一种设有移动传送工件挂板机械手的大型真空镀膜机的制作方法

1.本发明涉及一种真空镀膜机，具体是涉及一种设有移动传送工件挂板机械手的大型真空镀膜机。


背景技术：

2.真空镀膜设备的技术发展趋势，一是提高产能和效率，二是提高镀膜产品质量和稳定性。要提高产能和效率，使得设备设计越来越大，装载量越来越多，单只工件挂具也越大、越重；要提高膜层质量和稳定性，除了引入镀膜新技术、新工艺外，一个最基本的要求是控制好炉内镀膜气氛稳定不变，也就是要保证每炉炉内残留气体降低至最少并保持一致性不变。为此，最有效手段是在各炉次镀膜和装卸工件都在真空中进行而不破真空，这样各炉次都在同样真空环境下进行镀膜，炉内气氛不因破真空受大气污染，可保持炉间残留气氛的一致性，这样膜层质量和一致性都会大大提高。
3.因此，近年来真空镀膜设备的发展一方面是大型化，另一方面是多舱化。多舱配置时，其中镀膜工艺舱室始终保持真空状态，它通过真空阀门与送料舱和出料舱连接，在真空状态下工件从送料舱送入镀膜舱，镀膜工艺完成后，在真空状态把工件移出到出料舱。一方面设备大型化，装挂工件的挂具数量多，挂具体积大，装挂上工件后的挂具重量很重。这些挂具在真空态状下传送转舱，必须靠机械手完成。为适应当前真空镀膜设备的发展趋势，需要研制适合各种用途的真空机械手。这样多舱式镀膜设备又要配置多台机械手，设备很复杂庞大，造价很高昂。
4.另外，多舱式镀膜机设计往往把送料舱和出料舱分开，分别需要有进料移动架和出料移动架，对应采用多台机械手，这样设计的设备结构复杂、造价高昂、使用不便、故障率高。


技术实现要素：

5.本发明所要解决的技术问题，就是提供一种结构简单造价低、使用方便故障少的设有移动传送工件挂板机械手的大型真空镀膜机。
6.解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案如下：
7.一种设有移动传送工件挂板机械手的大型真空镀膜机，其特征是：所述真空镀膜机内设有相邻的过渡舱4及镀膜工艺舱1，两者之间设有插板阀2以插板阀阀板3分隔；
8.所述镀膜工艺舱内设有：
9.工艺转架5，其为一个竖立的多边形柱体壳，固定在带驱动机构的工艺转架垂直回转轴6上，柱体壳侧面的每一面上设有可挂钩工件挂板ⅰ的四个挂钩9；
10.所述过渡舱内设有：
11.储备工件挂板梅花转架ⅳ，其固定在带驱动机构的梅花转架垂直回转轴8上，梅花转架上设有若干竖立的且可沿滑轨拉出梅花转架外的工件挂板固定架51，工件挂板固定架上可钩挂工件挂板，需镀膜的工件贴在工件挂板外侧立面上；
12.固定架拉出机构ⅲ，用于将工件挂板固定架沿滑轨拉出梅花转架外；
13.移动传送工件挂板机械手ⅱ，用于将工件挂板在过渡舱和工艺舱之间来回移动传送。
14.优选地，所述移动传送工件挂板机械手包括：
15.垂直回转及水平移动机构，其含：在水平的固定底板27的底面和支撑板的顶面上，设有固定板直线导轨滑块机构以及固定板丝杆螺母驱动直线运动机构，使得固定底板与支撑板可相对来回移动，支撑板底面又固定在一带驱动机构的垂直回转轴7上，使得水平移动机构及其上搭载组件整体可垂直回转；
16.移动支架组件，其含：一支承架19，固定竖立在所述固定底板27上，支承架19为桁架式结构，其前立面有竖立的前安装板19-1，前安装板中部安装有中心板组件，其包括：竖立且前后平行的矩形的中心板前立板24和中心板后立板24-1之间以横板24-2固连，中心板前立板和中心板后立板分别位于前安装板的前后方，中心板前立板的前面竖中线的上下各设有一垂直凸出的导向柱25，中心板后立板的前面和前安装板的后面上，设有水平的后立板直线导轨滑块机构以及气缸驱动直线运动机构，使得中心板后立板和固连的前立板一起相对于前安装板可相对左右移动；
