一种钨镍合金溅射靶材及其热压制备方法与流程

技术特征：
1.一种钨镍合金溅射靶材的热压制备方法，其特征在于，所述热压制备方法包括如下步骤：(1)准备ni粉质量占比为44.1～49.5％的钨镍合金粉，装入模具并封口；(2)将步骤(1)封口后的模具进行热压烧结处理，得到钨镍合金烧结体；(3)将步骤(2)得到的钨镍合金烧结体进行机加工，得到钨镍合金溅射靶材。2.根据权利要求1所述的热压制备方法，其特征在于，所述钨镍合金粉利用w粉和ni粉按照ni粉质量占比为44.1～49.5％混合得到；优选地，所述w粉的纯度为99.95～99.999wt％；优选地，所述w粉的平均粒径＜45μm；优选地，所述ni粉的纯度为99.95～99.99wt％；优选地，所述ni粉的平均粒径＜45μm。3.根据权利要求2所述的热压制备方法，其特征在于，所述混合在混粉机中进行；优选地，所述混合采用加入锆球进行干混的方式；优选地，所述锆球与所述钨镍合金粉的球料质量比为(1～3):10；优选地，所述混合在氩气保护下进行；优选地，所述混合的时间为24～36h。4.根据权利要求1～3任一项所述的热压制备方法，其特征在于，步骤(1)所述模具为石墨模具；优选地，在步骤(1)将所述钨镍合金粉装入模具之后，所述封口之前，还包括压实处理；优选地，所述压实处理包括采用人工压柱方式进行压实处理，保证平面度＜1mm。5.根据权利要求1～4任一项所述的热压制备方法，其特征在于，步骤(2)所述热压烧结处理的目标温度为1270～1350℃；优选地，步骤(2)所述热压烧结处理的目标压力为25～35mpa；优选地，步骤(2)所述热压烧结处理在所述目标温度与所述目标压力下的保温保压时间为60～180min。6.根据权利要求5所述的热压制备方法，其特征在于，步骤(2)所述热压烧结处理包括如下内容：(i)将步骤(1)封口后的模具放入热压烧结炉中，抽真空至100pa以下，升温至1000～1050℃并保温60～90min，其中，控制所述封口后的模具的内部压强＜1mpa；(ii)在步骤(i)所述保温结束后升温至1270～1350℃并保温50～70min，其中，控制所述封口后的模具的内部压强＜1mpa；(iii)在步骤(ii)所述保温结束后，加压至25～35mpa并始终保持1270～1350℃，控制保温保压时间为60～180min；(iv)在步骤(iii)所述保温保压结束后，关闭所述热压烧结炉并冷却，然后充入氩气至真空表示数为-0.06～-0.08mpa。7.根据权利要求6所述的热压制备方法，其特征在于，步骤(i)所述升温的升温速率为8～12℃/min；优选地，步骤(ii)所述升温的升温速率为3～6℃/min；优选地，步骤(iii)所述加压的时间为50～70min；
优选地，在步骤(iv)中，待所述热压烧结炉内的温度降至200℃后，将所述模具内的坯料取出，即可得到所述钨镍合金烧结体。8.根据权利要求1～7任一项所述的热压制备方法，其特征在于，步骤(3)所述机加工包括线切割和/或磨加工；优选地，在步骤(3)所述机加工后，将所述钨镍合金溅射靶材与背板进行焊接，再经过机加工至目标尺寸，随后依次进行检测、清洗、干燥以及包装，得到钨镍合金靶材组件。9.根据权利要求1～8任一项所述的热压制备方法，其特征在于，所述热压制备方法包括如下步骤：(1)准备ni粉质量占比为44.1～49.5％的钨镍合金粉并装入石墨模具，先将石墨模具内的所述钨镍合金粉采用人工压柱方式进行压实处理，保证平面度＜1mm，再进行封口；其中，所述钨镍合金粉利用w粉和ni粉按照ni粉质量占比为44.1～49.5％混合得到，所述w粉的纯度为99.95～99.999wt％，平均粒径＜45μm，所述ni粉的纯度为99.95～99.99wt％，平均粒径＜45μm；所述混合在混粉机中进行，采用加入锆球进行干混的方式，控制所述锆球与所述钨镍合金粉的球料质量比为(1～3):10，在氩气保护下进行24～36h混合均匀；(2)热压烧结处理：(i)将步骤(1)封口后的模具放入热压烧结炉中，抽真空至100pa以下，以8～12℃/min的升温速率升温至1000～1050℃并保温60～90min，其中，控制所述封口后的模具的内部压强＜1mpa；(ii)在步骤(i)所述保温结束后，以3～6℃/min的升温速率升温至1270～1350℃并保温50～70min，其中，控制所述封口后的模具的内部压强＜1mpa；(iii)在步骤(ii)所述保温结束后，经过50～70min加压至25～35mpa并始终保持1270～1350℃，控制保温保压时间为60～180min；(iv)在步骤(iii)所述保温保压结束后，关闭所述热压烧结炉并冷却，然后充入氩气至真空表示数为-0.06～-0.08mpa，待所述热压烧结炉内的温度降至200℃后，将所述模具内的坯料取出，即可得到钨镍合金烧结体；(3)将步骤(2)得到的钨镍合金烧结体进行线切割和/或磨加工，得到钨镍合金溅射靶材。10.一种钨镍合金溅射靶材，其特征在于，利用权利要求1～9任一项所述的热压制备方法得到。

技术总结
本发明提供了一种钨镍合金溅射靶材及其热压制备方法，所述制备方法将Ni粉质量占比为44.1～49.5％的钨镍合金粉，经混粉-HP烧结即可得到钨镍合金溅射靶材，不仅可以得到致密度高、微观组织均匀、成分均匀、机加工性能优异的钨镍合金溅射靶材，致密度≥95％，更优时≥99％，满足当前高性能电致变色玻璃的应用需求，还具有工艺简单、成本较低、便于推广等优点。点。


技术研发人员：姚力军 潘杰 边逸军 王学泽 黄东长
受保护的技术使用者：宁波江丰电子材料股份有限公司
技术研发日：2021.11.16
技术公布日：2022/2/23