制备柱状间隔物的方法与流程

技术特征：
1.一种制备柱状间隔物的方法，其中基质部分和从所述基质部分突出的间隔物部分一体成型，所述方法包含使用具有图案的掩模用光照射感光性树脂组合物的涂膜，然后进行显影，其中所述掩模包含(1)用于形成所述间隔物部分的第一图案；(2)用于形成所述基质部分的第二图案，所述第二图案与所述第一图案相邻定位并且具有比所述第一图案低的透光率；(3)位于所述第一图案与所述第二图案之间的边界处的第三图案，所述第三图案具有比所述第二图案低的透光率，所述第三图案的宽度是所述第一图案的宽度的14％到60％,以及所述掩模的所述第三图案在所述柱状间隔物的所述基质部分与所述间隔物部分之间的边界处形成从所述基质部分凹入的谷,所述第二图案的透光率是所述第一图案的透光率的15％到25％，并且所述第三图案的透光率是所述第二图案的透光率的0％到25％。2.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述掩模的整个区域中，所述第一图案形成至少一个封闭区域，所述第三图案形成围绕所述第一图案的所述封闭区域的边界区域，并且所述第二图案形成除了所述第一图案和所述第三图案之外的其余区域。3.根据权利要求1所述的方法，其中所述感光性树脂组合物包含(a)共聚物；(b)可聚合化合物；(c)光聚合引发剂；和(d)着色剂。4.根据权利要求3所述的方法，其中所述感光性树脂组合物还包含环氧树脂化合物或由其衍生的化合物。5.根据权利要求4所述的方法，其中所述环氧树脂化合物具有卡哆主链结构。6.根据权利要求4所述的方法，其中以所述感光性树脂组合物的固体含量的总重量计，所述感光性树脂组合物包含0重量％到20重量％的黑色无机着色剂、10重量％到40重量％的黑色有机着色剂和0重量％到15重量％的蓝色着色剂作为着色剂。7.一种用于柱状间隔物的掩模，所述掩模包含：(a)第一图案；(b)第二图案，所述第二图案与所述第一图案相邻定位并且具有比所述第一图案更低的透光率；和(c)第三图案，所述第三图案在所述第一图案与所述第二图案之间的边界处定位并具有比所述第二图案更低的透光率,所述第三图案的宽度是所述第一图案的宽度的14％到60％，所述第二图案的透光率是所述第一图案的透光率的15％到25％，并且所述第三图案的透光率是所述第二图案的透光率的0％到25％。8.根据权利要求7所述的掩模，其中，在所述掩模的整个区域中，所述第一图案形成至少一个封闭区域，所述第三图案形成围绕所述第一图案的所述封闭区域的边界区域，并且所述第二图案形成除了所述第一图案和所述第三图案之外的其余区域。

技术总结
制备柱状间隔物的方法。提供了一种制备柱状间隔物的方法，所述方法包含使用具有图案的掩模用光照射感光性树脂组合物的涂膜，然后进行显影，其中所述掩模包含(1)用于形成所述间隔物部分的第一图案；(2)用于形成所述基质部分的第二图案；(3)位于所述第一图案与所述第二图案之间的边界处的第三图案，所述第三图案的宽度是所述第一图案的宽度的14％到60％,以及所述掩模的所述第三图案在所述柱状间隔物的所述基质部分与所述间隔物部分之间的边界处形成从所述基质部分凹入的谷,所述第二图案的透光率是所述第一图案的透光率的15％到25％，并且所述第三图案的透光率是所述第二图案的透光率的0％到25％。案的透光率的0％到25％。案的透光率的0％到25％。


技术研发人员：金莲玉 朴锡凤 崔庆植 李秀敏
受保护的技术使用者：罗门哈斯电子材料韩国有限公司
技术研发日：2016.09.28
技术公布日：2022/2/28