17.上下移动板机构，其含：位于同一平面内、上下竖立安装的上移动板15和下移动板18，上移动板的上端部设有前伸的上爪块锁板14，其前端固定着向下的上爪块13；对应地，下移动板的下端部设有前伸的下爪块锁板17，其前端固定着向上的下爪块16；上移动板的下部开有从左至右倾斜向上的长形通孔，长形通孔套在上移动板背后的中心板前立板的导向柱上；上移动板的背后固连两对移动板滑块23，分别上下套在两条并排竖立固定在支承架上的垂直的移动板滑轨22上，使得并限制上移动板可相对支承架上下移动；对称地，下移动板的靠上部开有从左至右倾斜向下的长形通孔，它套在上移动板背后的中心板前立板的另一导向柱上；下移动板靠下部的背后固连两对移动板滑块分别上下套在另外两条并排竖立固定在支承架上的垂直的移动板滑轨上使得并限制下移动板可相对支承架上下移动。
18.优选地，所述移动传送工件挂板机械手的垂直回转及水平移动机构之固定底板直线导轨滑块机构为：固定底板的底面两侧对应固连有直线平行的机械手导轨28，与其滑动配合的机械手滑块29连接垫高块30固定在支撑板31顶面。支撑板31底面与垂直回转轴7固连，垂直回转轴7旋转实現移动传送工件挂板机械手整体垂直回转。
19.优选地，所述的固定底板丝杆螺母驱动直线运动机构为：螺母34固定在支撑板31顶面，丝杆35两端通过固定在固定底板27底面的深沟球轴承支承，驱动电机也固定在固定底板底面且其输出轴与丝杆35连接。
20.优选地，所述工件挂板ⅰ为一竖立的长方形挂板11，四角部开有挂钩孔，挂钩孔前后面分别用第一挂钩锁板10和第二挂钩锁板12封堵，第一挂钩锁板中央挖有挂钩孔，其形状是下圆而上端为收窄的槽孔。
21.优选地，所述的储备工件挂板梅花转架为：一支撑于梅花转架垂直回转轴8上的垂直中心支撑47，其上下对应地固定有水平的梅花转架上板46和梅花转架下板48，梅花转架上板的底面和对应的梅花转架下板顶面上，从回转轴心向外呈放射状设有若干沿半径方向延伸的竖板条，在上下竖板条的同一侧固定有水平对应的梅花转架滑轨49；所述工件挂板固定架51是一块矩形竖板，其背面上、下端与梅花转架滑轨对应处设有固定且与梅花转架
滑轨配合滑动连接的滑块50，竖板前面靠外设有挂钩9用于钩挂工件挂板，挂钩位置的设计应靠外使得沿半径方向滑动拉出工件挂板固定架至取/挂工件挂板工位位置时，工件挂板位于圆形的梅花转架上下板外方便取下；工件挂板固定架下端的外侧边沿固连有一拉出块52，其上钻有垂直的拉出孔。
22.优选地，所述的固定架拉出机构包括：一机座，其上设有水平无杆气缸40，水平无杆气缸的水平滑块41上又设有垂直无杆气缸43，垂直无杆气缸的垂直滑块42上设有竖立的水平及上下移动板44，水平及上下移动板44上顶端设有下伸的拉出柱45；固定架拉出机构设在储备工件挂板梅花转架的下方，平行于梅花转架的径向安装，竖立的水平及上下移动板44升高时正好到达工件挂板固定架的下端钩出孔高度，而水平无杆气缸40活塞向前伸时，拉出柱可对应到达处于工位处的工件挂板固定架上钩出孔上方。
23.优选地，所述固定架拉出机构的水平滑块41设在水平无杆气缸40侧立面的滑轨上、垂直滑块42设在垂直无杆气缸43的外侧壁滑轨上；所述的水平及上下移动板44为一l型竖板，其竖立段的上端向内弯折并设有向下的拉出柱45、水平段的另一端固定在垂直无杆气缸43的垂直滑块42上。
