显示面板制造装置的制作方法

1.本发明涉及显示面板制造装置及其制造方法。


背景技术：

2.随着对信息显示的关注的增加以及对欲要利用可便携的信息介质的需求的提高，对显示装置的需求及商业化正在重点发展。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于提供一种在喷墨印刷工序中可以确认是否喷射了溶液的显示面板制造装置及其制造方法。
4.根据本发明的一实施例的显示面板制造装置，包括：喷射部，向基础层喷射包括多个发光元件的溶液；光照射部，向被喷射到所述基础层的溶液照射光；传感器部，感测喷射到所述基础层的溶液的喷射位点；以及控制部，根据所述传感器部的感测而控制所述溶液的喷射与否。
5.所述传感器部可以借由所述发光元件的激发光而感测所述溶液的喷射位点，其中，借由从所述光照射部照射的光而发出所述发光元件的激发光。
6.所述控制部可以根据所述传感器部的感测结果而判断所述溶液的未喷射位点，并以使所述溶液喷射到所述未喷射位点的方式进行控制。
7.所述光照射部照射的光可以是紫外线。
8.所述发光元件可以是柱形的发光二极管。
9.所述发光元件可以包括：第一半导体层和第二半导体层，沿长度方向层叠；以及活性层，位于所述第一半导体层与所述第二半导体层之间。
10.所述活性层可以发出激发光。
11.在所述基础层上可以彼此相隔而布置有第一电极和第二电极，所述喷射部以覆盖所述第一电极与所述第二电极之间的区域的方式喷射所述溶液。
12.所述第一电极与所述第二电极之间的区域可以是所述发光元件被对齐排列的区域。
13.所述第一电极可以是阳极，所述第二电极可以是阴极。
14.根据一实施例的显示面板制造方法包括如下步骤：向基础层喷射包括多个发光元件的溶液；向被喷射所述溶液的所述基础层照射光；在被照射所述光的所述基础层中感测所述溶液的喷射位点；以及根据被感测的所述喷射位点判断所述溶液的未喷射位点，并控制所述溶液的喷射与否。
15.还可以包括向所述未喷射位点喷射溶液的步骤。
16.可以向所述未喷射位点喷射溶液，向被喷射所述溶液的所述基础层再次照射光，在被照射所述光的所述基础层中再次感测所述溶液的喷射位点，并且根据被感测的所述喷射位点判断所述未喷射位点，控制所述溶液的喷射与否。
17.所述喷射位点可以是感测到借由被照射到所述多个发光元件的所述光而从所述发光元件发出的激发光的所述基础层的一区域。
18.照射到所述基础层的光可以是紫外线。
19.可以在喷射所述溶液之前，在所述基础层上形成包括至少一个晶体管的像素电路层，在所述像素电路层上形成彼此相隔的两个第一堤，并且在所述第一堤上形成彼此相隔的第一电极和第二电极。
20.可以喷射所述溶液以覆盖所述第一电极与所述第二电极之间的区域。
21.如果在所述基础层中没有感测到所述未喷射位点，则可以施加预先决定的对齐排列电压而将所述发光元件在所述第一电极与所述第二电极之间对齐排列。
22.可以在对齐排列的所述发光元件上形成绝缘层，并以与所述发光元件的一端重叠的方式形成第一接触电极，以与所述发光元件的另一端重叠的方式形成第二接触电极。
23.所述发光元件可以是柱形的发光二极管。
24.根据一实施例，由于可以在喷墨印刷工序中直接确认是否喷射了溶液，因此可以改善喷墨印刷工序的收率，并且可以降低显示面板的成本。
25.根据一实施例的效果并不限于以上所例示的内容，在本说明书内包括有更加多样的效果。
附图说明
26.图1是示出根据一实施例的显示面板所包括的发光元件的一例的立体图。
27.图2是图1的剖面图。
28.图3是示出根据一实施例的显示面板的一例的平面图。
29.图4是示意性地示出图1的发光元件对齐排列的一例的平面图。
30.图5是示意性地示出根据一实施例的显示面板的一例的剖面图。
31.图6和图7是示意性地示出制造图5的一部分的方法的剖面图。
32.图8是示出在根据比较例的实施例中，墨没有从喷墨印刷装置正常喷射时，布置在基础层的发光元件的位置的图片。
33.图9是示出根据一实施例的显示面板制造装置的示意性的图。
34.图10是示出根据一实施例的显示面板制造方法的一部分的顺序图。
35.【符号说明】
36.ld：发光元件
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11：第一半导体层
37.12：活性层
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13：第二半导体层
38.14：电极
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elt1：第一电极
39.elt2：第二电极
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pcl：像素电路层
40.dpl：显示元件层
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bsl：基础层
