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一种刻蚀废水回收银铜系统的制作方法

2022-02-26 06:02:24 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型属于半导体废水回收领域,尤其是涉及一种刻蚀废水回收银铜系统。


背景技术:

2.目前半导体行业,芯片或电路板蚀刻过程产生废水,包括废蚀刻液,洗水等。该废水中含有氨、银、铜等物质。国内加工厂大多采用将废水存放在密封的储罐内等待外单位拉走处理。外单位一般是经当地环保部门审批过有资质的回收公司,收费在4000-7000元/吨不等。
3.这部分废水处理一方面每年花费几百万的外委处理费用,另一方面也无法有效的回收利用其中的氨、铜、银等资源。


技术实现要素:

4.有鉴于此,本实用新型旨在提出一种刻蚀废水回收银铜系统,以解决需要对废水进行委托外委处理,费用昂贵的问题。
5.为达到上述目的,本实用新型的技术方案是这样实现的:
6.一种刻蚀废水回收银铜系统,包括除固撬块、预热撬块、精馏塔、冷凝撬块、氨水储罐、电加热器,所述除固撬块通过管道与预热撬块连接,预热撬块与精馏塔的上部分通过管道连接,精馏塔的下部分通过管道与预热撬块连接,精馏塔的顶部通过管道与冷凝撬块连接,精馏塔的中部与出贵金属管道连接,冷凝撬块通过管道与氨水储罐连接,氨水储罐与精馏塔的上部分通过管道连接,精馏塔的底部与电加热器连接。
7.所述所述除固撬块包括三相分离器、加碱罐,三相分离器的进废水口与进废水管道连接,三相分离器的进料口通过加碱管道与加碱罐连接,加碱管道上设有加碱泵,三相分离器的出油口与出油管道连接,三相分离器的出固口与出固管道连接,三相分离器的出液口通过第一出废水管道与预热撬块连接。三相分离器属于现有技术,采用的是无锡市碧天源环境工程有限公司的三相分离器。通过碱水除去废水中的油固,油与废液发生分层,废液进入第一出废水管道,油进入出油管,固体分离至出固口。实现废水中的油、固、水分离,银、铜等贵金属与氨络合形成可溶解物溶解于水中,其他金属离子与碱发生沉淀,从而实现其他金属与贵金属的分离。
8.所述预热撬块包括废水进料泵、静态混合器、预热器,废水进料泵通过出废水管道与静态混合器连接,出废水管道上设有进料调节阀,进料调节阀通过管道与预热器连接,第二出废水管道上设有出料调节阀,第二出废水管道与精馏塔的底部连接,预热器的顶部与排出气体管道连接,预热器的底部与出固管道连接。排出气体的氨浓度低于15ppm,能够直接外排,预热器的底部与出固管道连接。静态混合器能够使废水中的物质混合的更加均匀,预热器能够提高进料温度能量综合利用。
9.所述冷凝撬块包括冷凝器,所述精馏塔的顶部与冷凝器的进气口通过管道连接,冷凝器的出液口与氨水储罐的顶部通过管道连接,冷凝器上设有循环水管道,使循环水能
够在循环水管道内排出。
10.所述氨水储罐的顶部通过废气管道与废气吸收塔连接。废气吸收塔采用现有技术,废气吸收塔为活性炭吸收塔。
11.相对于现有技术,本实用新型所述的一种刻蚀废水回收银铜系统具有以下有益效果:
12.通过本系统能够将废水回收,不仅节省了处理废水的费用,并且能够使废水产生较高的经济效益,并且能够防止工厂因处理废水价格昂贵,直接排放,污染环境,本系统能够保护环境,避免工厂直接排放的问题。
附图说明
13.构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
14.图1为本实用新型实施例所述的一种刻蚀废水回收银铜系统示意图。
15.附图标记说明:
16.1-除固撬块;2-预热撬块;3-精馏塔;4-冷凝撬块;5-氨水储罐;6-电加热器。
具体实施方式
17.需要说明的是,在不冲突的情况下,本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
18.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