24.优选地，所述的垂直中心支撑47为竖管。
25.有益效果：现有的多舱式镀膜机设计往往把送料舱和出料舱分开，这样过于复杂，本发明把两舱简化成一个过渡舱，把原送料移动架和出料移动架两者合并成一个移动架，原来需要对应采用多台机械手改为合用一台机械手，这样设计的设备结构简化、造价降低、使用方便、故障率低。
附图说明
26.下面结合附图和实施例对本发明做进一步的详细说明。附图如下：
27.图1为本发明的大型真空镀膜机实施例剖视示意图；
28.图2为固定架拉出机构将工件挂板固定架拉出状态俯视示意图；
29.图3为移动运送机械手前进取工件挂板状态俯视示意图；
30.图4为移动运送机械手后退转位运送工件挂板状态俯视示意图；
31.图5为移动运送机械手深入工艺舱装挂工件挂板状态俯视示意图；
32.图6a为图1之ⅰ工件挂板主视示意图；
33.图6b为图1之ⅰ工件挂板剖视示意图；
34.图6c为图1之ⅰ工件挂板后视示意图；
35.图6d为图6c的局部剖视放大示意图；
36.图7a为图1之ⅱ工件挂板移动传送机械手剖视示意图；
37.图7b为图1之ⅱ工件挂板移动传送机械手局部主视示意图；
38.图7c为图1之ⅱ工件挂板移动传送机械手去掉前面上下移动板后的主视示意图；
39.图8a为图1之ⅲ工件挂板固定架拉出机构主视示意图；
40.图8b为图1之ⅲ工件挂板固定架拉出机构左视示意图；
41.图9a为图1之ⅳ储备工件挂板梅花转架剖视示意图；
42.图9b为图1之ⅳ储备工件挂板梅花转架局部剖视示意图；
43.图9c为图9b的局部放大示意图之一；
44.图9d为图9b的局部放大示意图之二。
45.主要另部件名称：
46.镀膜工艺舱1，插板阀2，插板阀阀板3，过渡舱4，工艺转架5，工艺转架垂直回转轴6，垂直回转及水平移动机构垂直回转轴7，储备工件挂板梅花转架垂直回转轴8，挂钩9，挂钩孔9-1，第一挂钩锁板10，工件挂板11，第二挂钩锁板12，上爪块13，上爪块锁板14，上移动板15，下爪块16，下爪块锁板1，下移动板18，支承架19，前安装板19-1，中心板后立板直线导轨滑块机构水平滑轨20，中心板后立板直线导轨滑块机构水平滑块21，上下移动板滑轨22，上下移动板滑块23，中心板前板24，中心板后板24-1，中心板横支板24-2，导向柱25，水平气缸26，固定底板27，机械手导轨28，机械手滑块29，垫高块30，支撑板31，第一轴承座32，第一深沟球轴承33，螺母34，丝杆35，第二轴承座36，第二深沟球轴承37，联轴器38，伺服电机39，水平无杆气缸40，拉出气缸滑块41，拉下气缸滑块42，垂直无杆气缸43，水平及上下移动板44，拉出柱45，梅花转架上板46，中心支撑47，梅花转架下板48，梅花转架滑轨49，滑块50，工件挂板固定架51，拉出块52。
具体实施方式
47.下面结合附图说明本发明的具体结构。
48.图1是本发明的大型真空镀膜机实施例带剖视的主视图，它显示了真空镀膜机内设有相邻的过渡舱4及镀膜工艺舱1，中间有插板阀2分隔，由插板阀阀门3的开启或关闭实现两舱连通或隔断。
49.镀膜工艺舱1是镀膜舱，舱内中心设有工艺转架5，其由带驱动机构的工艺转架垂直回转轴6带转。工艺转架5为一个竖立的多边形柱体壳，固定在工艺转架垂直回转轴6上，柱体壳侧面的每一面上设有四个可挂钩工件挂板ⅰ的挂钩9。工件挂板ⅰ它装挂在工艺转架5的挂钩9上，待镀工件贴在工件挂板ⅰ外侧面上。关闭阀门时进行镀膜作业，打开阀门时进行取出镀好的工件挂板和装挂待镀工件挂板。