41.m：晶体管
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110：喷射部
42.120：光照射部
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130：传感器部
43.140：控制部
具体实施方式
44.本发明可以进行多种变更，并且可以具有多种形态，在附图中示出了特定实施例并将在说明书中进行详细说明。然而，其并不旨在将本发明限定于特定的公开形态，应当被理解为包括本发明的思想和技术范围所包含的所有变更、等同物以及替代物。
45.第一、第二等的术语可以用于说明多种构成要素，但所述构成要素不应被所述术语所限制。所述术语仅用于将一个构成要素与另一构成要素进行区分的目的。例如，在不脱离本发明的权利范围的情况下，第一构成要素可以被命名为第二构成要素，相似地，第二构成要素也可以被命名为第一构成要素。单数的表述只要在语境中没有明确表示出不同含义，便包括复数的表述。
46.在本技术中，“包括”或者“具有”等术语应当被理解为旨在指定说明书中所记载的特征、数字、步骤、操作、构成要素、部件或者其组合的存在，而不是预先排除一个或者其以上的其他特征或者数字、步骤、操作、构成要素、部件或者其组合的存在或者附加的可能性。并且，在提及层、膜、区域、板等部分位于另一部分“之上”的情形下，其不仅包括在“紧邻的上方”的情形，还包括在两者之间存在其他部分的情形。并且，在本说明书中，在提及某个层、膜、区域、板等的部分形成在另一部分之上(on)的情形下，形成的方向并不仅限于上部方向，还包括向侧面或者下部方向形成的情形。与此相反地，在提及层、膜、区域、板等部分位于另一部分“之下”的情形下，其不仅包括在另一部分的“紧邻的下方”的情形，还包括在两者之间存在其他部分的情形。
47.以下，参考与本发明的实施例相关的附图对根据本发明的实施例的显示面板进行说明。
48.图1是示出根据一实施例的显示面板所包括的发光元件的一例的立体图，图2是图1的剖面图。
49.虽然在图1和图2中示出了柱形的发光元件，但根据本发明的发光元件的种类和/或形状并不限于此。
50.参照图1和图2，根据一实施例的发光元件ld包括：第一半导体层11；第二半导体层13；以及活性层12，位于第一半导体层11与第二半导体层13之间。作为一例，发光元件ld可以构成为沿长度l1方向依次层叠有第一半导体层11、活性层12以及第二半导体层13的层叠体。
51.根据实施例，发光元件ld可以被提供为沿一方向延伸的棒状，即，圆柱形。如果将发光元件ld的延伸方向设为长度l1方向，则发光元件ld可以沿长度l1方向而具有一侧端部和另一侧端部。
52.根据实施例，在发光元件ld的一侧端部可以布置有第一半导体层11和第二半导体层13中的一个，在发光元件ld的另一侧端部可以布置有第一半导体层11和第二半导体层13中的剩余一个。
53.根据实施例，发光元件ld可以是制造为棒状的棒状发光二极管。在本说明书中，所谓“棒状”包括诸如圆柱或者多棱柱等沿长度l1方向为长形(即，纵横比(aspect ratio)大于1)的杆状(rod-like shape)或条状(bar-like shape)，其截面的形状并不受特别限制。例如，发光元件ld的长度l1可以大于其直径d1(或者，横截面的宽度)。
54.根据实施例，发光元件ld可以具有小到纳米级至微米级程度的尺寸。发光元件ld
可以分别具有纳米级至微米级范围的直径d1和/或长度l1。作为一例，发光元件ld的长度l1可以为大约100nm至10μm，发光元件ld的直径d1可以为大约2μm至6μm，发光元件ld的纵横比可以在大约1.2至大约100之间的范围。然而，本发明中，发光元件ld的尺寸并不限于此。例如，发光元件ld的尺寸可以根据将利用发光元件ld的发光装置用作光源的各种装置(作为一例，显示装置等)的设计条件而变更为多样。
55.第一半导体层11可以包括至少一个n型半导体层。例如，第一半导体层11包括inalgan、gan、algan、ingan、aln、inn中的任意一个半导体材料，并且可以包括掺杂有诸如si、ge、sn等的第一导电型掺杂剂的n型半导体层。然而，构成第一半导体层11的物质并不限于此，除此之外，也可以用多种物质构成第一半导体层11。
56.活性层12布置在第一半导体层11上，并且可以形成为单量子阱结构或者多重量子阱结构。在一实施例中，在活性层12的上部和/或下部也可以形成有掺杂了导电性掺杂剂的覆层(未示出)。作为一例，覆层可以由algan层或者inalgan层形成。根据实施例，algan、inalgan等物质可以用于形成活性层12，除此之外，也可以由多种物质构成活性层12。
57.如果在发光元件ld的两端施加阈值电压以上的电压，则电子-空穴对会在活性层12结合而使发光元件ld发光。通过利用这种原理控制发光元件ld的发光，据此可以将发光元件ld用作包括显示装置的像素在内的多种发光装置的光源。