19.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
20.下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
21.一种刻蚀废水回收银铜系统,一种刻蚀废水回收银铜系统,其特征在于:包括除固撬块1、预热撬块2、精馏塔3、冷凝撬块4、氨水储罐5、电加热器6,所述除固撬块1通过管道与预热撬块2连接,预热撬块2与精馏塔3的上部分通过管道连接,精馏塔3的下部分通过管道与预热撬块2连接,精馏塔3的顶部通过管道与冷凝撬块4连接,精馏塔3的中部与出贵金属管道连接,冷凝撬块4通过管道与氨水储罐5连接,氨水储罐5与精馏塔3的上部分通过管道
连接,精馏塔3的底部与电加热器6连接。
22.所述除固撬块1包括三相分离器、加碱罐,三相分离器的进废水口与进废水管道连接,三相分离器的进料口通过加碱管道与加碱罐连接,加碱管道上设有加碱泵,三相分离器的出油口与出油管道连接,三相分离器的出固口与出固管道连接,三相分离器的出液口通过第一出废水管道与预热撬块2连接。三相分离器属于现有技术,采用的是无锡市碧天源环境工程有限公司的三相分离器。通过碱水除去废水中的油固,油与废液发生分层,废液进入第一出废水管道,油进入出油管,固体分离至出固口。实现废水中的油、固、水分离,银、铜等贵金属与氨络合形成可溶解物溶解于水中,其他金属离子与碱发生沉淀,从而实现其他金属与贵金属的分离。
23.所述预热撬块2包括废水进料泵、静态混合器、预热器,废水进料泵通过出废水管道与静态混合器连接,出废水管道上设有进料调节阀,进料调节阀通过管道与预热器连接,第二出废水管道上设有出料调节阀,第二出废水管道与精馏塔3的底部连接,预热器的顶部与排出气体管道连接,预热器的底部与出固管道连接,排出气体的氨浓度低于15ppm,能够直接外排,预热器的底部与出固管道连接。静态混合器能够使废水中的物质混合的更加均匀,预热器能够提高进料温度能量综合利用。
24.所述冷凝撬块4包括冷凝器,所述精馏塔3的顶部与冷凝器的进气口通过管道连接,冷凝器的出液口与氨水储罐5的顶部通过管道连接,冷凝器上设有循环水管道,使循环水能够在循环水管道内排出。
25.所述氨水储罐5的顶部通过废气管道与废气吸收塔连接。废气吸收塔采用现有技术,废气吸收塔为活性炭吸收塔。
26.废水进入三相分离器,通过碱水除去废水中的油固,油与废液发生分层,废液进入第一出废水管道,油进入出油管,固体分离至出固口。实现废水中的油、固、水分离,银、铜等贵金属与氨络合形成可溶解物溶解于水中,其他金属离子与碱发生沉淀,从而实现其他金属与贵金属的分离。含有银、铜等贵金属与氨络合形成可溶解物的废水进入静态混合器,与水进行混合,并且通过在预热器内进行预热,对油固进行进一步的分离,含有银、铜等贵金属与氨络合形成可溶解物的废水经过预热后进入精馏塔3,精馏塔3内对银、铜等贵金属与氨络合形成可溶解物的废水进行蒸馏,得到银、铜等贵金属,精馏塔3整出的氨气经过冷凝器进入氨水储罐5,能够得到浓度为20%氨水。
27.该设备可以实现节省企业外委废水费用、回收氨、银、铜等有效资源的目的。
28.因为银、铜等贵金属与氨络合形成可溶解物溶解于水中,故通过使废水失氨,回收该贵金属。避免了直接蒸发结晶,导致贵金属进入废盐相,造成的损失。
29.以某半导体厂的蚀刻废水为例:
30.总量:1000吨/年,含氨1.5%,含银400ppm,铜100ppm,溶液ph10。若直接外委处理,此部分的花费在400-700万元/年。若采用本设备自行处理废水,并回收有价值资源,不仅节省了废水处理费用,还能产生200万以上的额外收益。具体明细如下:
31.系统设备的运行费用表
[0032][0033]
系统设备的回收产品经济效益表
[0034][0035][0036]
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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