50.过渡舱4是一个周转用舱，设有储备工件挂板梅花转架ⅳ，其固定在带驱动机构的梅花转架垂直回转轴8上，梅花转架上设有若干竖立的且可沿滑轨拉出梅花转架外侧的工件挂板固定架51，工件挂板固定架上可钩挂工件挂板ⅰ，需镀膜的工件贴在工件挂板ⅰ外侧立面上。在关闭镀膜工艺舱的阀门时可打开过渡舱的舱门，从炉外把待镀工件挂板钩挂在储备工件挂板梅花转架ⅳ的工件挂板固定架上，或把镀好的工件挂板从储备工件挂板梅花转架ⅳ的工件挂板固定架上取出炉外。
51.此外，过渡舱4内还设有固定架拉出机构ⅲ和工件挂板移动传送机械手ⅱ。
52.固定架拉出机构置于梅花转架的旋转底盘下方，以方便固定架拉出机构把梅花转架上的工件挂板固定架拉出转架外侧。机械手置于靠近插板阀门3与梅花转架ⅳ之间，方便其从工艺舱内的工艺转架与过渡舱的梅花转架之间取送工件挂板。
53.图2至图5是移动运送工件挂板机械手工作过程的俯视示意图，它们显示工件挂板移动运送机械手从过渡舱的梅花转架上取出工件挂板运送至工艺舱，并装挂到工艺转架的全过程。
54.图2显示固定架拉出机构把梅花转架上的工件挂板固定架51从原工位(径向滑轨的里面)拉出转架外侧(径向滑轨的外面)的情况。在梅花转架每个工位的上、下方对应设有
水平的固定滑轨49(见图9b)，每工位配有一套活动可拉出的竖板状工件挂板固定架51，该工件挂板固定架上、下端与上述工位滑轨对应处设有滑块50，它套入滑轨内可相对滑动，可通过工件挂板固定架拉出机构ⅲ把工件挂板固定架51从原位拉出到梅花转架外侧，见图3、图4、图5和图8。工件挂板固定架51朝外的立面钩挂着一块工件挂板ⅰ，需镀膜的工件贴在工件挂板ⅰ外侧立面上。此时，移动运送机械手ⅱ处于面向工件挂板ⅰ的后退位置上。
55.图3显示移动运送机械手ⅱ取下工件挂板ⅰ情况。移动运送机械手ⅱ面向工件挂板向前移动至工件挂板附近，机械手的上、下抓块夹持工件挂板，并让工件挂板脱离工件挂板固定架上的挂钩。移动运送机械手ⅱ后退将工件挂板移离工件挂板固定架51。
56.图4和图5显示移动运送机械手ⅱ夹持工件挂板ⅰ后退到位、转向面对并伸进工艺舱，插板阀打开，工艺舱与过渡舱连通，移动运送机械手ⅱ夹持着工件挂板ⅰ向前伸，通过阀门口进入工艺舱，把挂板送到工艺转架的空的工位并装挂在相应的挂钩上，挂牢后移动运送机械手ⅱ稍后退一点，工艺转架转动一个工位角度，让己镀好的一块挂板面对机械手ⅱ，机械手ⅱ前伸至该工件挂板ⅰ，让其脱离工艺转架上的挂钩后，夹持工件挂板ⅰ后退，退出工艺舱，再逆顺序重复前述各动作，即逆转位向，让夹持的工件挂板ⅰ朝着上述己腾空的处在梅花转架外侧的工件挂板固定架51，再向前移动让工件挂板贴近工件挂板固定架51并钩挂在其上，机械手ⅱ松开上下抓块并后退，完全脱离工件挂板ⅰ，退回原位。工件挂板固定架拉出机构ⅲ把工件挂板固定架51从梅花转架ⅳ的外侧向内推工件挂板固定架51，通过上、下滑块套着工位上的上、下滑轨滑动回到原工位上。
57.图6a至图6d为图1之ⅰ工件挂板示意图，显示了工件挂板的结构。它是一块竖立长方形板，四端角附近开有挂钩孔，图6d为挂钩孔结构剖视放大示意图，该图显示挂钩孔结构，它包括第一挂钩锁板10、挂板11、挂钩孔和第二挂钩锁板12。第一挂钩锁板10是方形薄板，中央挖有挂钩孔，挂钩孔形状是下圆而上端为收窄的槽孔，它是通孔，第一挂钩锁板10的四角有四只螺钉将其固连在挂板11上。挂板11对应上述挂钩孔处为相应通孔，第二挂钩锁板12置于第一挂钩锁板10相应位置的挂板11背面，它大小与第一挂钩锁板一样，它是一块封板，堵住上述挂板11的通孔，其四角用螺钉紧固在挂板11上。
