加工装置的制作方法

1.本发明涉及加工装置。


背景技术：

2.在对具有触摸面板的加工装置的加工条件进行设定时，操作者操作触摸面板而输入加工条件。此时，操作者通过显示在触摸面板上的输入部(数字键盘、键盘等)所包含的输入键的触摸操作，对加工装置输入规定的信息(数值、字符串等)。例如在专利文献1中公开了一种加工装置，其搭载有操作面板，该操作面板配置有设定数值的数位的数位设定键。
3.专利文献1：日本特开2001-84015号公报
4.但是，以往的加工装置中，显示在触摸面板上的输入键以较窄的间隔密集地配置，在输入的数值的位数较多的情况下，操作者有时输入错误的信息。并且，当对触摸面板输入错误的信息时，加工装置有可能按照非预期的加工条件对工件进行加工而产生加工不良。另外，加工装置的加工条件会设定从小数点以下到10以上的数位，因此当如专利文献1的加工装置那样始终显示多个数位设定键时，存在如下的问题：输入数值的数字键变小，输入时的操作性降低。


技术实现要素：

5.由此，本发明的目的在于提供加工装置，其能够抑制显示数字键的区域增加，并且能够抑制输入多个位数的情况下的误输入。
6.根据本发明的一个方式，提供加工装置，其包含：保持工作台，其对工件进行保持；加工单元，其对该保持工作台所保持的工件进行加工；操作面板，其输入加工条件；以及控制单元，其对该操作面板进行控制，其中，该控制单元使该操作面板显示与该加工条件所包含的多个项目对应的多个输入栏，当选择多个该输入栏中的一个输入栏时，该控制单元使数字键显示，当选择该数字键时，该控制单元使多个数位区别数字键显示，该多个数位区别数字键对应于在分别不同的位上包含通过该数字键输入的数字的多个数值，当选择该数位区别数字键时，该控制单元对该一个输入栏输入所选择的该数位区别数字键的数值。
7.优选在所述加工装置中，该数位区别数字键通过从该数字键起的轻拂操作而选择。
8.优选在所述加工装置中，该控制单元具有范围设定部，该范围设定部设定分别能够对多个该输入栏输入的数值的范围，该控制单元仅使符合该范围设定部所设定的范围内的该数位区别数字键显示。
9.优选在所述加工装置中，还具有数位存储部，该数位存储部将多个该输入栏与过去对多个输入栏输入的数值的数位关联而存储，当选择一个输入栏时，该控制单元仅使符合该数位存储部所存储的数位的数位区别数字键显示。
10.本技术发明的加工装置例如起到如下的效果：能够抑制输入数值的数字键变小、输入的操作性降低，并且能够提高输入多个位数的操作性。
附图说明
11.图1是示出实施方式的加工装置的结构例的立体图。
12.图2是示意性示出实施方式的加工装置的功能结构的一例的图。
13.图3是示出实施方式的设备数据的显示例的图。
14.图4是用于说明对于实施方式的输入栏的输入处理的一例的图。
15.图5是用于说明对于实施方式的输入栏的输入处理的另一例的图。
16.图6是用于说明对于实施方式的输入栏的输入处理的又一例的图。
17.图7是示出实施方式的加工装置的输入处置的处理步骤的一例的流程图。
18.图8是示出实施方式的数位数据的一例的图。
19.图9是用于说明对于实施方式的输入栏的输入处理的变形例的图。
20.图10是示意性示出实施方式的第1变形例的加工装置的结构例的立体图。
21.图11是示意性示出实施方式的第2变形例的加工装置的结构例的立体图。
22.标号说明
23.1：加工装置；10：卡盘工作台；12：拍摄单元；20：加工单元；30：触摸面板(操作面板)；31：显示部；32：输入部；40：控制单元；41：显示控制部；42：范围设定部；50：存储器；100：工件单元；101：工件；500：设备数据；501：输入栏；510：数位数据；511：数位信息。
具体实施方式
24.以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。本发明并不被以下实施方式所记载的内容限定。另外，在以下所记载的构成要素中包含本领域技术人员能够容易想到的内容、实质上相同的内容。另外，以下所记载的结构可以适当组合。另外，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行结构的各种省略、置换或变更。
25.[实施方式]
[0026]
根据附图对本发明的实施方式的加工装置1进行说明。图1是示出实施方式的加工装置1的结构例的立体图。图2是示意性示出实施方式的加工装置1的功能结构的一例的图。
[0027]
如图1所示，实施方式的加工装置1具有作为箱形的壳体的主体2。如图1所示，加工装置1具有卡盘工作台10、加工单元20、触摸面板30以及控制单元40。控制单元40与卡盘工作台10、加工单元20和触摸面板30电连接。
[0028]
作为加工装置1的加工对象的工件101例如是由硅、蓝宝石、砷化镓等形成的圆板状的半导体晶片或光器件晶片。借助粘接带103而将工件101支承于环状的框架102的开口，由此构成包含工件101在内的工件单元100。
[0029]
