水洗过滤装置的制作方法

1.本技术是有关一种水洗装置，特别是一种采用液体(由上到下)跟气体(由下到上)平行式的碰撞的水洗过滤装置。


背景技术：

2.现今，高科技产业为现阶段工业发展重心。然而，高科技产业的群聚现象，对于周围环境造成相当大的负担。
3.有别于传统产业。高科技产业在制造过程中为确保产品质量，经常使用大量易挥发性的有机溶剂清洗。此状况下就会衍生出挥发性有机气体污染物，又称为挥发性有机物(vocs)，是指在一大气压下，沸点在250℃以下的有机化合物的空气污染物总称。
4.挥发性有机物(vocs)可能经由逸散或排放管道进入大气环境中，进而污染周围环境。因此加强管制vocs排放乃是改善空气质量的当务之急。
5.在高科技产业中，以集成电路产业产生的污染问题最为严重，其次为光电产业。而半导体制程中以黄光制程、封装制程为主要挥发性有机污染物来源。其vocs废气的主要来源往往为制程使用的光阻剂、去光阻剂、显影剂等等。
6.而这些试剂的主要有机物种以丙酮(acetone)、异丙酮(ipa)、丙二醇单甲基醚(pgme)、乙酸丙二醇单甲基醚酯(pgmea)、二甲基亚砜(dmso)、乙醇胺 (mea)、氮-甲基2-四氢吡咯酮(nmp)、二乙二醇单丁醚(bdg)、四甲基氢氧化铵 (tmah)等成份为多数。
7.以往，传统的移除vocs的技术主要分为冷凝法、吸附法、洗涤法、焚烧法以及生物处理技术等五种方法，其中：
8.冷凝法多用于高浓度、成分单纯且具回收价值的vocs废弃处理，冷凝法的优点为处理成本较低，缺点为需于高浓度(浓度需高于5,000ppm)时操作方具一定的效益，且设置及操作成本偏高，因此一般仅应用于高浓度且具回收价值的挥发性有机物，应用较为局限。
9.吸附法主要利用高孔隙率、高比表面积的吸附剂，通过物理性吸附(可逆反应)或化学性键结(不可逆反应)作用，将vocs气体分子自废气中分离，以达成净化废气的目的。最大特点是能在符合经济条件的操作范围内，几乎完全除去废气中某些vocs成分，故在空气污染控制上，特别适于处理风量大含有低浓度vocs的废气。
10.化学洗涤法是通过气-液接触，使气相中的臭味成分转移至液相，并通过化学药剂与臭味成分的中和、氧化或其他化学反应来以此去除臭味物质。故可应用化学洗涤方法处理的臭味物质包括有机硫化合物、含氮化合物、有机酸、含氧碳氢化合物、含卤化物等废气。
11.焚化法乃将含有vocs成份的气体在高温下氧化分解，而达清净的废气以排放，此法主要优点为适用于所有可燃性成份，而其缺点为燃料消耗量大，操作成本高。焚化炉设计能供给氧气、满足燃烧温度、停留时间及废气扰流等四个燃烧条件，其中每个条件皆可视需要情况加以修正，并准确控制，以使废气完全燃烧，达到预期的处理效果。
12.生物处理法为污染物(如vocs等)通过生物处理系统的过程中，通过微生物的分解、氧化、转化等机制，将污染物完全分解氧化成co2、h2o、no
3-、 so
42-等无害性的无机物。虽
然生物处理法具有无二次污染的特性，然而与其它污染防治技术相较下，在选用时尤须考虑地域性参数所影响的整体成本，诸如土地价格、水费、电费的高低及法令标准等。
13.由上述可知，不论采用哪种方法都有其需改进的地方。为此，在使用洗涤法的情况下，如何降低用水量以及降低风阻，并同时提升空气的清洗效率为水洗装置改善的重点，也是本领域技术人员所欲解决的问题。