58.图7a至图7c为图1之ⅱ工件挂板移动传送机械手示意图，图中显示工件挂板移动传送机械手的结构，共有三个视图：包括整体侧剖视图、主视方向的上下移动板视图和除去上下移动板后的机械手主视图。
59.移动传送工件挂板机械手包括：垂直回转及水平移动机构，其含：在水平的固定底板27的底面和支撑板的顶面上，设有固定板直线导轨滑块机构以及固定板丝杆螺母驱动直线运动机构，使得固定底板与支撑板可相对来回移动，支撑板底面又固定在一带驱动机构的垂直回转及水平移动机构垂直回转轴7上，使得水平移动机构及其上搭载组件整体可垂直回转；
60.移动支架组件，其含：一支承架19，固定竖立在所述固定底板27上，支承架19为桁架式结构，其前立面有竖立的前安装板19-1，前安装板中部安装有中心板组件，其包括：竖立且前后平行的矩形的中心板前立板24和中心板后立板24-1之间以横板24-2固连，中心板前立板和中心板后立板分别位于前安装板的前后方，中心板前立板的前面竖中线的上下各设有一垂直凸出的导向柱25，中心板后立板的前面和前安装板的后面上，设有水平的后立板直线导轨滑块机构以及气缸驱动直线运动机构，使得中心板后立板和固连的前立板一起
相对于前安装板可相对左右移动；
61.上下移动板机构，其含：位于同一平面内、上下对称竖立安装的上移动板15和下移动板18，上移动板的上端部设有前伸的上爪块锁板14，其前端固定着向下的上爪块13；对应地，下移动板的下端部设有前伸的下爪块锁板17，其前端固定着向上的下爪块16；上移动板的下部开有从左至右倾斜向上的长形通孔，长形通孔套在上移动板背后的中心板前立板的导向柱上；上移动板的背后固连两对移动板滑块23，分别上下套在两条并排竖立固定在支承架上的垂直的移动板滑轨22上，使得并限制上移动板可相对支承架上下移动；对称地，下移动板的靠上部开有从左至右倾斜向下的长形通孔，它套在上移动板背后的中心板前立板的另一导向柱上；下移动板靠下部的背后固连两对移动板滑块分别上下套在另外两条并排竖立固定在支承架上的垂直的移动板滑轨上使得并限制下移动板可相对支承架上下移动。
62.优选地，所述移动传送工件挂板机械手的垂直回转及水平移动机构之固定底板直线导轨滑块机构为：固定底板的底面两侧对应固连有直线平行的机械手导轨28，与其滑动配合的机械手滑块29固定在支撑板31顶面。
63.优选地，所述的固定底板丝杆螺母驱动直线运动机构为：螺母34固定在支撑板31顶面，丝杆35两端通过固定在固定底板27底面的深沟球轴承支承，驱动电机也固定在固定底板底面且其输出轴与丝杆连接。
64.垂直回转及水平移动机构是机械手整体转动角度和前后移动的动力和传动机构。
65.当伺服电机39启动，带动丝杆35转动。由于螺母34固连着支撑板31不动，逼使丝杆作相对运动，即让丝杆系统连同固定底板27沿着导轨28导向运动。伺服电机正、反转驱动固定底板27前伸或后退。这里的丝杆和丝杆螺母组合与传统的应用相反，让螺母固定不动而让丝杆作相对运动。支撑板31下端面固连垂直回转轴7，驱动机械手整体转动。