卡盘工作台10利用保持面11对工件单元100进行保持。卡盘工作台10与未图示的吸引源连通，通过从吸引源提供的负压而对工件单元100进行吸引保持。卡盘工作台10能够通过后述的x轴移动单元22沿着x轴方向移动，能够通过未图示的旋转驱动源绕z轴旋转。
[0030]
在本实施方式中，如图2所示，加工装置1还具有拍摄单元12、驱动单元14和z轴移动单元15。控制单元40与拍摄单元12、驱动单元14和z轴移动单元15电连接。
[0031]
如图1和图2所示，拍摄单元12是搭载有ccd(charge coupled device，电感耦合元件)或cmos(complementary metal oxide semiconductor，互补金属氧化物半导体)等图像传感器的电子显微镜。拍摄单元12对卡盘工作台10的保持面上所保持的工件101的正面进
行拍摄。拍摄单元12安装支承于加工单元20用的壳体的一部分而被一体化，设置成能够通过由滚珠丝杠、螺母、脉冲电动机等构成的z轴移动单元15而在z轴方向上移动。拍摄单元12例如可以具有对卡盘工作台10的保持面所保持的工件101的正面照射照明光的光源。
[0032]
加工单元20对卡盘工作台10所保持的工件101进行加工。加工单元20例如是一对切削单元，分别具有切削刀具。一对切削单元各自的切削刀具在y轴方向上相互对置，均绕y轴旋转。加工单元20通过旋转的切削刀具对工件101实施切削加工。加工单元20能够通过y轴移动单元27沿着y轴方向移动，能够通过z轴移动单元15沿着z轴方向移动。使拍摄单元12或加工单元20相对于卡盘工作台10的保持面在y轴方向上相对地移动的y轴移动单元27由滚珠丝杠、螺母、脉冲电动机等构成，与x轴移动单元22一起构成驱动单元14。
[0033]
加工装置1通过x轴移动单元22、y轴移动单元27和z轴移动单元15使卡盘工作台10和加工单元20相对移动，由此对卡盘工作台10所保持的工件101进行加工。
[0034]
另外，加工装置1所具有的加工单元20不限于利用切削刀具对工件101进行切削加工的切削单元。除此以外，加工单元20例如可以是利用磨削磨具等对同样的工件101进行磨削加工的磨削单元、利用研磨垫等对同样的工件101进行研磨加工的研磨单元、或对同样的工件101照射激光束而进行激光加工的激光加工单元等。
[0035]
如图1所示，触摸面板30在使显示面朝向外侧的状态下设置于主体2。触摸面板30在加工装置1的壳体上配设于容易观察且容易操作的部位。触摸面板30在控制单元40的控制下显示出拍摄单元12所拍摄的工件101的正面的图像、加工处理所需的各种信息，并且从操作者接受加工处理所需的输入操作等。在本实施方式中，触摸面板30是操作面板的一例。
[0036]
如图2所示，触摸面板30具有：显示部31，其显示与加工装置1相关的各种信息；以及输入部32，其从操作者接受加工条件的设定输入等与加工装置1相关的各种操作输入。显示部31例如具有液晶显示器、有机el显示器等显示设备。输入部32例如具有对显示设备的显示面上的物体的接触位置、坐标进行指定的触摸屏幕。
[0037]
在本实施方式中，对触摸面板30是输出信息的输出部的一例的情况进行说明，但不限于此。例如输出部可以由扬声器、通信装置等电子设备来实现。
[0038]
如图2所示，加工装置1具有存储器50。存储器50对实现控制单元40所执行的各种处理等功能的程序、基于该程序的处理所用的数据等进行存储。存储器50与控制单元40电连接。存储器50可以通过hdd(hard disk drive，硬盘驱动器)或半导体存储器等来实现。存储器50也可以用作控制单元40所具有的处理器执行控制程序所记述的命令时的临时的作业区域。
[0039]
另外，在本实施方式中，对加工装置1具有存储器50的情况进行说明，但加工装置1不限于此。例如存储器50可以为加工装置1的外部的计算机和电子设备、其他加工装置1等加工装置1能够访问的存储装置。
[0040]
存储器50例如能够存储设备数据500、数位数据510等各种数据。设备数据500例如包含用于显示能够供操作者设定工件101的加工条件的输入栏的数据。设备数据500按照器件的每个种类进行准备。例如器件的种类利用器件的序号进行管理。设备数据500例如作为具有多个输入栏的设备数据画面而显示在触摸面板30上。设备数据500将输入栏与对该输入栏输入的数值或默认值关联。当对控制单元40指示器件的序号时，对输入栏输入与该器件的序号相关联的各设定项目的值。
[0041]
数位数据510包含将设备数据500等的输入栏与过去对该输入栏输入的多个数值的数位关联的数据。数位数据510包含示出能够对输入栏输入的数值的范围的数据。对数位数据510进行存储的存储器50作为数位存储部发挥功能。另外，在本实施方式中，对使数位数据510为与设备数据500不同的数据的情况进行说明，但数位数据510不限于此。数位数据510可以包含于设备数据500。
[0042]
另外，在本实施方式中，说明对于设备数据500所示的输入栏的数值的输入处理，但加工装置1中的处理不限于此。例如在操作者对对准数据、清洗数据、搬送数据、切口检查数据等的多个输入栏输入数值时的处理中，可以应用本发明。