58.第二半导体层13布置在活性层12上，并且可以包括与第一半导体层11不同类型的半导体层。作为一例，第二半导体层13可以包括至少一个p型半导体层。例如，第二半导体层13可以包括inalgan、gan、algan、ingan、aln、inn中的至少一种半导体材料，并且可以包括掺杂有诸如mg、zn、ca、sr、ba等的第二导电型掺杂剂的p型半导体层。然而，构成第二半导体层13的物质并不限于此，除此之外，也可以由多种物质构成第二半导体层13。
59.虽然在上述的实施例中以第一半导体层11和第二半导体层13分别构成为一个层的情形进行说明，但本发明并不限于此。在一实施例中，根据活性层12的物质，第一半导体层11和第二半导体层13中的每一个还可以包括至少一个的层(作为一例，覆层和/或拉伸应变阻挡减小(tsbr：tensile strain barrier reducing)层)。tsbr层可以是布置在晶格结构不同的半导体层之间而起到用于减小晶格常数(lattice constant)差异的缓冲作用的应变(strain)缓冲层。tsbr层可以由诸如p-gainp、p-alinp、p-algainp等的p型半导体层构成，但本发明并不限于此。并且，根据实施例，发光元件ld还可以包括在表面提供的绝缘膜inf。绝缘膜inf可以以围绕活性层12的外周面的方式形成在发光元件ld的表面，除此之外，还可以围绕第一半导体层11和第二半导体层13的一区域。然而，绝缘膜inf可以暴露发光元件ld的具有彼此不同的极性的两端部。例如，绝缘膜inf可以不覆盖并暴露在长度l1方向上位于发光元件ld的两端的第一半导体层11以及第二半导体层13中的每一个的一端(作为一例，圆柱的两个底面(发光元件ld的上部面以及下部面))。
60.根据实施例，绝缘膜inf可以包括由硅氧化物(sio
x
)、硅氮化物(sin
x
)、硅氮氧化物(sio
x
ny)、铝氧化物(alo
x
)、氧化钛(tio
x
)、氧化铪(hfo
x
)、钛锶氧化物(srtio
x
)、钴氧化物(co
x
oy)、镁氧化物(mgo)、锌氧化物(zno)、钌氧化物(ruo
x
)、镍氧化物(nio)、钨氧化物(wo
x
)、钽氧化物(tao
x
)、钆氧化物(gdo
x
)、锆氧化物(zro
x
)、镓氧化物(gao
x
)、钒氧化物(v
x
oy)、zno：al、zno：b、in
x
oy：h、铌氧化物(nb
x
oy)、氟化镁(mgf
x
)、氟化铝(alf
x
)、铝基有机无机(alucone)高分子膜、钛氮化物(tin)、钽氮化物(tan)、铝氮化物(aln
x
)、镓氮化物(gan)、
钨氮化物(wn)、铪氮化物(hfn)、铌氮化物(nbn)、钆氮化物(gdn)、锆氮化物(zrn)、钒氮化物(vn)等构成的群中选择的一个以上的绝缘物质，但本发明并不限于此，具有绝缘性的多种材料可以被用作绝缘膜inf的材料。即，绝缘膜inf的构成物质并不受特别限制，绝缘膜inf可以由目前公知的多种绝缘物质构成。
61.在一实施例中，发光元件ld除了包括第一半导体层11、活性层12、第二半导体层13以及绝缘膜inf以外，还可以包括附加的构成要素。例如，发光元件ld可以附加地包括布置在第一半导体层11、活性层12以及第二半导体层13的一端侧的一个以上的荧光体层、活性层、半导体层和/或电极。
62.布置在发光元件ld的一端的侧面的电极14可以是欧姆(ohmic)接触电极或者肖特基(schottky)接触电极，但并不限于此。并且，电极14可以包括金属或者金属氧化物，作为一例，可以将cr、ti、al、au、ni、ito、izo、itzo以及它们的氧化物或者合金等单独使用或混合而使用。并且，根据实施例，电极14可以实质上透明或者半透明。据此，从发光元件ld生成的光可以透过电极14而向发光元件ld的外部发出。
63.根据实施例，绝缘膜inf可以围绕电极14的外周面的至少一部分或者不围绕电极14的外周面。即，绝缘膜inf可以选择性地形成在电极14的表面。并且，绝缘膜inf可以以暴露发光元件ld的具有彼此不同的极性的两端的方式形成，并且作为一例，可以暴露电极14的至少一区域。根据实施例，在发光元件ld的端部也可以不提供绝缘膜inf。
64.如果在发光元件ld的表面，尤其在活性层12的表面提供有绝缘膜inf，则可以防止活性层12与未示出的至少一个电极(作为一例，连接在发光元件ld的两端的接触电极中的至少一个接触电极)等短路。据此，可以确保发光元件ld的电稳定性。
65.并且，可以借由在发光元件ld的表面形成绝缘膜inf而最小化发光元件ld的表面缺陷，从而提高寿命和效率。并且，如果在每一个发光元件ld形成绝缘膜inf，则在多个发光元件ld彼此紧贴而布置的情形下也可以防止发光元件ld之间发生不期望的短路。