66.上下移动板机构用于夹持和取出工件工件挂板的，它包括上爪块13、上爪块锁板14、上移动板15、下爪块16、下爪块锁板17、下移动板18和移动板滑块23。图7a至图7c中显示它是上下对称安装有上移动板15和下移动板18，上移动板15的上端部设有前伸的上爪块锁板14，其前端部固定着向下的上爪块13；对应地，下移动板18的下端部设有前伸的下爪块锁板17，其前端部固定着向上的下爪块16和移动板滑块23。上移动板15的靠下部开有从左至右倾斜向上的长形通孔，它套在上移动板15背后的中心板前立板24的导向柱25上。上移动板15靠上部的背后固连两对移动板滑块23，分别上下套在竖立并排两条固定在支承架19上的垂直的移动板滑轨22上。同样对称地，下移动板18的靠上部开有从左至右倾斜向下的长形通孔，它套在上移动板18背后的中心板前立板24的另一导向柱25上。下移动板18靠下部的背后固连两对移动板滑块23分别上下套在另外竖立并排两条固定在支承架19上的垂直的移动板滑轨22上。
67.移动支架组件是随着垂直回转及水平移动机构转动和移动的，它支承着上、下移动板组件，此外它还承载着让上下移动板组件动作的驱动和传动机构。它包括支承架19、前安装板19-1、水平滑轨20、水平滑块21、中心板前立板24、中心板后立板24-1、中心板横支板24-2、导向柱25、气缸126。支承架19是一座立式的桁架结构，用钢板焊成，有的部位镂空，整体竖立固连在固定底板27上。支承架19的正立有竖立的前安装板19-1，前安装板中部安装有中心板组件，最前端活动连接前述的上、下移动板组件。拿开上下移动板组件，图7c中显示其中部有一中心板组件，从侧视图显示中心板组件其实是一个桁架结构，它包括中心板
前立板24和中心板后立板24-1，两立板中间用两块横板24-2焊连。正视图显示中心板前立板24是一块竖立矩形板，其竖中线的上下部各设有一只导向柱25。前述上、下移动板的斜槽套入其中，后立板24-1固连上下两块水平滑块21分别套入两条平行的水平滑轨20上，水平滑轨20固定在支承架19的前安装板19-1上，水平汽缸26固定在支承架上，它驱动中心板后立板24-1运动，从而带动中心板组件沿着水平滑块21/水平滑轨20系统导向左右水平移动。当中心板前立板24向右平移时，其上导向柱25右移，逼使不能左右移动的上移动板15受从左至右向上斜槽被导向柱推动，并沿着竖立移动板滑轨22/移动板滑块23系统限制而下降；而下移动板18受从左至右向下斜槽被导向柱25推动，并沿着竖立移动板滑轨22/移动板滑块23系统限制而上升；两上下移动板向中间靠拢。相反,若中心板前立板24从左向右平移时，上移动板15受从左至右向上斜槽被导向柱25推动而上升，下移动板18受从左至右向下斜槽被导向柱25推动而下降；从而两上、下移动板从中间向上下分离。当上下移动板向中间靠拢时，上、下爪块跟着向中间靠拢，从挂板的两端夹持工件挂板11；当上、下移动板向上、下分离时，上、下爪块跟着向上、下分开以松开工件挂板11。
68.参见图9a至图9b，在梅花转架的工件挂板固定架51上和工艺转架5上，工件挂板11是被挂钩9吊钩住的，要出取工件挂板11必须让其脱离挂钩9。为此，设计上、下移动板时让两者相对横向中线不完全对称，让下移动板18稍偏上移(说明:因为工件挂板的挂钩孔是下为圆孔为上端窄槽孔,挂板挂在挂钩上时,挂钩正好钩在窄槽孔顶端,要取挂板先在要抬高整块挂板,相对地让挂钩下降到挂钩孔的下圆孔部份,好让上挂钩与挂钩孔脱离。故上下移动板必须有上述不对称动作设计)，当中心板前立板24从左向右平移时，下移动板18的下爪块16离挂板11的底端面更近些，让其比上爪块13先接触挂板11，这样先把挂板11向上抬起来一点，此时挂钩9处于挂钩孔9-1大圆孔的位置上，随即上爪块下降接触挂板上端面，上、下爪块一起夹持挂板11，挂板11可顺利脱离挂钩9。
