涂源机的制作方法

1.本实用新型涉及涂源机技术领域，具体为涂源机。


背景技术：

2.随着半导体行业的迅速发展，半导体硅片产能日趋扩大。半导体硅片制作过程中需要对硅片点胶涂源，而现有技术中，多使用手动涂覆的方法完成，自动化程度低且涂源不均匀，导致产品效率与质量都有待提高。
3.目前使用的涂源机的全自动程度较低，不能完全自主的进行工作，导致工作效率低下。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供涂源机，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.涂源机，所述涂源机包括：
7.防护罩，所述防护罩的底端设置有旋转吸附轴心，所述旋转吸附轴心的底端设置有smc高速旋转接头，所述旋转吸附轴心通过皮带和皮带轮连接有匀胶旋转马达；
8.磁力搅拌器，所述磁力搅拌器设置在smc高速旋转接头一侧，所述磁力搅拌器的上表面设置有溶剂瓶；
9.花键固定座，所述花键固定座设置在磁力搅拌器一侧，所述花键固定座内部活动设置有升降旋转花键，所述升降旋转花键的顶端设置有摆臂，所述摆臂的一端固定设置执笔倾斜气缸，所述执笔倾斜气缸的一侧设置有毛笔固定座，所述花键固定座的一侧设置有摆臂传动马达，所述摆臂传动马达的顶端连接有减速机，所述减速机通过皮带与升降旋转花键传动连接，所述花键固定座的另一侧底端设置有升降传动马达，所述升降传动马达与升降旋转花键传动连接；
10.优选的，所述防护罩内部固定设置有高速旋转硅片吸盘；
11.优选的，所述升降旋转花键的底端固定设置有升降z轴限位套；
12.优选的，所述花键固定座一侧顶端设置有涂圆r轴固定座，所述涂圆r轴固定座上设置有摆臂原点开关；
13.优选的，所述花键固定座的另一侧底端固定设置有涂圆z轴固定座，所述涂圆z轴固定座的一侧设置有升降原点开关。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
15.1.该涂源机，能够通过升降旋转花键和摆臂的自动移动，能够实现全自动工作，极大的提高了设备的使用寿命。
16.2.该涂源机，通过人工加入溶剂至溶剂瓶，在溶剂瓶中放入磁力棒，磁力搅拌器带动磁力棒不停的搅拌，防止溶剂内其她物质沉淀，通过设定毛笔蘸液位置；再次手动调整毛刷提升至瓶口位置，调整摆臂使毛刷贴至瓶口，以便完成舔笔动作，提升毛笔至安全位置，
使执笔气缸缩回，毛笔保持倾斜姿势，调整摆臂使毛笔刷头与产品圆心概略置中，设定z轴高度使毛笔毛刷与产品贴合，确保溶剂可涂覆在产品上，然后再设定摆臂起始位置，以便完成圆形产品的涂覆动作。
附图说明
17.图1为本实用新型的整体结构示意图；
18.图2为本实用新型图1中a处的放大示意图；
19.图3为本实用新型图1中b处的放大示意图。
20.图中：1、防护罩；2、旋转吸附轴心；4、smc高速旋转接头；5、高速旋转硅片吸盘；6、匀胶旋转马达；7、磁力搅拌器；8、花键固定座；9、升降旋转花键；10、摆臂；11、毛笔固定座；12、执笔倾斜气缸；13、减速机；14、摆臂传动马达；15、升降传动马达；16、升降z轴限位套；17、摆臂原点开关；18、升降原点开关；19、涂圆z轴固定座；20、涂圆r轴固定座；21、溶剂瓶。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
23.在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
24.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
25.请参阅图1-图3所示，本实用新型提供的一种技术方案：
26.涂源机，涂源机包括：
27.防护罩1，防护罩1的底端设置有旋转吸附轴心2，旋转吸附轴心2的底端设置有smc高速旋转接头4，旋转吸附轴心2通过皮带和皮带轮连接有匀胶旋转马达6；
28.磁力搅拌器7，磁力搅拌器7设置在smc高速旋转接头4一侧，磁力搅拌器7的上表面设置有溶剂瓶21；
29.花键固定座8，花键固定座8设置在磁力搅拌器7一侧，花键固定座8内部活动设置有升降旋转花键9，升降旋转花键9的顶端设置有摆臂10，摆臂10的一端固定设置执笔倾斜
气缸12，执笔倾斜气缸12的一侧设置有毛笔固定座11，花键固定座8的一侧设置有摆臂传动马达14，摆臂传动马达14的顶端连接有减速机13，减速机13通过皮带与升降旋转花键9传动连接，花键固定座8的另一侧底端设置有升降传动马达15，升降传动马达15与升降旋转花键9传动连接；
30.本实施例中，优选的，防护罩1内部固定设置有高速旋转硅片吸盘5；
31.本实施例中，优选的，升降旋转花键9的底端固定设置有升降z轴限位套16；
32.本实施例中，优选的，花键固定座8一侧顶端设置有涂圆r轴固定座20，涂圆r轴固定座20上设置有摆臂原点开关17；
33.本实施例中，优选的，花键固定座8的另一侧底端固定设置有涂圆z轴固定座19，涂圆z轴固定座19的一侧设置有升降原点开关18。
34.本实施例的涂源机在使用时，通过人工加入溶剂至溶剂瓶21，在溶剂瓶21中放入磁力棒，磁力搅拌器7带动磁力棒不停的搅拌，防止溶剂内其她物质沉淀；高速旋转硅片吸盘5利用真空吸附的方式固定住产品，防止高速旋转时产品被甩出；防护罩1起到防护和收集产品甩出的溶剂，执笔倾斜气缸12缩回时，毛笔为倾斜姿势，当气缸伸出时，毛笔为垂直姿势，当设备回归原点时，升降传动马达15通过同步带带动升降旋转花键9，升至最高点触及升降原点开关18，并自动回到软限原点停止，随即启动r轴摆臂传动马达14，摆臂传动马达14同样利用同步带带动摆臂10，使摆臂10向右旋转，若摆臂传动马达14旋转固定角度设定值后仍未找到摆臂原点开关17，则反向旋转，寻找摆臂原点开关17位置，找到开关位置后，自动回到软限原点停止，随后执笔气缸伸出，保持垂直执笔方式，设定z轴高度确保毛笔在溶剂瓶21上方安全位置，然后设定摆臂10角度使毛笔与瓶口置中，手动调整毛笔刷头下降至液位以下，保持毛刷2/3完全浸泡，设定毛笔蘸液位置；再次手动调整毛刷提升至瓶口位置，调整摆臂10使毛刷贴至瓶口，以便完成舔笔动作，提升毛笔至安全位置，使执笔气缸缩回，毛笔保持倾斜姿势，调整摆臂10使毛笔刷头与产品圆心概略置中，设定z轴高度使毛笔毛刷与产品贴合，确保溶剂可涂覆在产品上，然后再设定摆臂10起始位置，以便完成圆形产品的涂覆动作。
35.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。