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一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机的制作方法

2022-02-23 22:08:30 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,具体为一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机。


背景技术:

2.真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法,真空镀膜往往采用真空镀膜机去实现镀膜的,真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积等很多种,现有的镀膜机还存在一些不足,比如:
3.现有的镀膜机在对镀膜件进行固定时,一般通过螺杆带动夹持板运动对镀膜件进行夹持固定,不仅不便于安装和拆卸,而且不便于对夹持结构进行拆卸清理,给操作人员带来不便。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机,包括真空镀膜机本体,所述真空镀膜机本体还包括底座、箱体和固定框,所述底座的上表面通过螺栓固定连接有箱体,所述箱体的一端铰接有密封板,所述密封板的另一侧与所述箱体通过塔扣固定连接,所述箱体内壁的一侧可拆卸连接有固定框,所述固定框内壁的下表面通过螺栓固定连接有过滤网,所述固定框内壁的两侧均通过螺栓固定连接有固定架,所述固定架内壁的一侧焊接有若干个弹簧,若干个所述弹簧的一端焊接有夹持块。
6.优选的,所述箱体的一侧开设有凹槽,且凹槽内壁的一侧通过螺栓固定连接有电动导轨,所述电动导轨的动力输出端通过螺栓固定连接有电动滑块,所述电动滑块的一侧与所述固定框可拆卸连接,所述箱体的一侧通过螺栓固定连接有控制器,所述控制器与外部电源电性连接,所述电动导轨与所述控制器电性连接。
7.优选的,所述电动滑块的一侧固定连接有固定板,所述固定板的上表面固定连接有螺杆,所述螺杆的外围从上到下依次套接有固定套和夹持板,所述固定套与所述螺杆螺纹连接,所述夹持板与所述螺杆滑动连接,所述夹持板和所述固定板的相邻面夹持固定连接有连接板,所述连接板的一端与所述固定框固定连接。
8.优选的,所述螺杆的一端固定连接有限位块。
9.优选的,所述固定架呈u型结构,两个所述夹持块的相邻面均呈弧形结构,所述夹持块的两端分别与所述固定架内壁的两侧滑动连接。
10.优选的,所述底座的下表面四角处均通过螺栓固定连接有支撑腿。
11.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
12.本实用新型通过设置有固定框、夹持块和弹簧,并且通过将镀膜件放置在两个夹持块之间的相邻面,镀膜件对夹持块产生挤压,进而对弹簧产生压缩,由于弹簧要恢复之前的状态,从而能够对夹持块产生相反的作用力,从而两个夹持块能够对镀膜件进行夹持固定,在固定时,不仅便于安装和拆卸,通过将固定框与箱体的内壁可拆卸连接,便于将夹持结构拆卸下来进行清理,给操作人员带来方便,通过控制器打开电动导轨,电动导轨带动电动滑块上下运动,从而能够带动固定框上下运动,进一步对安装镀膜件带来方便,在安装固定框时,通过将连接板插在固定板和夹持板的相邻面,转动固定套,能够使得夹持板和固定板将连接板夹持固定,进而能够将固定框夹持固定,便于将固定框拆卸下来进行清洗,并且安装简单、方便,更进一步对操作人员带来方便。
附图说明
13.图1为本实用新型整体结构示意图;
14.图2为本实用新型剖视结构示意图;
15.图3为图2中a处放大结构示意图;
16.图4为本实用新型固定框俯视结构示意图。
17.图中:1-箱体;2-底座;3-支撑腿;4-控制器;5-密封板;6-电动导轨;7-电动滑块;8-固定框;9-固定板;10-螺杆;11-夹持板;12-固定套;13-限位块;14-固定架;15-弹簧;16-夹持块;17-过滤网;18-连接板。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
19.请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机,包括真空镀膜机本体,真空镀膜机本体为现有技术,对于本领域技术人员来说,已经熟悉其具体的结构和原理,所述真空镀膜机本体还包括底座2、箱体1和固定框8,所述底座2的上表面通过螺栓固定连接有箱体1,所述箱体1的一端铰接有密封板5,所述密封板5的另一侧与所述箱体1通过塔扣固定连接,所述箱体1内壁的一侧可拆卸连接有固定框8,所述固定框8内壁的下表面通过螺栓固定连接有过滤网17,所述固定框8内壁的两侧均通过螺栓固定连接有固定架14,所述固定架14内壁的一侧焊接有若干个弹簧15,若干个所述弹簧15的一端焊接有夹持块16,在使用时,通过将镀膜件放置在两个夹持块16之间的相邻面,镀膜件对夹持块16产生挤压,进而对弹簧15产生压缩,由于弹簧15要恢复之前的状态,从而能够对夹持块16产生相反的作用力,从而两个夹持块16能够对镀膜件进行夹持固定,在固定时,不仅便于安装和拆卸,通过将固定框8与箱体1的内壁可拆卸连接,便于将夹持结构拆卸下来进行清理,给操作人员带来方便,通过控制器4打开电动导轨6,电动导轨6带动电动滑块7上下运动,从而能够带动固定框8上下运动,进一步对安装镀膜件带来方便,在安装固定框8时,通过将连接板18插在固定板9和夹持板11的相邻面,转动固定套12,能够使得夹持板11和固定板9将连接板18夹持固定,进而能够将固定框8夹持固定,便于将固定框8拆卸下来进行清
洗,并且安装简单、方便,更进一步对操作人员带来方便,所述箱体1的一侧开设有凹槽,且凹槽内壁的一侧通过螺栓固定连接有电动导轨6,所述电动导轨6的动力输出端通过螺栓固定连接有电动滑块7,所述电动滑块7的一侧与所述固定框8可拆卸连接,所述箱体1的一侧通过螺栓固定连接有控制器4,所述控制器4与外部电源电性连接,所述电动导轨6与所述控制器4电性连接,所述电动滑块7的一侧固定连接有固定板9,所述固定板9的上表面固定连接有螺杆10,所述螺杆10的外围从上到下依次套接有固定套12和夹持板11,所述固定套12与所述螺杆10螺纹连接,所述夹持板11与所述螺杆10滑动连接,所述夹持板11和所述固定板9的相邻面夹持固定连接有连接板18,所述连接板18的一端与所述固定框8固定连接,所述螺杆10的一端固定连接有限位块13,对固定套12起到限位的作用,所述固定架14呈u型结构,两个所述夹持块16的相邻面均呈弧形结构,所述夹持块16的两端分别与所述固定架14内壁的两侧滑动连接,所述底座2的下表面四角处均通过螺栓固定连接有支撑腿3。
20.工作原理:在使用时,通过将镀膜件放置在两个夹持块16之间的相邻面,镀膜件对夹持块16产生挤压,进而对弹簧15产生压缩,由于弹簧15要恢复之前的状态,从而能够对夹持块16产生相反的作用力,从而两个夹持块16能够对镀膜件进行夹持固定,在固定时,不仅便于安装和拆卸,通过将固定框8与箱体1的内壁可拆卸连接,便于将夹持结构拆卸下来进行清理,给操作人员带来方便,通过控制器4打开电动导轨6,电动导轨6带动电动滑块7上下运动,从而能够带动固定框8上下运动,进一步对安装镀膜件带来方便,在安装固定框8时,通过将连接板18插在固定板9和夹持板11的相邻面,转动固定套12,能够使得夹持板11和固定板9将连接板18夹持固定,进而能够将固定框8夹持固定,便于将固定框8拆卸下来进行清洗,并且安装简单、方便,更进一步对操作人员带来方便。
21.需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
22.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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