一种高速热盘密封腔开启结构的制作方法

1.本发明涉及半导体晶圆加工技术领域，具体为一种高速热盘密封腔开启结构。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，在涂敷光刻胶之前，将洗净的基片表面涂上附着性增强剂或将基片放在惰性气体中进行热处理。这样处理是为了增加光刻胶与基片间的粘附能力，防止显影时光刻胶图形的脱落以及防止湿法腐蚀时产生侧面腐蚀，用真空吸引法将基片吸在甩胶机的吸盘上，把具有一定粘度的光刻胶滴在基片的表面，然后以设定的转速和时间甩胶。由于离心力的作用，光刻胶在基片表面均匀地展开，多余的光刻胶被甩掉，获得一定厚度的光刻胶膜，光刻胶的膜厚是由光刻胶的粘度和甩胶的转速来控制，晶圆背面研磨减薄后，表面会形成一层损伤层，且翘曲度高，容易破片。为了解决这些问题，需要对晶圆背面进行湿法硅腐蚀，去除损伤层，释放晶圆应力，减小翘曲度及使表面粗糙化。
3.半导体晶圆在加工时会产生有害气体，加工晶圆的箱体侧部的取片口的密封性不好，造成有害气体的泄漏，而且用于排放有害气体的管道与晶圆加工箱之间、管道与管道之间的密封性也不太好，也会造成有害气体的泄漏，降低了设备作业时的安全性，不利于工作人员的身体健康，因此我们需要提出一种高速热盘密封腔开启结构。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种高速热盘密封腔开启结构，提高了加工晶圆的箱体侧部的取片口的密封性，也增加了排放有害气体的管道与晶圆加工箱之间、管道与管道之间的密封性，在很大程度上减少了有害气体的泄漏，提高了设备作业时的安全性，有利于工作人员的身体健康，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种高速热盘密封腔开启结构，包括工作台，所述工作台上固定安装有晶圆加工箱，所述工作台上安装有两组支撑座，所述支撑座上固定安装有电动推杆，所述电动推杆活塞杆一端连接有传动杆，所述传动杆的端部通过连接件连接有遮光板，所述遮光板上安装有第一密封圈，所述晶圆加工箱的一侧开设有取片口，所述第一密封圈紧密贴合在取片口上，可将晶圆加工时产地的有害气体封堵在晶圆加工箱内部，所述晶圆加工箱上通过第一密封件连接有第一抽气管，所述第一抽气管上通过第二密封件连接第二抽气管，所述第二密封件的内部设置有过滤板。
6.优选的，所述工作台上安装有过渡块，所述过渡块上开设有第一通孔，所述传动杆插接于第一通孔的内部。
7.优选的，所述连接件包括连杆活动头，所述连杆活动头上通过定位销转动连接有连接片，所述连接片上安装有推动杆，所述推动杆上通过第一螺栓安装有固定片，所述遮光板转动安装于两组固定片之间。
8.优选的，所述第一密封件固定连接于第一抽气管的端部，所述第一密封件通过第二螺栓固定安装于工作台上。
9.优选的，所述第一密封件上开设有第四通孔，所述工作台上开设有第二螺纹盲孔，所述第二螺栓的一端穿过第四通孔螺纹安装于第二螺纹盲孔的内部。
10.优选的，所述第一密封件的下端固定连接有第三密封圈，所述工作台上开设有凹槽，所述第三密封圈卡接于凹槽的内部。
11.优选的，所述第二密封件包括第一连接盘和第二连接盘，所述过滤板通过螺丝卡接固定于第一连接盘和第二连接盘的内部，所述过滤板设置为活性炭过滤板，对晶圆加工时产生的有害气体起到过滤的作用。
12.优选的，所述第一连接盘上开设有第三通孔，所述第二连接盘上开设有第一螺纹盲孔，所述螺丝的一端穿过第三通孔螺纹安装于第一螺纹盲孔的内部。