66.并且，在本发明的一实施例中，发光元件ld可以经过表面处理过程而制造。例如，可以对各个发光元件ld进行表面处理以在将多个发光元件ld混合到流动性的溶液(或者，溶剂)而供应到各自的发光区域(作为一例，各像素的发光区域)时，使发光元件ld均匀地分散在溶液内而不是不均匀地凝聚。
67.上述的发光元件ld可以应用于包括显示装置在内的需要光源的多样的种类的装置。例如，可以在显示面板的各像素区域布置至少一个发光元件ld，作为一例，布置分别具有纳米级或者微米级尺寸的多个发光元件ld，并利用发光元件ld构成各像素的光源(或者，光源单元)。然而，本发明中，发光元件ld的应用领域并不限于显示装置。例如，发光元件ld也可以用于照明装置等需要光源的其他种类的装置。
68.以下，参照图3说明包括像素的显示面板。
69.图3是示出根据一实施例的显示面板的一例的平面图。
70.图3是可以将在图1和图2说明的发光元件ld用作光源的装置的一例，示出了显示装置，尤其示出了配备在显示装置的显示面板。作为一例，显示面板的像素可以包括至少一个发光元件。
71.参照图3，根据一实施例的显示面板pnl可以包括：基础层bsl；以及多个像素px，布置在基础层bsl上。
72.具体地，显示面板pnl以及用于形成该显示面板pnl的基础层bsl包括显示影像的显示区域da以及除显示区域da以外的非显示区域nda。非显示区域nda可以是围绕显示区域da的边框(bezel)区域。
73.基础层bsl可以构成显示面板pnl的基础部件。根据实施例，基础层bsl可以是刚性或者柔性的基板或者膜，其材料或者物性并不受特别限制。作为一例，基础层bsl可以是由玻璃或者钢化玻璃构成的刚性基板、塑料或金属材质的柔性基板(或者，薄膜型膜)、或者至少一层的绝缘膜，其材料和/或物性并不受特别限制。
74.并且，虽然基础层bsl可以是透明的，但并不限于此。作为一例，基础层bsl可以是透明、半透明、不透明或者反射性的基础部件。
75.显示区域da可以位于显示面板pnl的一面。作为一例，显示区域da可以位于显示面板pnl的前面，除此之外，也可以附加地位于显示面板pnl的侧面、背面。
76.非显示区域nda可以以围绕显示区域da的方式位于显示区域da的周围，并且可以选择性地包括与显示区域da的像素px连接的布线、垫、驱动电路等。
77.为了便于说明，图3仅示出了一个像素px，但实质上，多个像素px可以分散地布置在显示区域da。作为一例，像素px可以以矩阵、条形或者波形瓦(pentile)排列结构布置在显示区域da。然而，本发明并不限于此。
78.以下，参照图4和图5对包括发光元件的显示面板进行详细说明。
79.图4是示意性地示出图1的发光元件对齐排列的一例的平面图，图5是示意性地示出根据一实施例的显示面板的一例的剖面图。
80.图4所示的平面图示出了图3的显示区域da的一部分，根据实施例，图4的显示区域da可以是表示一个像素px的区域(或者布置有一个像素px的像素区域)。
81.参照图4，根据一实施例的显示面板可以包括第一电极elt1、第二电极elt2以及多个发光元件ld。在一实施例中，发光元件ld分别可以是二极管元件。例如，发光元件ld的一端的电极可以是阳极ae，另一端的电极可以是阴极ce。
82.第一电极elt1和第二电极elt2布置在预定的绝缘层ins上。在绝缘层ins下部可以形成并布置有像素电路(作为一例，用于驱动像素px的布线)。像素电路可以通过贯通绝缘层ins的接触孔而与第一电极elt1或者第二电极elt2电连接。
83.第一电极elt1和第二电极elt2可以彼此相隔而布置。在一实施例中，在第一电极elt1可以供应有作为高电位的第一电源(驱动电压，vdd)的电压，在第二电极elt2可以供应有作为低电位的第二电源(驱动低电压，vss)的电压。
84.在一实施例中，在布置有第一电极elt1的区域与布置有第二电极elt2的区域之间(例如，发光区域)可以提供有发光元件ld。例如，发光元件ld可以被准备为分散在预定的溶液内的形态，从而利用喷墨方式等而供应到第一电极elt1和第二电极elt2上。
85.关于借由喷墨方式供应发光元件ld，并排列在第一电极elt1与第二电极elt2之间的工序，以下在图6至图8进行详细说明。
86.发光元件ld的极性方向可以根据概率分布(例如，高斯概率分布)而被随机地决定。例如，如图4所示，发光元件ld可以包括第一极性方向发光元件ld1和第二极性方向发光元件ld2。
87.第一极性方向发光元件ld1是正向连接的发光元件。在此情形下，第一极性方向发
光元件ld1的阳极ae与第一电极elt1电连接，阴极ce与第二电极elt2电连接。虽然图4示出了发光元件ld的阳极ae和阴极ce分别与第一电极elt1和第二电极elt2直接接触的情形，但并不限于此，阳极ae和阴极ce也可以通过预定的其他导电层或者导电物质而与第一电极elt1和第二电极elt2连接。
88.此外，第二极性方向发光元件ld2是反向连接的发光元件。在此情形下，第二极性方向发光元件ld2的阳极ae与第二电极elt2电连接，阴极ce与第一电极elt1电连接。因此，第二极性方向发光元件ld2无法发光。
