一种半导体生产无静电探针测试台的制作方法

1.本实用新型涉及测试装置，特别涉及一种半导体生产无静电探针测试台，属于半导体生产技术领域。


背景技术：

2.半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。
3.半导体在生产过程中，需要对晶圆进行检测，避免在晶圆当中有坏点，而生产称为半导体而导致半导体无法使用的问题发生，而现在一般采用探针测试台，但是现有的探针测试台仅仅作为探针使用，但是由于探针测试台会使用到电流，同时自身为金属结构，在检测的过程中容易被外界的静电所影响，导致检测结果不准的问题发生。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在提供一种半导体生产无静电探针测试台，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体生产无静电探针测试台，包括保护箱、放置板，所述放置板的顶部放置有保护箱，所述保护箱的顶部固定安装有放置座，所述放置座的顶部固定安装有电动滑轨，所述电动滑轨的底部固定安装有移动块，所述移动块的底部固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部固定安装有探针，所述电动滑轨的一端固定安装有步进电机，所述放置板的底部固定安装有两组支撑脚，所述支撑脚之间放置有真空机，所述支撑脚的一侧固定安装有静电检测器，所述保护箱的内侧固定安装有晶圆检测平台，所述晶圆检测平台的两侧设置有压盘。
6.优选的，所述保护箱的正面通过铰链安装有保护门，所述保护门的正面设置有观察窗，所述保护门正面的一侧安装有把手。
7.优选的，所述真空机的顶部通过连接管道与保护箱连通，所述连接管道的正面设置有电磁阀。
8.优选的，所述静电检测器的内侧设置有电流表，所述电流表的输入端安装有主连接导线，且主连接导线与保护箱连接，所述主连接导线的一侧通过副连接导线与支撑脚连通，所述电流表的输出端安装有接地线与地面连接。
9.优选的，所述压盘的一端安装有推杆，所述推杆的一端固定安装有卡块，所述卡块的底部设置有橡胶点。
10.优选的，所述晶圆检测平台的内部设置有接地线，所述连接管道连通有透气口。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.1、本实用新型一种半导体生产无静电探针测试台，通过设置有的电流表可有效的
对机器外壳的电流进行检测，观察在检测的过程中有无静电，从而使其判断检测结果的准确性，同时直接将本装置接地，可将机器当中电流释放到地面当中，避免静电干扰检测结果的问题发生，通过多方便的配合使用从而能有效的对装置检测过程的静电进行防护排除。
13.2、本实用新型一种半导体生产无静电探针测试台，通过采用的真空机能在检测时将装置内部的空气抽走，避免空气中漂浮的金属颗粒对检测结果造成影响，提高检测的准确度，通过采用的推杆与卡块的配合使用，可将本装置的晶圆进行固定，防止在检测的过程中发生移动，而导致检测不准确的问题发生。
附图说明
14.图1为本实用新型整体结构示意图；
15.图2为本实用新型内部结构示意图；
16.图3为本实用新型静电检测器结构示意图；
17.图4为本实用新型晶圆固定块结构示意图。
18.图中：1、保护箱；2、观察窗；3、保护门；4、放置板；5、连接管道； 6、支撑脚；7、真空机；8、电动滑轨；9、步进电机；10、放置座；11、把手；12、静电检测器；13、移动块；14、探针；15、电动伸缩杆；16、压盘； 17、晶圆检测平台；18、主连接导线；19、电流表；20、副连接导线；21、接地线；22、透气口；23、推杆；24、卡块。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1-4，本实用新型提供一种半导体生产无静电探针测试台，包括保护箱1、放置板4，放置板4的顶部放置有保护箱1，保护箱1的顶部固定安装有放置座10，放置座10可用于固定顶部的电动滑轨8，防止电动滑轨8 发生脱离的问题，放置座10的顶部固定安装有电动滑轨8，电动滑轨8可控制内部的移动块13位置，从而通过控制移动块13的位置控制探针14的位置，对不同位置的晶体进行检测，电动滑轨8的底部固定安装有移动块13，移动块13的底部固定安装有电动伸缩杆15，电动伸缩杆15增加移动块13整体的长度，从而方便对晶圆进行测量，电动伸缩杆15的底部固定安装有探针14，电动滑轨8的一端固定安装有步进电机9，步进电机9相较与传统的电机位置控制更精准，放置板4的底部固定安装有两组支撑脚6，支撑脚6可支撑固定本装置，增加装置的稳定性，支撑脚6之间放置有真空机7，真空机7内部设置有真空泵可将保护箱1当中的气体抽出本装置，避免空气中漂浮的金属颗粒对检测结果造成影响，提高检测的准确度，支撑脚6的一侧固定安装有静电检测器12，静电检测器12有效的对壳体当中的电流检测，使其了解到在测试的过程中是否发生静电，保护箱1的内侧固定安装有晶圆检测平台17，晶圆检测平台17的两侧设置有压盘16，压盘16能有效的对半导体使用的晶圆进行测试，防止在检测的过程中发生移动的问题。
21.本实用新型中：保护箱1的正面通过铰链安装有保护门3，保护门3对装置进行保护，防止发生杂物进入装置当中，保护门3的正面设置有观察窗2，观察窗2可方便观察本装
置的检测过程，保护门3正面的一侧安装有把手11，把手11方便使用保护门3，提高装置使用的便利性。
22.本实用新型中：真空机7的顶部通过连接管道5与保护箱1连通，连接管道5的正面设置有电磁阀，电磁阀可方便随时对管道进行封闭，防止气体重新进入装置当中。
23.本实用新型中：静电检测器12的内侧设置有电流表19，电流表19的输入端安装有主连接导线18，且主连接导线18与保护箱1连接，主连接导线 18的一侧通过副连接导线20与支撑脚6连通，电流表19的输出端安装有接地线21与地面连接。
24.本实用新型中：压盘16的一端安装有推杆23，推杆23可推动卡块24，从而适用于不同大小的圆晶，推杆23的一端固定安装有卡块24，卡块24的底部设置有橡胶点。
25.本实用新型中：晶圆检测平台17的内部设置有接地线21，连接管道5连通有透气口22。
26.在本实用新型的描述中，需要理解的是，指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
27.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
28.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。