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盘形可调的抛光盘和抛光装置以及调控方法与流程

2022-02-25 20:16:09 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种盘形可调的抛光盘,其特征在于,所述抛光盘包括:抛光模组(10),所述抛光模组(10)具有一面为抛光面(111),所述抛光面(111)用于抛光待抛光物;承托座(20),与所述抛光模组(10)连接,并位于与所述抛光面(111)相对的另一侧面,用于承托所述抛光模组(10),所述承托座转动能够带动所述抛光模组转动抛光;其中,所述抛光模组(10)与所述承托座(20)的热形变系数不同,调节所述抛光模组(10)和所述承托座(20)的温度,使所述抛光面(111)内凹或凸出,以调节所述抛光面(111)形状。2.根据权利要求1所述盘形可调的抛光盘,其特征在于,所述抛光模组(10)包括:定盘(11),所述定盘(11)的一侧面为所述抛光面(111);控温盘(12),所述控温盘(12)的一面与所述定盘(11)相对的另一侧面连接,相对的另一面与所述承托座(20)连接;所述控温盘(12)能够调控所述抛光盘的温度,以使所述抛光面(111)朝靠近所述控温盘(12)凸出或朝远离所述控温盘(12)的方向凹陷。3.根据权利要求2所述盘形可调的抛光盘,其特征在于,多个所述抛光模组包括多个抛光分块(13),所述抛光分块(13)沿所述抛光模组的径向分布,多个所述抛光分块(13)拼接形成所述定盘(11)和/或所述控温盘(12)。4.根据权利要求3所述盘形可调的抛光盘,其特征在于,所述抛光分块(13)为圆环状,抛光分块沿着抛光模组(10)的径向,多个圆环状的所述抛光分块(13)依次套接形成盘状,且多个所述抛光分块(13)的圆心重合;其中,多个套设的所述抛光分块(13)的热形变系数从内到外逐渐变小或逐渐变大。5.根据权利要求2所述盘形可调的抛光盘,其特征在于,所述控温盘(12)内具有控温通道(121),用于供调温介质流动并调节温度。6.根据权利要求5所述盘形可调的抛光盘,其特征在于,所述控温通道(121)内壁相对的两侧分别设置有多个凸块(122);且每一侧内壁上的多个所述凸块(122)关于所述控温盘(12)的周向均匀布设,并关于所述控温盘(12)的中心对称设置。7.根据权利要求2所述盘形可调的抛光盘,其特征在于,所述定盘(11)、所述控温盘(12)、所述承托座(20)的热形变系数依次减小或增大。8.根据权利要求1所述盘形可调的抛光盘,其特征在于,所述抛光模组(10)内设置嵌设有多圈平衡筋(14),多圈所述平衡筋(14)呈环形且同心布设;多圈所述平衡筋(14)依次套设,且从内至外套设排布的多圈所述平衡筋(14)的直径由小到大排列。9.一种抛光装置,其特征在于,包括抛光盘(100)、驱动系统(200)、控制系统,其中;所述驱动系统(200)分别与所述抛光盘(100)和所述控制系统连接,所述控制系统控制所述驱动系统(200)驱动所述抛光盘(100)转动,用以抛光待抛光物,其中,所述抛光盘(100)为权利要求1-8中任意一项所述的抛光盘。10.一种抛光盘的盘形调控方法,其特征在于,所述调控方法用于调节如权利要求1-8中任意一项所述的抛光盘的形变量,所述调控方法包括以下步骤:向控温通道(121)内通入调温介质,以调节抛光盘的温度;监控抛光盘的内凹或凸出的变形量;根据抛光盘的变形量逆向调控通入控温通道(121)内的调温介质的温度,直至抛光盘
的变形量达到预设的变形量。

技术总结
本发明涉及抛光加工技术领域,特别是涉及一种盘形可调的抛光盘和抛光装置以及调控方法,该抛光盘包括:抛光模组,所述抛光模组具有一面为抛光面,所述抛光面用于抛光待抛光物;承托座,与所述抛光模组连接,并位于与所述抛光面相对的另一侧面,用于承托所述抛光模组,并驱动所述抛光模组转动;其中,所述抛光模组与所述承托座的热形变系数不同,调节所述抛光模组和所述承托座的温度,使所述抛光面内凹或凸出,以调节所述抛光面形状。本发明提供的抛光盘,在作业过程中,通过控制抛光模组以及承托座的温度,能够对抛光盘的盘形进行精确的调控,实现对待抛光物的抛光成型后的表面形状的进行调控,并且该抛光盘简单,盘形调控简便灵活。活。活。


技术研发人员:朱亮 李阳健 张雪纯 严浩 张杨燕
受保护的技术使用者:浙江晶盛机电股份有限公司
技术研发日:2021.11.08
技术公布日:2022/2/24
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