89.发光元件ld被随机地对齐排列，每个像素px的第一极性方向发光元件ld1和第二极性方向发光元件ld2的比率可能不同。例如，如图4所示，在像素px可以布置有4个第一极性方向发光元件ld1和5个第二极性方向发光元件ld2。在另一像素可以以与此不同的比率或者数量布置有发光元件ld。
90.以下，对布置有发光元件ld的绝缘层以及像素电路层进行详细说明。
91.参照图5，根据一实施例的像素px以及包括该像素px的显示面板可以包括：基础层bsl；像素电路层pcl，布置在基础层bsl的一面上；以及显示元件层dpl。并且，前述的图3的显示区域da可以包括：像素电路层pcl，布置在基础层bsl的一面上；显示元件层dpl，布置在像素电路层pcl上。然而，根据实施例，基础层bsl上的像素电路层pcl和显示元件层dpl的相互位置可以不同。
92.像素电路层pcl包括至少一个晶体管、存储电容器以及与其连接的多条布线。并且，像素电路层pcl包括依次层叠在基础层bsl的一面上的缓冲层bfl、栅极绝缘层gi、第一层间绝缘层ild1、第二层间绝缘层ild2和/或钝化层psv。
93.位于基础层bsl的前面的缓冲层bfl可以包括无机绝缘物质。缓冲层bfl可以防止杂质扩散到晶体管、电容器等。
94.在缓冲层bfl上布置有半导体层。半导体层包括晶体管m的半导体图案scp。半导体图案scp可以包括：沟道区域，与后述的第一栅电极ge重叠；源极区域以及漏极区域，布置在沟道区域的两侧。半导体图案scp可以由多晶硅、非晶硅或者氧化物半导体等构成。
95.在半导体层上布置有栅极绝缘层gi。栅极绝缘层gi可以包括包含硅氧化物(sio
x
)、硅氮化物(sin
x
)、硅氮氧化物(sio
x
ny)等的无机物质。然而，本发明并不限于此，根据实施例，栅极绝缘层gi还可以是包括有机物质的有机绝缘层。
96.在栅极绝缘层gi上布置有栅极导电体。栅极导电体包括第一栅电极ge。第一栅电极ge可以布置为与第一半导体图案scp的沟道区域重叠。栅极导电体可以包括：像素电路层pcl所包括的多个晶体管中各晶体管的栅电极；存储电容器的一电极；栅极线等。
97.在栅极导电体上布置有第一层间绝缘层ild1。第一层间绝缘层ild1可以包括与栅极绝缘层gi相同的物质或者包括在栅极绝缘层gi例示的物质中的至少一个。作为一例，第一层间绝缘层ild1可以是包括无机材料的无机绝缘层。
98.在第一层间绝缘层ild1上布置有第一数据导电体。第一数据导电体包括晶体管m的第一电极te1和第二电极te2。第一电极te1可以是与第一半导体图案scp的漏极区域连接的漏电极，第二电极te2可以是与第一半导体图案scp的源极区域连接的源电极。并且，第一电极te1可以是晶体管m的源电极，第二电极te2可以是漏电极。第一数据导电体可以包括多个晶体管中的各晶体管m的第一电极te1和第二电极te2，并且可以包括存储电容器的另一
电极、数据线等。
99.在第一数据导电体上布置有第二层间绝缘层ild2。第二层间绝缘层ild2可以包括硅氧化物(sio
x
)、硅氮化物(sin
x
)、硅氮氧化物(sio
x
ny)中的至少一个。根据实施例，第二层间绝缘层ild2可以是包括有机物质的有机绝缘膜。
100.在第二层间绝缘层ild2上布置有第二数据导电体。第二数据导电体包括连接像素电路层pcl和显示元件层dpl的桥接图案brp。第二数据导电体还可以包括驱动电压线(未示出)、驱动低电压线(未示出)等。桥接图案brp可以通过接触孔ch而与各像素px的发光元件ld的第一电极elt1连接。作为一例，发光元件ld可以是有机发光二极管或者至少一个超小型无机发光二极管。为了方便起见，在以下的实施例中以发光元件ld为超小型无机发光二极管的情形进行说明。
101.在第二数据导电体上布置有钝化层psv。钝化层psv包括至少一个有机绝缘层，并且可以实质性地平坦化像素电路层pcl的表面。钝化层psv可以构成为单一膜或者多重膜，并且可以包括无机绝缘物质、有机绝缘物质。例如，钝化层psv可以包括丙烯酸系树脂(acrylic resin)、环氧系树脂(epoxy resin)、酚醛系树脂(phenolic resin)、聚酰胺系树脂(polyamides resin)、聚酰亚胺系树脂(polyimides rein)中的至少一个。
102.在包括钝化层psv的像素电路层pcl上布置有显示元件层dpl。钝化层psv的接触孔ch可以连接像素电路层pcl的桥接图案brp和显示元件层dpl的第一电极elt1。
103.显示元件层dpl包括像素px的发光元件ld以及与发光元件ld连接的电极。发光元件ld可以是由使氮化物系半导体生长的结构构成的小到纳米级至微米级程度的超小型的无机发光二极管。
104.显示元件层dpl包括第一堤bnk1、第二堤bnk2、第一电极etl1、第二电极etl2、第一绝缘层ins1、第二绝缘层ins2、第一接触电极cne1、第二接触电极cne2以及第三绝缘层ins3。