[0043]
控制单元40对使加工装置1驱动的各机构(x轴移动单元22、y轴移动单元27、z轴移动单元15)进行控制。控制单元40对加工装置1的各部进行控制而实现加工装置1的加工处理。控制单元40例如按照由操作者输入设定的加工条件而对包含卡盘工作台10、加工单元20在内的加工装置1的各部进行控制，从而实现工件101的加工处理。
[0044]
控制单元40具有：cpu(central processing unit，中央处理器)等运算处理装置；rom(read only memory，只读存储器)或ram(random access memory，随机存取存储器)等存储装置；以及输入输出接口装置。控制单元40是能够使用上述的装置按照加工装置1所实施的一系列的加工工序而执行用于控制上述的各构成要素的控制程序等的计算机。
[0045]
控制单元40按照借助触摸面板30的输入部32而由操作者设定的加工条件来控制加工装置1的所有动作。控制单元40具有显示控制部41和范围设定部42。控制单元40通过执行程序而实现各部的功能、作用等。
[0046]
显示控制部41对触摸面板30的显示部31的显示进行控制。显示控制部41使与工件101的器件的该加工条件所包含的多个项目对应的多个输入栏显示在触摸面板30上。当选择多个该输入栏中的一个输入栏时，显示控制部41使数字键显示。显示控制部41根据输入部32所检测的接触、检测到该接触的触摸面板30的位置、检测到接触的位置的变化等而检测手势。手势是操作者对于触摸面板30进行的操作。显示控制部41例如检测触摸(touch)、轻击(tap)、长按(long touch)、松开(release)、轻拂(flick)等手势。
[0047]
当通过第1手势选择该数字键时，显示控制部41对输入栏输入该数字键所示的数值。第1手势例如包含触摸、轻击等手势。当通过第2手势选择该数字键时，显示控制部41使与在分别不同的数位(位)上包含通过该数字键输入的数字的多个数值对应的多个数位区别数字键显示。第2手势例如包含长按、轻拂等手势。例如在选择“1”的数字键的情况下，显示控制部41使示出在不同的数位(位)上包含所选择的“1”的数字的“0.1”、“0.01”、“10”、“100”等数值的数位区别数字键显示。即，各个数位区别数字键示出对利用数字键选择的数乘以10n(n为正或负的整数)而得到的数值。
[0048]
另外，显示控制部41可以通过第1手势而使数位区别数字键显示。在该情况下，当通过包含触摸、轻击、长按、轻拂等的第1手势选择该数字键时，在所选择的数字键的附近显示出数位区别数字键。
[0049]
接着，当操作者在接触触摸面板30的状态下进行将接触的位置滑动到数位区别数字键上之后在数位区别数字键上停止接触这样的第2手势时，显示控制部41对输入栏输入数位区别数字键的数值。另外，当操作者进行未将接触滑动到数位区别数字键上而在数字键上停止接触的第2手势时，显示控制部41对输入栏输入数字键的数值。
[0050]
当选择该数位区别数字键时，显示控制部41对该一个输入栏输入所选择的该数位区别数字键的数值。显示控制部41通过从数字键向数位区别数字键的轻拂操作而检测到选择了数位区别数字键。由此，加工装置1能够通过从数字键向数位区别数字键的连续的操作而使操作者选择数位区别数字键，因此能够提高对于数位区别数字键的操作性。其结果是，加工装置1无需始终显示数位区别数字键，因此数字键的尺寸不会变小，能够防止数字的输入错误。
[0051]
范围设定部42设定能够分别对多个输入栏输入的数值的范围。范围设定部42例如在设定能够对输入栏输入的数值的范围时，将示出该数值的范围的信息与设备数据500的输入栏的项目关联。例如在输入栏能够输入1至5000的数值的情况下，范围设定部42例如将示出能够以1至5000的范围对输入栏输入的信息与输入栏关联。并且，显示控制部41仅使示出符合范围设定部42所设定的范围内的数值的该数位区别数字键显示在数字键的附近。
[0052]
以上，对本实施方式的加工装置1的结构例进行了说明。另外，使用图1和图2进行说明的上述结构仅为一例，本实施方式的加工装置1的结构不限于该例。本实施方式的加工装置1的功能结构可以根据规格、运用而灵活地变形。
[0053]
(输入栏的输入处理的例子)
[0054]
接着，对实施方式的加工装置1所执行的输入处理的一例进行说明。图3是示出实施方式的设备数据500的显示例的图。图4是用于说明对于实施方式的输入栏的输入处理的一例的图。图5和图6是用于说明对于实施方式的输入栏的输入处理的另一例的图。
[0055]
图3所示的设备数据500通过控制单元40的控制而作为设备数据画面显示在触摸面板30的显示部31上。设备数据500具有多个输入栏501。多个输入栏501构成为能够输入通过操作者的操作而输入的数值。在图3所示的一例中，设备数据500具有与“主轴转速”、“刀具高度”、“进给速度”、“转位”、“工件形状和尺寸”、“厚度”等多个项目分别对应的多个输入栏501。控制单元40按照将用于供操作者输入数值的输入键部600显示在设备数据500的附近的方式来控制触摸面板30的显示部31。控制单元40例如在操作者选择多个输入栏501中的任意输入栏的情况下，显示出输入键部600，也可以始终显示出输入键部600。
