浴槽内，所述导流管经由所述导流组件作用令恒温水流自所述恒温水浴槽中流向所述扩展水浴槽；以及出水管，所述出水管的一端连接所述出水口，所述出水管的另一端连接至所述恒温水浴槽内；其中，多个mo源瓶串联地设置于所述扩展水浴槽内。2.如权利要求1所述的水浴装置，其特征在于，所述扩展水浴槽内设置tc探温装置。3.如权利要求1所述的水浴装置，其特征在于，所述扩展水浴槽的所述出水口高于所述恒温水浴槽。4.如权利要求1所述的水浴装置，其特征在于，所述导流管上具有水流量计。5.如权利要求1所述的水浴装置，其特征在于，所述导流组件为水泵。6.如权利要求1所述的水浴装置，其特征在于，两个1号mo源瓶串联地设置于所述扩展水浴槽内，一个2号mo源瓶设置于所述恒温水浴槽内，所述1号mo源瓶的规格大于所述2号mo源瓶的规格。7.如权利要求1所述的水浴装置，其特征在于，所述导流管内流通12℃的恒温冷却水。8.如权利要求1所述的水浴装置，其特征在于，所述导流管为软管。9.一种mocvd装置，其特征在于，所述mocvd装置包括权利要求1-8任一项所述的水浴装置及多个mo源瓶。10.如权利要求9所述的mocvd装置，其特征在于，所述mo源瓶内的mo源为tmga。

技术总结
本实用新型一种水浴装置及包含其的MOCVD装置。水浴装置用于MO源瓶的水浴，包括恒温水浴槽、导流管、至少一个扩展水浴槽及出水管。恒温水浴槽设置恒温组件，导流管设置导流组件，其一端设置于恒温水浴槽内；扩展水浴槽的侧壁上设置出水口，导流管的另一端设置于扩展水浴槽内，导流管经由导流组件作用令恒温水流自恒温水浴槽中流向扩展水浴槽；出水管的一端连接出水口，出水管的另一端连接至恒温水浴槽内；其中，多个MO源瓶串联地设置于扩展水浴槽内。本实用新型的水浴装置可放置较大规格的源瓶，延长更换周期，还可减少电力消耗，多个MO源瓶串联设计也可提高MO源的利用率以及保证MO源的动态平衡。的动态平衡。的动态平衡。


技术研发人员：李本功 徐干阳 蒲健 陈军 徐堂阳 徐志军 江汉
受保护的技术使用者：聚灿光电科技（宿迁）有限公司
技术研发日：2021.11.03
技术公布日：2022/3/19