105.第一堤bnk1位于钝化层psv上。第一堤bnk1可以位于各个像素px中发出光的区域(例如，发光区域ea)。第一堤bnk1可以布置在第一电极elt1和第二电极elt2的一部分的下部，以将从发光元件ld发出的光朝显示面板的图像显示方向(例如，各像素px的上部方向，第三方向dr3)引导，从而使第一电极elt1和第二电极elt2的一部分向上部方向，即第三方向dr3突出。第一堤bnk1可以包括由无机材料构成的无机绝缘膜或者由有机材料构成的有机绝缘膜。根据实施例，第一堤bnk1可以包括单一膜的有机绝缘膜或者单一膜的无机绝缘膜，但并不限于此。
106.第二堤bnk2位于钝化层psv上。第二堤bnk2作为区分各个像素px的发光区域ea的结构，可以位于各像素px的非发光区域nea、像素px之间的非发光区域nea以围绕各像素px的发光区域ea。例如，第二堤bnk可以是像素限定膜、坝结构物。第二堤bnk2可以构成为包括至少一个遮光物质、反射物质。
107.第一电极elt1和第二电极elt2分别位于第一堤bnk1上，并且具有与第一堤bnk1的形状对应的表面。第一电极elt1和第二电极elt2可以包括具有均匀的反射率的材料。据此，借由第一电极elt1和第二电极elt2，从发光元件ld发出的光可以向显示面板的图像显示方向(第三方向ddr3)行进。
108.第一电极elt1可以通过贯通钝化层psv的接触孔ch而与晶体管m的第一电极te1电
连接。第二电极elt2可以在未示出的区域通过贯通钝化层psv的至少一个接触孔(未示出)而与驱动电源连接。
109.在一实施例中，第一电极elt1可以是阳极(anode)，第二电极elt2可以是阴极(cathode)。
110.第一绝缘层ins1位于第一电极elt1和第二电极elt2中的每一个与钝化层psv之上。第一绝缘层ins1可以填充发光元件ld与钝化层psv之间的空间而稳定地支撑发光元件ld。第一绝缘层ins1可以包括无机绝缘膜、有机绝缘膜中的至少一个物质，并且可以构成为单一膜或者多重膜。
111.发光元件ld位于第一绝缘层ins1上。在第一电极elt1与第二电极elt2之间可以布置有至少一个发光元件ld。根据实施例，在第一电极elt1与第二电极elt2之间布置有多个发光元件ld，多个发光元件ld可以彼此并联连接。发光元件ld的布置可以与图3的发光元件ld对应。
112.发光元件ld中的每一个可以发出预定颜色的光，例如可以发出白色光、蓝色光、绿色光、红色光中的任意一种光。在一实施例中，发光元件ld配备为能够向溶液(图6以下的ink)内喷射的形态，从而可以被投入到各个像素px。
113.在一实施例中，发光元件ld可以与前述的图1至图3的发光元件ld对应。
114.在发光元件ld的一部分上布置有第二绝缘层ins2。第二绝缘层ins2覆盖发光元件ld中的每一个的一部分上面，并且可以暴露发光元件ld的第一端部ep1和第二端部ep2。第二绝缘层ins2可以稳定地固定发光元件ld。在形成第二绝缘层ins2之前，在第一绝缘层ins1与发光元件ld之间存在空余空间的情形下，空余空间可以被第二绝缘层ins2填充至少一部分。
115.在第一电极elt1上布置有电连接、物理连接第一电极elt1和发光元件ld的两端部中的一个端部(作为一例，第一端部ep1)的第一接触电极cne1。第一接触电极cne1可以布置为与第一绝缘层ins1、第二绝缘层ins2以及发光元件ld的一部分重叠。在第一电极elt1与第一接触电极cne1连接的部分，即在第一电极elt1和第一接触电极cne1直接接触的部分，第一绝缘层ins1可以被去除。
116.在第二电极elt2上布置有电连接、物理连接第二电极elt2和发光元件ld的两端部中的一个端部(作为一例，第二端部ep2)的第二接触电极cne2。第二接触电极cne2可以布置为与第一绝缘层ins1、第二绝缘层ins2以及发光元件ld的一部分重叠。在第二电极elt2与第二接触电极cne2连接的部分，即在第二电极elt2和第二接触电极cne2直接接触的部分，第一绝缘层ins1可以被去除。
117.第一接触电极cne1以及第二接触电极cne2可以由透明导电性物质构成。例如，第一接触电极cne1和第二接触电极cne2可以包括氧化铟锡(ito：indium tin oxide)、氧化铟锌(izo：indium zinc oxide)、氧化铟锡锌(itzo：indium tin zinc oxide)等物质。据此，从发光元件ld发出而被第一电极elt1和第二电极elt2反射的光可以沿显示面板的图像显示方向(第三发光dr3)行进。
118.在第一接触电极cne1、第二接触电极cne2、第二堤bnk2上布置有第三绝缘层ins3。第三绝缘层ins3包括至少一个有机膜、无机膜，并且可以以覆盖显示元件层dpl的表面的方式整面地布置。
119.以下，参照图6至图8说明形成位于第一绝缘层ins1上，并且布置在第一电极elt1与第二电极elt2之间的发光元件ld的方法。