[0056]
输入键部600具有多个数字键610和多个操作键620。多个数字键610是用于供操作者输入数值的“0”至“9”的键。多个操作键620例如是用于供操作者选择确定、移动、删除、上档转换等命令的键。
[0057]
在图3所示的一例中，设备数据500由操作者选择与“厚度”的项目中的“带”对应的输入栏501。在该情况下，控制单元40与设备数据500一起显示出输入键部600，按照成为选择该输入栏501时的显示状态的方式控制触摸面板30的显示部31。
[0058]
在图4所示的场合1001，控制单元40将未图示的设备数据500和输入键部600显示在显示部31上。对于触摸面板30，操作者的手指接触“9”的数字键610的位置。并且，如场合1002所示，操作者使与触摸面板30接触的手指从“9”的数字键610的位置立即离开。在该情况下，控制单元40借助触摸面板30而检测到对于“9”的数字键610的触摸操作。控制单元40识别出选择了“9”的数字键610，对输入栏501输入“9”的数字键610所示的数值，并更新设备数据500的显示。由此，加工装置1对操作者显示出对与“厚度”的项目中的“带”对应的输入栏501输入了“9”的数值的设备数据500。
[0059]
在图5所示的场合1001，如图4所示那样，控制单元40将未图示的设备数据500和输
入键部600显示在显示部31上。操作者对于触摸面板30使手指接触“9”的数字键610的位置的状态持续规定时间以上。规定时间例如包含为了判定是否显示出数位区别数字键630而设定的时间。当控制单元40借助输入部32而检测到对于“9”的数字键610的长按操作时，如场合1010所示那样，按照显示出多个数位区别数字键630的方式控制显示部31。另外，在控制单元40借助输入部32而检测到对于“9”的数字键610的触摸操作的情况下，可以按照显示出多个数位区别数字键630的方式控制显示部31。
[0060]
在图5所示的一例中，控制单元40在“9”的数字键610的两侧显示出多个数位区别数字键630。多个数位区别数字键630例如是与通过数字键610输入的“9”的数字存在于不同的数位(位)的多个数值对应的多个键。多个数位区别数字键630例如包含“0.9”、“0.09”、“0.009”、“0.0009”的小数点以下的数位区别的四个键以及“90”、“900”、“9000”、“90000”的整数的数位区别的四个键。“0.9”、“0.09”、“0.009”和“0.0009”的数位区别数字键630与“8”、“5”、“2”的数字键610重叠，显示成沿着数字键610的列状。“90”、“900”、“9000”和“90000”的数位区别数字键630与“ /
‑”
、“.”、“0”的数字键610重叠，显示成沿着数字键610的列状。多个数位区别数字键630可以按照每个输入栏501预先设定，也可以按照每个输入栏501通过范围设定部42设定能够输入的数值的范围。
[0061]
接着，在场合1011，操作者使指示“9”的数字键610的手指在与触摸面板30接触的状态下滑动到“9000”的数位区别数字键630。并且，在场合1012，操作者使接触“9000”的数位区别数字键630的手指从触摸面板30离开。控制单元40借助输入部32将从场合1011到场合1012的操作者的一系列的操作检测为向“9000”的数位区别数字键630的轻拂操作。在该情况下，控制单元40识别出选择了“9000”的数位区别数字键630，对输入栏501输入“9000”的数位区别数字键630所示的数值，并更新设备数据500的显示。由此，加工装置1对操作者显示出对与“厚度”的项目中的“带”对应的输入栏501输入了“9000”的数值的设备数据500。同样地，加工装置1对于“1”至“8”的数字键610也可以显示出多个数位区别数字键630。
[0062]
例如操作者对输入栏501输入“7500”的情况下，首先对“7”的数字键610进行轻击操作，由此对输入栏501输入“7”的数值。并且，当操作者对于“5”的数字键610进行长按操作而显示出“500”的数位区别数字键630时，对“500”的数位区别数字键630进行轻拂操作，由此对输入栏501输入“7500”的数值。由此，操作者通过轻击操作和从长按操作起的轻拂操作这两次操作，能够对输入栏501输入四位的“7500”。即，加工装置1在对输入栏501输入“7500”的情况下，与对“7”、“5”、“0”、“0”的数字键610进行四次操作相比，能够削减至两次操作，因此能够提高输入作业的效率。
[0063]
