高钪含量铝钪合金靶材及其制造方法与流程

技术特征：
1.一种高钪含量铝钪合金靶材的制造方法，其特征在于：包括：第一步，sc粉和al3sc粉配料；第二步，混合；第三步，烧结；第四步，成品机加工。2.如权利要求1所述的高钪含量铝钪合金靶材的制造方法，其特征在于：所述第一步具体为取sc粉和铝钪中间化合物al3sc粉，然后按铝钪合金靶材的合金成分配比原料，粉体的粒度在10～150微米。3.如权利要求1所述的高钪含量铝钪合金靶材的制造方法，其特征在于：所述第一步中sc粉及al3sc粉末纯度≥99.9％。4.如权利要求1所述的高钪含量铝钪合金靶材的制造方法，其特征在于：所述第二步中，将第一步按比例配好的原料在混粉机中进行均匀混合，所述混粉机为三维混粉机。5.如权利要求1所述的高钪含量铝钪合金靶材的制造方法，其特征在于：所述第三步中烧结用的包套为纯al或al合金包套。6.如权利要求1所述的高钪含量铝钪合金靶材的制造方法，其特征在于：所述第三步中烧结温度为1000-1300℃，保温时间为2-5小时，保压压力为100-150mpa。7.采用权利要求1至6任一项所述方法制备的高钪含量铝钪合金靶材。8.如权利要求7所述的高钪含量铝钪合金靶材，其特征在于：所述铝钪合金靶材中钪原子含量为25～50at％。

技术总结
本发明提出一种高钪含量铝钪合金靶材的制造方法，通过采用Sc粉与第二相化合物Al3Sc粉进行配料混合，Sc的熔点(1541℃)Al3Sc的熔点(1320℃)均较高，能够提高粉末烧结温度至1000-1300℃，提高了AlSc靶材的致密度；并且由于直接加入了第二相化合物Al3Sc粉，能够使得第二相更加均匀弥散的分布。第二相更加均匀弥散的分布。第二相更加均匀弥散的分布。


技术研发人员：王兴权 曹晓萌 丁照崇 李勇军 贾倩 李利利 何金江 张晓娜 杜文路 肖彤
受保护的技术使用者：有研亿金新材料有限公司
技术研发日：2021.09.30
技术公布日：2022/1/28