13.优选的，所述第一抽气管上开设有第二通孔，所述第二连接盘的下端固定连接有第二密封圈，所述第二密封圈插接于第二通孔的内部，所述第二连接盘焊接于第一抽气管上。
14.优选的，所述工作台上开设有出气孔，所述工作台的内顶部固定安装有两组抽风机，所述抽风机位于出气孔的下端，所述第一抽气管的端部和出气孔对齐设置。
15.优选的，所述第一抽气管设置为u形的抽气管，且第一抽气管的边部开设有圆弧状的倒角，便于有害气体流动，所述第二抽气管和第一抽气管垂直安装。
16.与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过遮光板、第一密封圈、第一密封件和第二密封件的设计，电动推杆的活塞杆一端伸出并带动传动杆在第一通孔的内部向前移动，传动杆通过连杆活动头、连接片和推动杆将遮光板抬起，并使第一密封圈与晶圆加工箱上的取片口紧密贴合使其密封，防止有害气体泄漏；第一密封件的下端固定连接有第三密封圈，工作台上开设有凹槽，第三密封圈卡接于凹槽的内部，对第一抽气管和晶圆加工箱之间的连接起到密封的作用，防止有害气体泄漏；第二密封件包括第一连接盘和第二连接盘，第二连接盘的下端固定连接有第二密封圈，第二密封圈的外径等于第二通孔的内径，第二密封圈插接于第二通孔的内部，防止有害气体从第一抽气管和第二抽气管的连接处泄漏，过滤板可有效的过滤有害气体中的异味，降低有害物质的含量，降低毒性，本发明提高了加工晶圆的箱体侧部的取片口的密封性，也增加了排放有害气体的管道与晶圆加工箱之间、管道与管道之间的密封性，在很大程度上减少了有害气体的泄漏，提高了设备作业时的安全性，有利于工作人员的身体健康。
附图说明
17.图1为本发明的俯视结构示意图；图2为本发明电动推杆、传动杆、过渡块、连杆活动头、遮光板和第一密封圈的结构示意图；图3为本发明晶圆加工箱、第一抽气管、第二抽气管和取片口的结构示意图；图4为本发明第一抽气管、第二抽气管、抽风机、第一密封件和第二密封件的剖视
结构示意图；图5为本发明第二密封件的爆炸结构示意图；图6为本发明图4中a部的结构放大示意图。
18.图中：1、工作台；2、晶圆加工箱；3、第一抽气管；4、第二抽气管；5、支撑座；6、电动推杆；7、传动杆；8、过渡块；9、连杆活动头；10、连接片；11、推动杆；12、遮光板；13、第一密封圈；14、第一通孔；15、第一螺栓；16、取片口；17、第一密封件；18、第二密封件；19、抽风机；20、第二通孔；21、第一连接盘；22、第二连接盘；23、过滤板；24、第三通孔；25、第一螺纹盲孔；26、第二密封圈；27、第二螺栓；28、第四通孔；29、第二螺纹盲孔；30、第三密封圈；31、凹槽。
具体实施方式
19.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
20.在不同附图中以相同标号来标示相同或类似组件；另外请了解文中诸如“第一”、“第二”、“第三”、“上”、“下”、“前”、“后”、“内”、“外”、“端”、“部”、“段”、“宽度”、“厚度”、“区”等等及类似用语仅便于看图者参考图中构造以及仅用于帮助描述本发明而已，并非是对本发明的限定。