例如操作者在对输入栏501输入“0.0125”的情况下，首先对“1”的数字键610进行长按操作，当显示出“0.01”的数位区别数字键630时，对“0.01”的数位区别数字键630进行轻拂操作，由此对输入栏501输入“0.01”的数值。并且，操作者对“2”的数字键61进行轻击操作且对“5”的数字键610进行轻击操作，由此对于输入栏501输入“0.0125”的数值。由此，操作者通过从长按操作起的轻拂操作和两次轻击操作共计三次操作而能够对输入栏501输入小数点以下四位的“0.0125”。即，加工装置1在对输入栏501输入“0.0125”的情况下，与对“.”、“0”、“1”、“2”、“5”的数字键610进行五次操作相比，能够削减至三次操作，因此能够提高输入作业的效率。
[0064]
如上所述，加工装置1在对输入栏501输入多个位数的数值的情况下，通过显示出
数位区别数字键630，能够削减数字键610的操作次数，因此能够抑制误输入。例如加工装置1在显示于触摸面板30的多个数字键610以较窄的间隔密集地配置的情况下，通过削减数字键610的操作次数，能够抑制误输入。其结果是，加工装置1在所输入的位数较多的情况下，与仅对数字键610进行多次操作相比，能够削减操作次数，因此能够抑制误输入且能够提高操作性。另外，加工装置1使数位区别数字键630与数字键610重叠而显示，由此即使显示于显示部31的多个数字键610以较窄的间隔密集地配置，也能够显示出多个数位区别数字键630。
[0065]
另外，加工装置1未将多个数位区别数字键630始终显示在输入键部600，在持续接触数字键610规定时间以上而进行了选择时进行显示，从而能够通过轻拂操作进行选择。其结果是，加工装置1无需使所显示的键的尺寸变小，因此能够进一步抑制操作者误输入。
[0066]
另外，在本实施方式中，对加工装置1在左右显示出多个数位区别数字键630的情况进行了说明，但不限于此。例如加工装置1只要在与数字键610相邻的位置显示出数位区别数字键630，则可以构成为在数字键610的上下左右、斜向等任意位置显示出多个数位区别数字键630。例如加工装置1可以构成为按照与操作者所选择的数字键610的一部分重叠的方式显示出数位区别数字键630。
[0067]
例如加工装置1中，范围设定部42设定1至5000的范围作为能够对输入栏501输入的数值的范围。在该情况下，加工装置1能够限制数位区别数字键630的键的数量。
[0068]
在图6所示的场合1101，控制单元40将未图示的设备数据500和输入键部600显示在显示部31上。操作者对于触摸面板30使手指接触“5”的数字键610的位置的状态持续规定时间以上。当控制单元40借助输入部32而检测到对于“5”的数字键610的长按操作时，根据输入栏501的能够输入的数值的范围，确定要显示的数位区别数字键630。例如控制单元40确定落入1至5000的范围内的“50”、“500”和“5000”这三个数位区别数字键630。控制单元40如场合1102所示那样按照“50”、“500”和“5000”这三个数位区别数字键630围绕“5”的数字键610而显示的方式控制显示部31。
[0069]
另外，例如假设对带的“厚度”的输入栏501通过范围设定部42设定0.01～5.00mm的输入范围。在该情况下，当加工装置1检测到以规定时间以上选择“9”的数字键310时，能够将落入范围内的“0.09”和“0.9”这两个数位区别数字键630显示在“9”的数字键310的周围。其结果是，加工装置1能够使操作者选择能够对输入栏501输入的位数的数位区别数字键630，因此能够进一步抑制对于输入栏501的误输入。
[0070]
(输入栏的输入处理)
[0071]
接着，对实施方式的加工装置1所执行的输入处理的处理步骤的一例进行说明。图7是示出实施方式的加工装置1的输入处置的处理步骤的一例的流程图。图7所示的处理步骤通过加工装置1的控制单元40执行程序而实现。图7所示的处理步骤在显示设备数据500的情况下执行。
[0072]
如图7所示，加工装置1的控制单元40将设备数据500显示在触摸面板30上(步骤2001)。控制单元40例如按照显示具有多个输入栏501的设备数据500的方式控制触摸面板30的显示部31。由此，显示部31显示具有多个输入栏501的设备数据画面。控制单元40在结束步骤2001的处理时，使处理进入步骤2002。
[0073]
控制单元40对是否选择了输入栏501进行判定(步骤2002)。例如在触摸面板30的
输入部32所提供的显示面中的物体的接触位置为设备数据画面的输入栏501的位置的情况下，控制单元40判定为选择了输入栏501。控制单元40在判定为未选择输入栏501的情况下(步骤2002中为否)，使处理进入后述的步骤2015。另外，控制单元40在判定为选择了输入栏501的情况下(步骤2002中为是)，使处理进入步骤2003。
[0074]
控制单元40将数字键610显示在触摸面板30上(步骤2003)。例如控制单元40显示出上述的输入键部600，从而以能够操作的方式显示多个数字键610。控制单元40在结束步骤2003的处理时，使处理进入步骤2004。
[0075]
控制单元40对是否以规定时间以上选择数字键610进行判定(步骤2004)。例如在触摸面板30的输入部32所提供的显示面中的物体的接触位置为数字键610的位置的状态持续规定时间以上的情况下，控制单元40判定为选择了数字键610。控制单元40在判定为选择数字键610规定时间以上的情况下(步骤2004中为是)，使处理进入步骤2005。