120.图6和图7是示意性地示出制造图5的一部分的方法的剖面图，图8是示出在根据比较例的实施例中，墨没有从喷墨印刷装置正常喷射时，布置在基础层的发光元件的位置的图片。
121.参照图6，向第一电极elt1与第二电极elt2之间喷射包括发光元件ld的预定的溶液ink。溶液ink可以包括溶剂svl和固形成分，固形成分可以包括多个发光元件ld。溶剂svl由丙酮、水、乙醇、丙二醇甲醚醋酸酯、甲苯等构成，并且可以是在常温或者借由热而被汽化或者挥发的物质。
122.在喷射溶液ink之后，如果在第一电极elt1和第二电极elt2施加预定的对齐排列电压(或者，对齐排列信号)，则在第一电极elt1与第二电极elt2之间会形成电场，从而发光元件ld在第一电极elt1与第二电极elt2之间对齐排列。在发光元件ld对齐排列之后，可以使溶液ink挥发或者用除此之外的其他方式去除溶液ink而在第一电极elt1与第二电极elt2之间稳定地排列发光元件ld。
123.但是，由于喷嘴的堵塞等问题而导致溶液ink无法从喷墨印刷装置正常喷射的情形下，发光元件ld无法被正常地提供到期望的位置(例如，发光区域)。
124.参照图7，在稳定地排列发光元件ld之后，在发光元件ld上形成第二绝缘层ins2、第一接触电极cne1、第二接触电极cne2以及第三绝缘层ins3。
125.在根据比较例的显示面板的制造方法中，不进行确认发光元件ld的布置状态、溶液ink喷射状态等的工序的情况下，在喷墨工序之后，在发光元件ld上形成第二绝缘层ins2、第一接触电极cne1、第二接触电极cne2以及第三绝缘层ins3。据此，在发光元件ld未被喷射的情形下，可能在显示面板的至少一个像素px产生没有布置发光元件ld的处所，相应像素px可能无法以期望的辉度正常发光，整体上可能对显示装置的亮度等发生问题。
126.如图8所示，在喷墨工序中，在包括发光元件ld的溶液ink未被喷射的情形下，在显示面板pnl产生了发光元件ld没有被正常地布置在期望的位置，并且发光元件ld未被布置在一部分区域的情形。其中，各喷射位点jp可以是表示显示面板pnl的各像素px的位点，未喷射位点njp可以表示未被喷射发光元件ld而没有发出的光的位点。
127.由于在发光元件ld上形成第二绝缘层ins2的工序之后不容易进行针对前述的未喷射位点njp的产生的修补，因此可以提出在喷墨工序中实时掌握未喷射位点njp的产生与否而最小化未喷射位点njp的产生的方案。
128.在本实施例中，可以在前述的喷墨工序之后，执行用于在显示面板pnl的一部分区域确认未喷射位点njp的产生与否的后续工序。尤其是，在本实施例，可以在喷墨工序中，预先确认发光元件ld的喷射与否而掌握未喷射位点njp后，进行向未喷射位点njp喷射包括发光元件ld的溶液ink的后续工序。
129.以下，参照图9和图10说明可以防止喷墨印刷工序中的不良的显示面板制造装置以及显示面板制造方法。
130.图9是示出根据一实施例的显示面板制造装置的示意性的图，图10是示出根据一实施例的显示面板制造方法的一部分的顺序图。关于图9和图10，参照前述的图1至图8进行说明。
131.首先，参照图9，根据一实施例的显示面板制造装置可以包括喷射部110、光照射部120、传感器部130以及控制部140。
132.喷射部110向基础层bsl喷射包括多个发光元件ld的溶液ink。喷射部110可以向显示面板pnl的第一电极elt1与第二电极elt2之间的第一绝缘层ins1上喷射包括多个发光元件ld的预定的溶液ink。被喷射溶液ink的区域可以是显示面板pnl的发光区域ea的一部分。在一实施例中，喷射部110可以与喷墨印刷装置的喷嘴对应。并且，后述的光照射部120、传感器部130以及控制部140可以是包括于喷墨印刷装置的元件、构成。
133.光照射部120向被喷射到基础层bsl的溶液ink照射光。其中，光可以是10nm至400nm波长范围的紫外线(uv：ultraviolet)。光照射部120可以以与被喷射到基础层bsl的溶液ink的区域对应的方式照射光。在一实施例中，光照射部120可以由紫外线灯实现。
134.传感器部130感测被喷射到基础层bsl的溶液ink的喷射位点。即，传感器部130借由发光元件ld的激发光而感测溶液ink的喷射位点jp(图8)，其中，借由从光照射部120照射的光而发出所述发光元件ld的激发光。包括于溶液ink的发光元件ld如果被照射紫外线，则可以借由发光元件ld的活性层13(图1和图2)内部电子的激发(excite)、迁移(transition)而发出激发光。传感器部130可以通过感测这种发光元件ld的光而确认在基础层bsl喷射有溶液ink的位点。在一实施例中，传感器部130由诸如显微镜(micro scope)等图像传感器实现，从而可以扫描发光图像。并且，传感器部130可以向控制部140提供从显示面板pnl的基础层bsl获取的有关喷射位点jp(图8)的图像。
