光罩传送装置及曝光系统的制作方法

技术特征：
1.一种光罩传送装置，用于在不同部件之间进行光罩转移，其特征在于，包括：承载部，用于承载所述光罩；光源，设置于所述承载部用于承载所述光罩的一侧，以向所述光罩发出照射光，所述照射光照射于所述光罩时形成反射光；光检测器，用于获取所述反射光，并根据所述反射光生成光检测信号；控制器，与所述光检测器电连接，用于根据所述光检测信号判断所述光罩表面是否存在颗粒物。2.根据权利要求1所述的光罩传送装置，其特征在于，所述承载部具有用于承载所述光罩的第一区域，所述光源在所述承载部上的正投影位于所述第一区域之外。3.根据权利要求2所述的光罩传送装置，其特征在于，所述光源在所述承载部上的正投影与所述第一区域的边缘相接。4.根据权利要求1所述的光罩传送装置，其特征在于，所述照射光为平行光束。5.根据权利要求4所述的光罩传送装置，其特征在于，还包括：驱动器，与所述光源连接，用于驱动所述光源，以使所述照射光在所述光罩上形成的光斑沿预设路径移动，所述预设路径覆盖所述光罩。6.根据权利要求1所述的光罩传送装置，其特征在于，所述照射光为聚焦光束。7.根据权利要求6所述的光罩传送装置，其特征在于，还包括：第一光学组件，位于所述照射光的光路上，所述第一光学组件包括反射镜和折射镜的至少一种，以使所述照射光全部照射于所述光罩的表面；第二光学组件，位于所述反射光的光路上，所述第二光学组件包括反射镜和折射镜的至少一种，以使所述反射光汇聚于所述光检测器。8.根据权利要求1所述的光罩传送装置，其特征在于，还包括：吹扫部，设置于所述承载部用于承载所述光罩的一侧，所述吹扫部与所述控制器电连接，以受所述控制器控制，所述吹扫部用于在判断所述光罩的表面存在所述颗粒物时对所述光罩进行气体吹扫，去除所述颗粒物。9.一种曝光系统，其特征在于，包括若干个部件以及若干个如权利要求1至8任意一项所述的光罩传送装置，所述光罩传送装置用于在不同部件之间进行光罩转移。10.根据权利要求9所述的曝光系统，其特征在于，还包括：清洁装置，用于对所述部件进行清洁；主控器，与若干个所述光罩传送装置的所述控制器电连接，所述主控器还与所述清洁装置连接，所述主控器被配置为：当所述控制器判断所述光罩表面存在颗粒物时，控制所述清洁装置对待清洁部件进行清洁；所述待清洁部件指所述光罩表面存在颗粒物时，沿所述光罩的转移路径的最后一个部件。11.根据权利要求9所述的曝光系统，其特征在于，还包括：光刻机，所述光罩传送装置用于在所述光刻机中进行光罩的转移。12.根据权利要求11所述的曝光系统，其特征在于，还包括：显示装置，所述显示装置与所述主控器电连接，以当所述控制器判断所述光罩表面存在颗粒物时，所述主控器控制所述显示装置发出警报并显示所述光罩的转移路径。

技术总结
本发明涉及一种光罩传送装置及曝光系统。该光罩传送装置，包括承载部、光源、光检测器及控制器。其中，承载部用于承载光罩。光源用于向光罩发出照射光，并形成反射光。光检测器用于获取反射光并生成光检测信号。控制器用于根据光检测信号判断光照表面是否存在颗粒物。该光罩传送装置，可以根据光检测信号实时判断光罩表面是否存在颗粒物。光罩通过光罩传送装置在不同部件之间进行转移时，若光罩表面出现颗粒物，则可以准确锁定颗粒物的来源部件。该光罩传送装置，可以准确判断光罩表面的颗粒物的来源，从而减少颗粒物来源的排除时间，提升半导体器件的制造产能。体器件的制造产能。体器件的制造产能。


技术研发人员：刘子成
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2020.08.14
技术公布日：2022/2/23