技术实现要素：

14.本技术所要解决的技术问题在于提供一种水洗过滤装置，通过过滤件中具有毛细纤维的片状材料来增加液体跟气体的碰撞机率，并进一步通过毛细纤维上的纳米结构物来移除气体中的有害物质，以达到降低用水量以及降低风阻，并同时提升空气的清洗效率的效果。
15.为了达到上述的目的，本技术揭示了一种水洗过滤装置，其包含：一水洗腔室，该水洗腔室的两侧分别设置一进气口以及一出气口；至少一过滤件，其设置于该水洗腔室的内侧，并位于该进气口的上方；一洒水装置，其设置于该水洗腔室的内侧，并位于该至少一过滤件的上方，该洒水装置包含一管路以及至少一喷头，该管路穿设于该水洗腔室，该管路的下方连接该至少一喷头；以及一挡水件，其设置于该水洗腔室的内侧，并位于该出气口及该洒水装置之间；其中，一气体经由该进气口进入该水洗腔室，并且通过该至少一过滤件，再者，一液体经由该管路进入该水洗腔室，并以该至少一喷头喷洒于经过该至少一过滤件的该气体后，该气体通过该挡水件，并经由该出气口排出该水洗腔室。
16.本技术提供一实施例，其内容在于水洗过滤装置，更包含一液体供应装置，其连通该管路的一端，该液体供应装置输送该液体进入该管路。
17.本技术提供一实施例，其内容在于水洗过滤装置，更包含一排水装置，其设置于该至少一过滤件的下方，该排水装置是用以排出经过该至少一过滤件的该液体。
18.本技术提供一实施例，其内容在于水洗过滤装置，更包含一送风装置，其设置于该进气口的一侧，该送风装置抽送该气体进入该水洗腔室。
19.本技术提供一实施例，其内容在于水洗过滤装置，更包含一抽风装置，其设置于该出气口的一侧，该抽风装置抽送经过该挡水件的该气体离开该水洗腔室。
20.本技术提供一实施例，其内容在于水洗过滤装置，其中该至少一过滤件是包含多个片状材料，该些个片状材料的表面具有多个毛细纤维。
21.本技术提供一实施例，其内容在于水洗过滤装置，其中该些个毛细纤维的材质为一玻璃纤维、一塑化纤维、一陶瓷纤维或一金属纤维。
22.本技术提供一实施例，其内容在于水洗过滤装置，其中该些个毛细纤维织表面进一步包含一纳米结构物。
23.本技术提供一实施例，其内容在于水洗过滤装置，其中该纳米结构物的材质为一二氧化硅、一二氧化钛、一氧化镁、一氧化钙或一氧化锌。
24.本技术提供一实施例，其内容在于水洗过滤装置，其中该些个片状材料的表面为一平面型表面、一波浪型表面或一三角形表面。
25.有关本技术的其它功效及实施例的详细内容，配合图式说明如下。
附图说明
26.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
27.图1是本技术的第一实施例的结构示意图；
28.图2a-图2c是本技术的第一实施例的片状材料的结构示意图；以及
29.图3是本技术的第二实施例的结构示意图。
30.符号说明
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水洗过滤装置
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10 水洗腔室
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11 进气口
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12 出气口
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20 过滤件
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21 片状材料
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22 毛细纤维
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23 纳米结构物
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30 洒水装置
[0034]
31 管路
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32 喷头
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40 挡水件
[0035]
50 液体供应装置
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60 排水装置
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70 送风装置
[0036]
80 排风装置
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气体
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液体
具体实施方式
[0037]
在下文的实施方式中所述的位置关系，包括：上，下，左和右，若无特别指明，皆是以图式中组件绘示的方向为基准。
[0038]