135.控制部140根据传感器部130的感测结果而判断溶液ink的喷射与否和/或未喷射位点njp(图8)，并控制喷射部110。
136.在传感器部130感测到溶液ink的未喷射位点njp(图8)的情形下，由于存在溶液ink未被正常喷射的位点，因此控制部140可以控制喷射部110以使溶液ink喷射到溶液ink未喷射位点njp(图8)。其中，在溶液ink未正常喷射到基础层bsl的情形下，传感器部130可以获取前述的图8的图像，控制部140可以控制喷射部110以使溶液ink喷射到未喷射位点njp(图8)。
137.与此相反，在传感器部130没有感测到溶液ink未喷射位点njp(图8)的情形下，由于溶液ink被正常喷射，因此控制部140可以控制喷射部110以使其不再向相应区域喷射溶液ink。
138.此后，如果向第一电极elt1和第二电极elt2施加预定的对齐排列电压(或者，对齐排列信号)，则发光元件ld对齐排列于第一电极elt1与第二电极elt2之间。在发光元件ld对齐排列之后，可以通过使溶剂svl挥发或者用除此之外的其他方式去除溶剂svl而使发光元件ld稳定地排列于第一电极elt1与第二电极elt2之间。并且，在显示面板pnl的发光元件ld上可以依次形成第二绝缘层ins2、第一接触电极cne1、第二接触电极cne2、第三绝缘层ins3等。
139.因此，在一实施例中，由于可以在喷墨印刷工序中直接检测出溶液ink的未喷射与否，因此可以改善喷墨印刷工序的收率，并降低显示装置的成本。
140.参照图10，在向基础层bsl喷射溶液ink之前，提供如下的显示面板pnl：在基础层bsl上形成有像素电路层pcl，在像素电路层pcl上形成有彼此相隔的两个第一堤bnk1，并在彼此相隔的第一堤bnk1上分别形成有第一电极elt1和第二电极elt2。在一实施例中，第一
电极elt1可以是阳极，第二电极elt2可以是阴极。
141.喷射部110向显示面板pnl的第一电极elt1与第二电极elt2之间的第一绝缘层ins1上喷射包括多个发光元件ld的预定的溶液ink(例如，墨)(s100)。喷射部110可以以覆盖第一电极elt1与第二电极elt2之间的区域的方式喷射溶液ink。在前述的图6示出了喷射包括多个发光元件ld的溶液ink的步骤。
142.此后，光照射部120向被喷射溶液ink的基础层bsl照射光(例如，紫外线)(s200)。
143.并且，传感器部130在被照射光的基础层bsl中感测溶液ink的喷射位点jp(图8)(s300)。传感器部130可以借由发光元件ld的激发光而确认发光元件ld的喷射位点jp(图8)，其中，借由从光照射部120照射的紫外线而发出所述发光元件ld的激发光。即，传感器部130可以识别发光元件ld内的电子的激发光，并且可以确认发光元件ld是否被正常喷射到基础层bsl。
144.控制部140根据传感器部130的感测结果而判断溶液ink的喷射位点jp(图8)(s400)，并控制喷射部110。如果在基础层bsl中存在未被喷射溶液ink的位点，则控制部140可以控制喷射部110以使溶液ink喷射到相应未喷射位点njp(图8)(s500)。即，控制部140可以控制喷射部110以向未喷射位点njp(图8)喷射修补墨(作为一例，溶液ink)。
145.在喷射部110喷射修补墨后，光照射部120、传感器部130以及控制部140执行确认溶液ink是否被正常喷射到基础层bsl的步骤。
146.即，光照射部120向被喷射溶液ink的基础层bsl再次照射光(例如，紫外线)，传感器部130在被照射光的基础层bsl中再次感测溶液ink的喷射位点jp(图8)，控制部140根据传感器部130的感测结果而判断溶液ink的喷射位点jp(图8)，并控制喷射部110。这种步骤可以进行到在基础层bsl感测不到未喷射位点njp(图8)为止。
147.与此相反，如果判断为基础层bsl全部被喷射了溶液ink，则进行用于制造显示面板pnl的后续工序(s550)。
148.在第一电极elt1和第二电极elt2被施加预定的对齐排列电压(或者，对齐排列信号)，从而发光元件ld在第一电极elt1与第二电极elt2之间对齐排列。在发光元件ld被对齐排列之后，可以通过使溶剂svl挥发或者用除此之外的其他方式去除溶剂svl而在第一电极elt1与第二电极elt2之间稳定地排列发光元件ld。此后，可以在显示面板pnl的发光元件ld上依次形成第二绝缘层ins2、第一接触电极cne1、第二接触电极cne2、第三绝缘层ins3等。即，可以制造参照图5前述的显示面板pnl。
149.虽然以上参照本发明的优选实施例进行了说明，但本技术领域熟练的技术人员或者在本技术领域中具有普通知识的人员便可以理解在不脱离权利要求书中记载的本发明的思想和技术领域的范围内可以对本发明进行多种修改和变更。
150.因此，本发明的技术范围并不限于说明书的详细说明中记载的内容，而应当根据权利要求书的范围而决定。