搭配在单轴机器人上的搬运治具的制作方法

1.本实用新型涉及机械手技术领域，特别是一种搭配在单轴机器人上的搬运治具。


背景技术：

2.在晶圆生产流程中，晶圆片的搬运是十分普遍和重要的环节。由于晶圆片本身的厚度薄、质量轻、易划伤、成本高，所以在搬运过程中就需要非常稳定与准确。在传统的晶圆搬运流程中，一般是使用晶圆手臂搭载末端手指也叫牙叉来实现一动作，而在搬运前，需要特定的传感器来检测晶圆片的具体位置，以便于晶圆手臂取放时找准位置，这一工序叫做“扫片”。传统的扫片功能是通过单独安装在手臂上的传感器，或者通过安装在晶圆盒上的传感器来实现，这就要求手臂在“扫片”和“取放片”时，需要各自以各自的动作来实现功能。这样会造成整体运行时间偏长，效率较低。


技术实现要素：

3.本实用新型为了有效的解决上述背景技术中的问题，提出了一种搭配在单轴机器人上的搬运治具。
4.具体技术方案如下：
5.一种搭配在单轴机器人上的搬运治具，其特征在于：包括晶圆手臂和安装在其末端的手指，所述手指承载面上设有左吸盘、右吸盘和中吸盘，左吸盘和右吸盘设置在承载面的两侧，中吸盘设置在承载面的中部，分别与手指内部的气路相连接，气路连接到外部的负压装置。
6.优选地，所述手指的承载面上有不同的刻度标线。
7.优选地，所述手指的前端两侧分别设有左传感器和右传感器。
8.优选地，所述手指的内部设有气路以及传感器信号线，传感器信号线与左传感器和右传感器连接，气路为左吸盘、右吸盘和中吸盘供气。
9.与现有技术相比，本实用新型的有为益效果是：1.集扫片、取放片、刻度标定于一体，有效提升使用效率。2.采用内部镶嵌形式，将功能部件做到手指内部，保证功能的同时外观更简洁。
附图说明
10.图1为本实用新型的立体图；
11.图2为本实用新型中手指的结构示意图；
12.图3为本实用新型中手指的剖视图。
具体实施方式
13.为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特
征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在
……
上方”可以包括“在
……
上方”和“在
……
下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位旋转90度或处于其他方位，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。
14.下面结合附图及较佳实施例详细说明本实用新型的具体实施方式。如图1-3所示，为解决晶圆类产品搬运过程中的效率低、定位不准等问题，本专利提供一种多功能搬运用末端手指。如图，所述手指2是安装的在晶圆手臂1的末端使用，其中连接部分是靠四个安装螺孔3固定。手指2的承载面6上有不同的第一刻度标线4和第二刻度标线5，可以使得手指2在取到产品后，依据不同刻度给操作者来提供定位标定依据。同时承载面6上有三个吸盘：左吸盘8、右吸盘9和中吸盘7，与手指2内部的气路14相连接，气路14连接到外部的负压装置，为三个吸盘提供负压力的吸力。因此手指2在取到产品的同时产生吸附力，使产品在运载过程中更加稳定。在手指2前端分别设置两个激光传感器：左传感器11和右传感器10。这两支传感器依据激光对射原理即可用来实现“扫片”功能，通过第一传感器信号线12和第二传感器信号线13将检测到的信号反馈给上位设备。同时，左传感器11和右传感器10水平方向保持一致，扫片动作后通过计算，同时能够实现检测产品是否有叠片、斜片、漏片等瑕疵的功能。在设计上，将左传感器11、右传感器10、第一传感器信号线12、第二传感器信号线13以及气路14均镶嵌在手指2内部，使得手指2的外观更加简洁，同时节约了空间。
15.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种搭配在单轴机器人上的搬运治具，其特征在于：包括晶圆手臂和安装在其末端的手指，所述手指承载面上设有左吸盘、右吸盘和中吸盘，左吸盘和右吸盘设置在承载面的两侧，中吸盘设置在承载面的中部，分别与手指内部的气路相连接，气路连接到外部的负压装置。2.根据权利要求1所述的搭配在单轴机器人上的搬运治具，其特征在于，所述手指的承载面上有不同的刻度标线。3.根据权利要求1所述的搭配在单轴机器人上的搬运治具，其特征在于，所述手指的前端两侧分别设有左传感器和右传感器。4.根据权利要求1所述的搭配在单轴机器人上的搬运治具，其特征在于，所述手指的内部设有气路以及传感器信号线，传感器信号线与左传感器和右传感器连接，气路为左吸盘、右吸盘和中吸盘供气。

技术总结
本实用新型涉及机械手技术领域，特别是一种搭配在单轴机器人上的搬运治具。包括晶圆手臂和安装在其末端的手指，所述手指承载面上设有左吸盘、右吸盘和中吸盘，左吸盘和右吸盘设置在承载面的两侧，中吸盘设置在承载面的中部，分别与手指内部的气路相连接，气路连接到外部的负压装置。本装置集扫片、取放片、刻度标定于一体，有效提升了使用效率。有效提升了使用效率。有效提升了使用效率。


技术研发人员：薛嵩 迟萍萍 王晓楠
受保护的技术使用者：天津龙创恒盛实业有限公司
技术研发日：2021.07.19
技术公布日：2022/1/26