有鉴于挥发性有机物(vocs)对于环境的影响甚大，不论采用哪种方法净化其挥发性有机物(vocs)都有其需改进的地方。据此，本技术遂提出一种水洗过滤装置，以解决现有技术所造成的问题。
[0039]
以下，将进一步说明本技术的一种水洗过滤装置所包含的特性、所搭配的结构：
[0040]
首先，请参阅图1，其是本技术的第一实施例的结构示意图，如图所示，本技术揭示了一种水洗过滤装置1，其包含：一水洗腔室10、至少一过滤件20、一洒水装置30以及一挡水件40。
[0041]
本技术的该水洗腔室10的两侧分别设置一进气口11以及一出气口12，以供一气体a进入及排出。又，本技术的该至少一过滤件20其设置于该水洗腔室10 的内侧，并位于该进气口11的上方。
[0042]
又，本技术的该洒水装置30设置于该水洗腔室10的内侧，并位于该至少一过滤件20的上方，该洒水装置30包含一管路31以及至少一喷头32，该管路31 穿设于该水洗腔室10，且该管路31的下方连接该至少一喷头32，并通过该至少一喷头32喷洒一液体w。而本技术的该挡水件40是设置于该水洗腔室10的内侧，并位于该出气口12及该洒水装置30之间。
[0043]
并请再次参阅图1的该气体a以及该液体w的路径。本技术的该气体a(为挥发性有机物(vocs))经由该进气口11进入该水洗腔室10后，通过该至少一过滤件20来进行过滤。同时，该液体w经由该管路31进入该水洗腔室10，并以该至少一喷头32喷洒并碰触经过该至少一过滤件20的该气体a后，该气体a接续通过该挡水件40移除该液体w后，并经由该出气口12排出至该水洗腔室10外。
[0044]
并，请参阅图2a-图2c，其是本技术的第一实施例的片状材料的结构示意图。于第
一实施例中，本技术的该至少一过滤件20是包含多个片状材料21(该些个片状材料21是各自平行排列于该至少一过滤件20中，其厚度小于或等于1 厘米)，该些个片状材料21的表面具有多个毛细纤维22(该些个毛细纤维22其高度小于0.5厘米)，而该些个毛细纤维22的表面则进一步包含一纳米结构物23，该纳米结构物23是涂布该些个毛细纤维22的表面，且是用来洗涤该液体w的污染物质。又，本技术的该些个片状材料21的表面为一平面型表面(如图2a所示)、一波浪型表面(如图2b所示)或一三角形表面(如图2c所示)。
[0045]
再者，本技术的该些个毛细纤维22的材质为一玻璃纤维、一塑化纤维(如聚丙烯(pp)、聚对苯二甲酸乙二酯(pet)或聚四氟乙烯(ptfe)等塑化材质，但不以此为限)、一陶瓷纤维或一金属纤维(如不锈钢(sus)、含铝金属的合金、含镍金属的合金或含钛金属的合金，但不以此为限)。而本技术的该纳米结构物23的材质为一二氧化硅、一二氧化钛、一氧化镁、一氧化钙或一氧化锌，但不以此为限。
[0046]
更进一步，请参阅图3，其是本技术的第二实施例的结构示意图。本技术的第二实施例除与第一实施例的组件、构造及其连接关系相同外，本技术的第二实施例进一步包含一液体供应装置50、一排水装置60、一送风装置70以及一抽风装置80。
[0047]
本技术的该液体供应装置50其连通该管路31的一端，并输送该液体w进入该管路31中。其中，该液体w是一酸药液(如硫酸等酸类)、一碱药液(如氢氧化钠等碱类)或其组合。又，本技术的该排水装置60，其设置于该至少一过滤件20的下方，并用以排出经过该至少一过滤件20的该液体w。
[0048]
再者，本技术的该送风装置70，其设置于该进气口11的一侧，并抽送该气体a进入该水洗腔室10。又，该抽风装置80其设置于该出气口12的一侧，该抽风装置80抽送经过该挡水件40的该气体a离开该水洗腔室10。
[0049]
为此，本技术的水洗过滤装置1是通过该液体w(由上到下)与该气体a(由下到上)平行式的碰撞的设计来提高其该气体a的清洗效率，并更进一步通过该至少一过滤件20中的具有该些个毛细纤维22的该些个片状材料21来增加该液体w 跟该气体a的碰撞机率，且该些个毛细纤维22上的该纳米结构物23的材质(该二氧化硅、该二氧化钛、该氧化镁、该氧化钙或该氧化锌)来移除该气体a中的有害物质，以此水洗过滤装置1的结构设计来达到降低用水量以及降低风阻，并同时提升空气的清洗效率的效果。
[0050]
其本技术的水洗过滤装置1所提升的清洗效率的相关实验如下所述：本技术的该些个片状材料21(为淋水材)的表面是选用波浪型表面(为增加该液体w 与该气体a的接触的机会，且表面有该些个毛细纤维易于吸附该液体w到该些个片状材料21的表面)，而该些个毛细纤维22则是由该玻璃纤维、该陶瓷纤维、氧化铝纤维、硅石等以一定比例混合烧结，而该纳米结构物23则是选用该二氧化钛。
[0051]
通过本技术的水洗过滤装置1的设计，其酸碱、异丙醇(ipa)、丙二醇单甲醚醋酸酯(pgmea)、丙二醇单甲醚(pgme)、二甲基亚砜(dmso)的清洗效率都可以高达于90％的效率。
[0052]
以上所述的实施例及/或实施方式，仅是用以说明实现本技术技术的较佳实施例及/或实施方式，并非对本技术技术的实施方式作任何形式上的限制，任何本领域技术人员，在不脱离本技术内容所公开的技术手段的范围，当可作些许的更动或修饰为其它等效的实施例，但仍应视为与本技术实质相同的技术或实施例。