一种高纯液态化学品分装系统及方法与流程

技术特征：
1.一种高纯液态化学品分装系统，其特征在于：包括高纯气体源(1)、抽真空设备(2)、原料罐(3)以及产品罐(4)；其中，所述原料罐(3)上设置有第一手动阀(7)和第二手动阀(8)，所述产品罐(4)上设置有第三手动阀(9)、第四手动阀(10)；所述高纯气体源(1)通过设置到管路上的第一气动阀(11)、压力计(6)连接到第一手动阀(7)上；通过设置到管路上的第五气动阀(15)、第六气动阀(16)、压力计(6)、第七气动阀(17)连接到第三手动阀(9)上；所述抽真空设备(2)通过设置到管路上第二气动阀(12)、第三气动阀(13)、第四气动阀(14)连接到第二手动阀(8)上；通过管路连接第六气动阀(16)；所述第四气动阀(14)连接所述第六气动阀(16)，所述第一气动阀(11)连接所述第三气动阀(13)。2.根据权利要求1所述的一种高纯液态化学品分装系统，其特征在于：所述第五气动阀(15)还通过管路连接有第八气动阀(18)和取样口(5)。3.根据权利要求1所述的一种高纯液态化学品分装系统，其特征在于：所述原料罐(3)下部设置有第一称重传感器(31)，所述产品罐(4)下部设置有第二称重传感器(41)。4.根据权利要求1-3中任一所述一种高纯液态化学品分装系统的分装方法，其特征在于，包括如下步骤：s1、分装管路真空切换，连通抽真空设备(2)、第二气动阀(12)、第三气动阀(13)、第四气动阀(14)、第二手动阀(8)，进行抽真空，抽真空至规定值；连通高纯气体源(1)、第一气动阀(11)、第三气动阀(13)、第四气动阀(14)、第二手动阀(8)输入高纯气体，当压力达到规定值后，重复前述抽真空操作，以此循环10次后停止；s2、原料罐输入气体，连通高纯气体源(1)、第一气动阀(11)、第一手动阀(7)向原料罐(3)内输入高纯气体；s3、产品灌真空切换，连通抽真空设备(2)、第六气动阀(16)、第七气动阀(17)、第三手动阀(9)，进行抽真空，抽真空至规定值；连通高纯气体源(1)、第五气动阀(15)、第六气动阀(16)、第七气动阀(17)、第三手动阀(9)输入高纯气体，当压力达到规定值后，重复前述抽真空操作，以此循环10次后停止；s4、产品罐真空灌装，连通原料罐(3)、第二手动阀(8)、第四气动阀(14)、第六气动阀(16)、第七气动阀(17)、第三手动阀(9)向产品罐(4)内输入高纯气体。5.根据权利要求4所述一种高纯液态化学品分装系统的分装方法，其特征在于，还包括连接取样口(5)、第八气动阀(18)、第五气动阀(15)、第六气动阀(16)、第七气动阀(17)、第三手动阀(9)向产品罐(4)进行采样。

技术总结
本发明涉及一种高纯液态化学品分装系统及方法，包括高纯气体源、抽真空设备、原料罐以及产品罐；其中，原料罐上设置有第一手动阀和第二手动阀，产品罐上设置有第三手动阀、第四手动阀；高纯气体源通过设置到管路上的第一气动阀、压力计连接到第一手动阀上；通过设置到管路上的第五气动阀、第六气动阀、压力计、第七气动阀连接到第三手动阀上；抽真空设备通过设置到管路上第二气动阀、第三气动阀、第四气动阀连接到第二手动阀上；通过管路连接第六气动阀；第四气动阀连接第六气动阀，第一气动阀连接所述第三气动阀。本装置系统通过多次抽真空切换，实现了内部的高纯度。实现了内部的高纯度。实现了内部的高纯度。


技术研发人员：董兴玉 刘民 李云 张洪洲 张真真
受保护的技术使用者：常州容导精密装备有限公司
技术研发日：2021.11.10
技术公布日：2022/2/6