[0076]
控制单元40确定与数字键610对应的数位区别数字键630(步骤2005)。例如在未由范围设定部42设定能够对相应的输入栏501输入的数值的范围的情况下，控制单元40确定预先设定于数字键610的多个数位区别数字键630。例如在由范围设定部42设定能够对相应的输入栏501输入的数值的范围的情况下，控制单元40确定符合范围内的数位区别数字键630。控制单元40在结束步骤2005的处理时，使处理进入步骤2006。
[0077]
控制单元40使数位区别数字键630显示在数字键610的附近(2006)。例如控制单元40控制显示部31以便将多个数位区别数字键630显示在操作者所选择的数字键610的附近。控制单元40在结束步骤2006的处理时，使处理进入步骤2007。
[0078]
控制单元40对是否检测到数位区别数字键630的确定操作进行判定(步骤2007)。例如在借助输入部32而检测到对于数位区别数字键630的轻拂操作的情况下，控制单元40判定为检测到数位区别数字键630的确定操作。控制单元40在判定为检测到数位区别数字键630的确定操作的情况下(步骤2007中为是)，使处理进入步骤2008。
[0079]
控制单元40将数位区别数字键630的数值输入至输入栏501(步骤2008)。例如控制单元40确定检测到确定操作的数位区别数字键630的数值，将该数值输入至输入栏501，并更新显示部31的显示内容。控制单元40在结束步骤2008的处理时，使处理进入后述的步骤2013。
[0080]
另外，控制单元40在判定为未检测到数位区别数字键630的确定操作的情况下(步骤2007中为否)，使处理进入步骤2009。控制单元40对是否满足数位区别数字键630的擦除条件进行判定(步骤2009)。数位区别数字键630的擦除条件例如包含检测到如下的操作中的任意操作：操作者的手指从触摸面板30离开；选择其他数字键610；选择其他输入栏501；等等。控制单元40在检测到任意操作的情况下，判定为满足数位区别数字键630的擦除条件。控制单元40在判定为未满足数位区别数字键630的擦除条件的情况下(步骤2009中为否)，使处理返回至已经说明的步骤2007，继续进行处理。另外，控制单元40在判定为满足数位区别数字键630的擦除条件的情况下(步骤2009中为是)，使处理进入步骤2010。
[0081]
控制单元40使所显示的数位区别数字键630擦除(步骤2010)。例如控制单元40控制显示部31以便将显示在操作者所选择的数字键610的附近的多个数位区别数字键630擦除。其结果是，显示部31成为将多个数位区别数字键630擦除而仅显示数字键610的状态。控制单元40在结束步骤2010的处理时，使处理进入后述的步骤2013。
[0082]
另外，控制单元40在判定为未选择数字键610规定时间以上的情况下(步骤2004中为否)，使处理进入步骤2011。控制单元40对是否检测到数字键610的确定操作进行判定(步骤2011)。例如控制单元40在借助输入部32而检测到对于数字键610的触摸操作的情况下，判定为检测到数字键610的确定操作。控制单元40在判定为未检测到数字键610的确定操作的情况下(步骤2011中为否)，使处理进入后述的步骤2013。
[0083]
另外，控制单元40在判定为检测到数字键610的确定操作的情况下(步骤2011中为是)，使处理进入步骤2012。控制单元40将数字键610的数值输入至输入栏501(步骤2012)。例如控制单元40确定检测到确定操作的数字键610的数值，将该数值输入至输入栏501，并更新显示部31的显示内容。控制单元40在结束步骤2012的处理时，使处理进入步骤2013。
[0084]
控制单元40对是否满足数字键610的擦除条件进行判定(步骤2013)。数字键610的擦除条件例如包含检测到如下的操作中的任意操作：操作者的手指从触摸面板30离开；解除输入栏501的选择；等等。控制单元40在检测到任意操作的情况下，判定为满足数字键610的擦除条件。控制单元40在判定为未满足数字键610的擦除条件的情况下(步骤2013中为否)，使处理进入后述的步骤2015。另外，控制单元40在判定为满足数字键610的擦除条件的情况下(步骤2013中为是)，使处理进入步骤2014。
[0085]
控制单元40将显示于触摸面板30的数字键610擦除(步骤2014)。例如控制单元40使显示部31擦除上述的输入键部600，从而擦除多个数字键610。控制单元40在结束步骤2014的处理时，使处理进入步骤2015。
[0086]
控制单元40对是否将设备数据500擦除进行判定(步骤2015)。例如控制单元40在借助输入部32而检测到设备数据500的保存操作、结束操作等的情况下，判定为将设备数据500擦除。控制单元40在判定为未将设备数据500擦除的情况下(步骤2015中为否)，使处理返回至已经说明的步骤2002，继续进行处理。另外，控制单元40在判定为将设备数据500擦除的情况下(步骤2015中为是)，使处理进入步骤2016。