21.请参阅图1-6，本发明提供一种技术方案：一种高速热盘密封腔开启结构，包括工作台1，工作台1上固定安装有晶圆加工箱2，工作台1上安装有两组支撑座5，支撑座5上固定安装有电动推杆6，对电动推杆6起到固定的作用，电动推杆6活塞杆一端连接有传动杆7，即电动推杆6带动传动杆7，移动，工作台1上安装有过渡块8，过渡块8上开设有第一通孔14，传动杆7插接于第一通孔14的内部；传动杆7的端部通过连接件连接有遮光板12，连接件包括连杆活动头9，连杆活动头9上通过定位销转动连接有连接片10，连杆活动头9上设置有u形的开口，连接片10转动设置于开口的内部，连接片10上安装有推动杆11，推动杆11设置为倒置的v形结构，推动杆11上通过第一螺栓15安装有固定片，遮光板12转动安装于两组固定片之间；遮光板12上安装有第一密封圈13，晶圆加工箱2的一侧开设有取片口16，第一密封圈13的尺寸和取片口16的尺寸对应设置，第一密封圈13紧密贴合在取片口16上，可将晶圆加工时产地的有害气体封堵在晶圆加工箱2内部，防止其内部的有害气体泄漏，造成工作人员误吸入毒气，影响身体健康；晶圆加工箱2上通过第一密封件17连接有第一抽气管3，第一密封件17固定连接于第一抽气管3的端部，第一密封件17通过第二螺栓27固定安装于工作台1上，第一密封件17上开设有第四通孔28，第四通孔28呈阵列设置有四组，工作台1上开设有第二螺纹盲孔29，第二螺纹盲孔29和第四通孔28对齐设置，第二螺栓27的一端穿过第四通孔28螺纹安装于第二螺纹盲孔29的内部，便于固定第一密封件17，第一密封件17的下端固定连接有第三密封圈30，工作台1上开设有凹槽31，第三密封圈30卡接于凹槽31的内部，对第一抽气管3和晶圆加工箱2之间的连接起到密封的作用，防止有害气体泄漏；
第一抽气管3上通过第二密封件18连接第二抽气管4，且第一抽气管3和第二抽气管4可拆卸，第一抽气管3设置为u形的抽气管，且第一抽气管3的边部开设有圆弧状的倒角，便于有害气体流动，第二抽气管4和第一抽气管3垂直安装，有害气体从第一抽气管3流进第二抽气管4的内部，第二密封件18的内部设置有过滤板23，可有效的过滤有害气体中的异味，降低有害物质的含量，降低毒性，第二密封件18包括第一连接盘21和第二连接盘22，过滤板23通过螺丝卡接固定于第一连接盘21和第二连接盘22的内部，过滤板23设置为活性炭过滤板，对晶圆加工时产生的有害气体起到过滤的作用；第一连接盘21上开设有第三通孔24，第三通孔24呈环形阵列设置有四组，第二连接盘22上开设有第一螺纹盲孔25，第一螺纹盲孔25和第三通孔24对齐设置，螺丝的一端穿过第三通孔24螺纹安装于第一螺纹盲孔25的内部，第一抽气管3上开设有第二通孔20，第二连接盘22的下端固定连接有第二密封圈26，第二密封圈26的外径等于第二通孔20的内径，第二密封圈26插接于第二通孔20的内部，防止有害气体从第一抽气管3和第二抽气管4的连接处泄漏，第二连接盘22焊接于第一抽气管3上，工作台1上开设有出气孔，工作台1的内顶部固定安装有两组抽风机19，抽风机19位于出气孔的下端，第一抽气管3的端部和出气孔对齐设置，且第一密封件17罩设在出气孔上，抽风机19可将晶圆加工箱2产生的有害气体抽进第一抽气管3的内部。
22.在使用本装置时，在晶圆加工箱2内部加工晶圆的过程中会产生有害气体，启动电动推杆6，电动推杆6的活塞杆一端伸出并带动传动杆7在第一通孔14的内部向前移动，传动杆7通过连杆活动头9、连接片10和推动杆11将遮光板12抬起，并使第一密封圈13与晶圆加工箱2上的取片口16紧密贴合使其密封；然后启动抽风机19，将加工晶圆产生的有害气体抽进第一抽气管3的内部，然后并从第二抽气管4中被排出，且有害气体在流动的过程中，第二密封件18内部的活性炭过滤板23可有效的过滤有害气体中的异味，降低有害物质的含量，降低毒性；尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。