69.图8a和图8b为图1之工件挂板固定架拉出机构ⅲ示意图，它位于储备工件挂板梅花转架ⅳ的下方，用于把梅花转架ⅳ工位上的工件挂板固定架51连同其上的工件挂板11一起从工位拉出转架外侧。工件挂板固定架拉出机构包括水平无杆气缸40、水平滑块41、垂直滑块42、垂直无杆气缸43、水平及上下移动板44和拉出柱45。该组件的驱动部件由两台无杆气缸组成，水平无杆气缸40水平设置，负责横向运动，水平滑块41处于水平无杆气缸40侧立面的滑轨上，受气缸内磁性活塞块拖动左右滑动。在水平滑块41上竖立固连垂直无杆气缸43，负责竖向运动，在垂直无杆气缸43的外侧壁滑轨上活连垂直滑块42，由垂直无杆气缸43内的磁性活塞拖动拉下气缸滑块42上下滑动。垂直滑块42外侧固连水平及上下移动板44，它是一块l形竖板，底横臂与垂直滑块42固连，其竖臂上伸，该竖臂顶端侧弯出并固连拉出柱45。该工件挂板固定架拉出机构以平行于梅花转架的径向安装，它与该对应工位上的工件挂板固定架51平行，它安装在梅花转架底盘下方，而其竖立的水平及上下移动板44升高时正好到达工件挂板固定架51的下端钩出孔高度，而水平无杆气缸40活塞向前伸时，水平及上下移动板44上的拉出柱45可到达处于工位处的工件挂板固定架51上钩出孔上方位置。
70.当水平无杆气缸40活塞拖动水平滑块41与水平及上下移动板44向前伸到工件挂板固定架51的钩孔时，垂直无杆气缸43内的活塞拖动垂直滑块与水平及上下移动板一起下行，拉出柱45插入工件挂板固定架51的钩出孔，然后水平无杆气缸40内活塞换向，拖动水平滑块41与水平及上下移动板一起反向运动，从而拖着工件挂板固定架51通过其上拉轨系统
导向，拉出至梅花架外侧，等待机械手取送挂板11。
71.图9为图1之ⅳ储备工件挂板梅花转架示意图，它显示梅花转架上工件挂板固定架的安装结构。梅花转架从中轴心向外呈放射状密排许多组工件挂板固定架工位，图中显示左右两组工件挂板固定架及钩挂工件挂板的结构。它包括梅花转架上板46、垂直中心支撑47、梅花转架下板48、梅花转架滑轨49、梅花转架滑块50、工件挂板固定架51、拉出块52、挂钩9。中心支撑47是一竖立的圆筒，上端固连梅花转架上板46，下端固连梅花转架下板48，在每个工位上，上、下对应工位各焊有一块沿半径方向延伸的竖板条，在其同一侧各固连滑轨49。工件挂板固定架51是一块竖板，其背面上、下端与上述滑轨49对应处各固连与之配套的滑块50，滑块50可套入滑轨49内滑动连接，即工件挂板固定架51可通过两拉轨配合沿半径方向滑动，可拉出取/挂工件挂板工位位置一个多挂板位，工件挂板固定架51下端的外侧边沿固连拉出块52，其上钻有方便前述拉出柱45插入的拉出孔。工件挂板固定架51的前板面与工件挂板四角挂钩孔对应处设有四只挂钩9，工件挂板11四角的挂钩孔9-1吊挂在挂钩9上，跟随工件挂板固定架一起滑动。
72.本发明的好处：
73.1用一个过渡舱和一套机械手取代送料舱、转运舱、出料舱的多舱式和多只机械手的取送挂板的方案，大大简化了设备结构，节约了制造成本；
74.2采用一只机械手运作，减少了多只机械手带来的协同工作配合调试的麻烦；
75.3简化了采用多机械手时的运行程序，降低了故障率，节约了运行和维护成本，提高了功效。