[0087]
控制单元40对输入栏501的输入值进行保存而将设备数据500擦除(步骤2016)。例如控制单元40控制触摸面板30以便将反映出输入至输入栏501的数值的设备数据500存储于存储器50并将所显示的设备数据500擦除。由此，显示部31将所显示的设备数据画面擦除。控制单元40在结束步骤2016的处理时，结束图7所示的处理步骤。
[0088]
(输入处理的变形例)
[0089]
接着，对根据输入栏501的过去曾输入的数值而变更显示数位区别数字键630的个数的一例进行说明。图8是示出实施方式的数位数据510的一例的图。图9是用于说明对于实施方式的输入栏的输入处理的变形例的图。
[0090]
如图8所示，数位数据510是将与多个输入栏501分别对应的数位信息511和输入栏501关联的数据。存储数位数据510的存储器50作为数位存储部发挥功能。数位数据510例如在变更输入栏501的输入值的情况等，通过控制单元40进行更新。数位数据510具有多个数位信息511。数位信息511包含示出曾输入至输入栏501的过去的数值的位数或数值的信息。例如数位信息511包含示出第一次为“20”、第二次为“22”等的信息。在该情况下，数位信息511示出对于输入栏501输入两位的数值的可能性高。例如数位信息511包含示出第一次为“3位”、第二次为“2位”等的信息。在该情况下，数位信息511示出对于输入栏501输入从3位到2位的数值的可能性高。另外，数位数据510存储任意次数、例如最近三次的输入值的位
数，每当更新输入值时进行更新，能够仅显示与最近的三次输入对应的数位。
[0091]
在图9所示的场合1201，控制单元40将未图示的设备数据500和输入键部600显示在显示部31上。操作者对于触摸面板30使手指接触“5”的数字键610的位置的状态持续规定时间以上。控制单元40在借助输入部32而检测到对于“5”的数字键610的长按操作时，从数位数据510提取与输入栏501对应的数位信息511。在该情况下，数位信息511示出第一次为“3位”、第二次为“2位”。控制单元40根据所提取的数位信息511而确定所显示的数位区别数字键630。例如控制单元40确定3位以下的“50”和“500”这两个数位区别数字键630。控制单元40控制显示部31以便如场合1202所示那样使“50”和“500”这两个数位区别数字键630位于“5”的数字键610的左侧和上侧。
[0092]
由此，加工装置1能够仅显示符合能够输入至输入栏501的范围内且符合示出输入栏501的过去的输入结果的数位信息511的数位区别数字键630。其结果是，加工装置1仅显示根据曾输入至输入栏501的过去的位数的数位区别数字键630，从而不会选择错误的数位区别数字键630，能够进一步抑制对于输入栏501的误输入。
[0093]
另外，上述的输入处理的变形例能够通过在图7所示的处理步骤的步骤2005中追加或者置换根据数位信息511确定所显示的数位区别数字键630的处理而实现。
[0094]
另外，上述的实施方式的加工装置1可以将输入处理和变形例的技术思想组合。
[0095]
[第1变形例]
[0096]
以下，对上述实施方式的第1变形例的加工装置1进行说明。图10是示意性示出实施方式的第1变形例的加工装置1的结构例的立体图。另外，在以下的各实施方式中，对相同的部位标记相同的标号，从而省略了重复的说明。另外，在图10所示的一例中，为了简化说明，加工装置1省略了上述的主体2。
[0097]
如图10所示，实施方式的第1变形例的加工装置1是对工件101照射激光束的激光加工装置。加工装置1作为基本的结构具有卡盘工作台10、加工单元20、触摸面板30以及控制单元40。加工装置1还具有拍摄单元12、驱动单元14以及z轴移动单元15。加工单元20代替上述切削刀具而具有激光照射单元5。
[0098]
激光照射单元5例如具有振荡器、强度调整部(衰减器)、偏光方向设定部、反射镜元件聚光透镜等。激光照射单元5通过控制单元40进行控制。
[0099]
加工装置1沿着间隔道对由作为分割预定线的间隔道划分的工件101进行加工。加工装置1例如照射对于工件101具有透过性的波长的激光束，在工件101的内部沿着间隔道连续地形成改质层(改质区域)。另外，加工装置1可以具有如下的功能：沿着通过形成该改质层而强度降低的间隔道施加外力，由此将工件101分割。另外，加工装置1例如照射对于工件101具有吸收性的波长的激光束，在工件101的正面上沿着间隔道形成切削槽。切削槽可以是将工件101半切割的深度，也可以是全切割的深度。
[0100]
以上，对本实施方式的第1变形例的加工装置1的结构例进行了说明。另外，使用图10进行说明的上述结构仅为一例，本实施方式的第1变形例的加工装置1的结构不限于该例。本实施方式的第1变形例的加工装置1的功能结构可以根据规格、运用而灵活地变形。
[0101]
图10所示的加工装置1中，将上述的输入键部600显示在触摸面板30上。例如操作者对于触摸面板30使手指接触“8”的数字键610的位置的状态持续规定时间以上。控制单元40在借助输入部32而检测到对于“8”的数字键610的长按操作时，控制触摸面板30以便显示
多个数位区别数字键630。
[0102]
多个数位区别数字键630例如成为使“8”的数字键610的数位不同的键。多个数位区别数字键630例如包含“0.8”、“0.08”、“0.008”和“0.0008”这样的小数点以下的数位区别的四个键以及“80”、“800”、“8000”和“80000”这样的整数的数位区别的四个键。
[0103]
加工装置1在检测到从“8”的数字键610向“800”的数位区别数字键630的轻拂操作时，将“800”的数位区别数字键630所示的数值输入至输入栏501，并更新设备数据500的显示。由此，加工装置1对操作者显示出对与“厚度”的项目中的“带”对应的输入栏501输入了“800”的数值的设备数据500。
[0104]
这样，第1变形例的加工装置1与上述的实施方式同样地无需操作多次数字键610，因此能够有助于防止操作者对于输入栏501的输入操作的误输入。其结果是，加工装置1在所输入的位数较多的情况下，与操作多次数字键610相比，能够削减操作次数，因此能够抑制误输入并且能够提高操作性。
[0105]
[第2变形例]
[0106]
以下，对上述实施方式的第2变形例的加工装置1进行说明。图11是示意性示出实施方式的第2变形例的加工装置1的结构例的立体图。另外，在以下的各实施方式中，对相同的部位标记相同的标号，由此省略了重复的说明。另外，在图11所示的一例中，为了简化说明，加工装置1省略了上述的主体2。
[0107]
如图11所示，实施方式的第2变形例的加工装置1是对收纳于盒91、92的工件进行磨削的磨削装置。加工装置1作为基本的结构具有卡盘工作台10、加工单元20、触摸面板30以及控制单元40。加工单元20代替上述的切削刀具、激光照射单元等而具有磨削单元。
[0108]
加工单元20例如具有：磨削磨轮25，其具有呈环状配置的磨削磨具21；主轴23；以及伺服电动机24。磨削磨轮25安装于主轴23的下端，随着主轴23的旋转而旋转。主轴23将磨削磨轮25支承为能够绕与平行于铅垂方向的z轴方向大致平行的未图示的旋转轴旋转。伺服电动机24作为对主轴23提供旋转动力的旋转驱动源发挥功能。
[0109]
加工装置1利用卡盘工作台10对包含半导体晶片等圆板状的工件在内的工件单元100进行保持，使呈环状配置有磨削磨具21的磨削磨轮25一边旋转一边通过进给机构向该工件单元100按压，由此对工件进行磨削。
[0110]
以上，对本实施方式的第2变形例的加工装置1的结构例进行了说明。另外，使用图11进行了说明的上述结构仅为一例，本实施方式的第2变形例的加工装置1的结构不限于该例。本实施方式的第2变形例的加工装置1的功能结构可以根据规格、运用而灵活地变形。
[0111]
图11所示的加工装置1将上述的输入键部600显示在触摸面板30上。例如操作者对于触摸面板30使手指接触“1”的数字键610的位置的状态持续规定时间以上。控制单元40在借助输入部32而检测到对于“1”的数字键610的长按操作时，控制触摸面板30以便显示多个数位区别数字键630。
[0112]
多个数位区别数字键630例如成为使“1”的数字键610的数位不同的键。多个数位区别数字键630例如包含“0.1”、“0.01”、“0.001”和“0.0001”这样的小数点以下的数位区别的四个键以及“10”、“100”、“1000”和“10000”这样的整数的数位区别的四个键。
[0113]
加工装置1在检测到从“1”的数字键610向“10000”的数位区别数字键630的轻拂操作时，将“10000”的数位区别数字键630所示的数值输入至输入栏501，并更新设备数据500
的显示。由此，加工装置1对操作者显示出对与“厚度”的项目中的“带”对应的输入栏501输入了“10000”的数值的设备数据500。
[0114]
这样，第2变形例的加工装置1与上述的实施方式同样地无需操作多次数字键610，因此能够有助于防止操作者对于输入栏501的输入操作的误输入。其结果是，加工装置1在所输入的位数较多的情况下，与操作多次数字键610相比，能够削减操作次数，因此能够抑制误输入，并且能够提高操作性。
[0115]
另外，实施方式的第1变形例和第2变形例可以应用上述的实施方式的加工装置1的技术思想。
[0116]
在上述的实施方式、第1变形例和第2变形例中，对如下的情况进行了说明：在操作者长按数字键610的情况下，加工装置1将数位区别数字键630显示在该数字键610的周围，但不限于此。例如加工装置1可以构成为：在操作者触摸数字键610的情况下，将数位区别数字键630显示在该数字键610的周围。在该情况下，加工装置1在操作者使手指、接触物等在数字键610上离开的情况下，将该数字键610所示的数值输入至输入栏501。另外，加工装置1在操作者进行在使手指、接触物等保持触摸触摸面板30的状态下移动至数位区别数字键630上的轻拂操作并在数位区别数字键630上解除接触的情况下，将该数位区别数字键630所示的数位区别的数值输入至输入栏501。