一种光刻机电路板水冷屏蔽装置的制作方法

本发明涉及半导体加工设备技术领域，特别是涉及一种光刻机电路板水冷屏蔽装置。

背景技术

光刻机或称掩模对准曝光机，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜板上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上。然后使用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图。由于国际市场对于芯片的需求量大，而光刻机产能有限，所以光刻机需要长时间工作，而光刻机内部有许多电路板，电路板长时间使用容易过热，从而影响光刻机精度甚至损坏电路板。而且光刻机精度需求高，对于电磁干扰尤其敏感。

然而，现有电路板水冷装置水冷盒独立出现，不仅占用空间大，而且不具备屏蔽电磁信号干扰的能力。然而光刻机对内部环境温度的要求很高，这就需要冷却能力强，结构紧凑，且能屏蔽电磁信号干扰的电路板水冷屏蔽装置。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本发明提供一种光刻机电路板水冷屏蔽装置，占用空间小，具备屏蔽电磁信号干扰的能力，冷却效率高。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种光刻机电路板水冷屏蔽装置，包括盒体，所述盒体包括相对设置的两块水冷屏蔽板，所述水冷屏蔽板的材质为金属，电路板贴合于所述水冷屏蔽板的内表面，所述水冷屏蔽板内设有冷却水路，且两块所述水冷屏蔽板的所述冷却水路相连通，其中一个所述水冷屏蔽板上设有进水口，另一个所述水冷屏蔽板上设有出水口。

优选地，所述水冷屏蔽板的内表面设有凹槽，所述电路板或所述电路板的凸起部位与所述凹槽适配，并嵌设于所述凹槽内。

优选地，所述盒体还包括连接板，所述连接板连接在两个所述水冷屏蔽板之间，所述连接板上设有用于穿插电源线及外部接头的接线槽。

优选地，所述连接板包括左侧板、右侧板和顶板，所述左侧板和所述右侧板分别连接于两个所述水冷屏蔽板的两端，所述顶板连接于两个所述水冷屏蔽板的顶部。

优选地，所述冷却水路包括相对设置的两个横向水路及连接两个所述横向水路一端的竖向水路，所述竖向水路的上端延伸至所述水冷屏蔽板的上端面，所述顶板与所述竖向水路之间设有密封垫。

优选地，所述盒体的材质为铜或铜合金或不锈钢。

优选地，所述水冷屏蔽板的下端的两侧设有连接耳，所述连接耳上设有螺纹孔。

优选地，两个所述水冷屏蔽板的所述冷却水路通过连接管相连通，所述连接管包括分别连接所述冷却水路的L型水管和连接两个所述L型水管的直管。

优选地，所述进水口及所述出水口上均设有水管接头，所述水管接头上设有温度传感器，可实时测量冷却液温度。

本发明实施例的一种光刻机电路板水冷屏蔽装置，与现有技术相比，其有益效果在于：通过在盒体的两块水冷屏蔽板上各设置一个电路板，实现了两块电路板的同时冷却，从而减小了冷却装置的体积，提高了光刻机的空间利用率。同时，由于每个水冷屏蔽板的内部均设有冷却水路，既保证了每个电路板的冷却需要，又提高了冷却效率。另外，由于电路板是设于水冷屏蔽板的内表面，即位于盒体的内部，金属材质的水冷屏蔽板与连接板将电路板包围，从而使得电路板具有屏蔽电磁信号干扰的能力。本发明结构简单，使用效果好，易于推广使用。

附图说明

图1为本发明的光刻机电路板水冷屏蔽装置的结构示意图。

图2为本发明的光刻机电路板水冷屏蔽装置的剖视图。

其中：1-水冷屏蔽板，2-电路板，3-进水口，4-出水口，5-冷却水路，6-凹槽，7-左侧板，8-右侧板，9-顶板，10-接线槽，11-横向水路，12-竖向水路，13-连接耳，14-连接管，15-水管接头。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1-2所示，本发明实施例优选实施例的一种光刻机电路板水冷屏蔽装置，包括盒体，所述盒体包括相对设置的两块水冷屏蔽板1，所述水冷屏蔽板1的材质为金属，电路板2贴合于所述水冷屏蔽板1的内表面，所述水冷屏蔽板1内设有冷却水路5，且两块所述水冷屏蔽板1的所述冷却水路5相连通，其中一个所述水冷屏蔽板1上设有进水口3，另一个所述水冷屏蔽板1上设有出水口4。工作时冷却液从所述进水口3进入，依次流过各水冷屏蔽板1的所述冷却水路5，最后从所述出水口4流出。

基于上述技术特征的光刻机电路板水冷屏蔽装置，通过在盒体的两块水冷屏蔽板1上各设置一个电路板2，实现了两块电路板2的同时冷却，从而减小了冷却装置的体积，提高了光刻机的空间利用率。同时，由于每个水冷屏蔽板1的内部均设有冷却水路5，即保证了每个电路板2的冷却需要，冷却效率高。另外，由于电路板2是设于水冷屏蔽板1的内表面，即位于盒体的内部，金属材质的水冷屏蔽板1与连接板将电路板包围，从而使得电路板2具有屏蔽电磁信号干扰的能力。本发明结构简单，使用效果好，易于推广使用。

本实施例中，所述水冷屏蔽板1的内表面设有凹槽6，所述电路板2或所述电路板2的凸起部位与所述凹槽6适配，并嵌设于所述凹槽6内。从而使得所述电路板2与所述水冷屏蔽板1完全贴合，不仅保证了冷却效果，同时也进一步保证了电路板2屏蔽电磁信号干扰的能力。

本实施例中，所述盒体还包括连接板，所述连接板连接在两个所述水冷屏蔽板1之间，所述连接板上设有用于穿插电源线及外部接头的接线槽10。所述连接板可以设置成一块或多块拼接，连接时与所述水冷屏蔽板1之间通过螺钉连接。优选地，所述连接板包括左侧板7、右侧板8和顶板9，所述左侧板7和所述右侧板8分别连接于两个所述水冷屏蔽板1的两端，所述顶板9连接于两个所述水冷屏蔽板1的顶部。所述接线槽10设置在所述右侧板8上。同时，所述盒体的材质均为铜或铜合金或不锈钢，通过这些材质制作所述盒体，且电路板2设置在所述盒体的内部，被水冷屏蔽板1与连接板包围，使得该装置具有更好地屏蔽外部干扰的功能，保证了电路板2的正常工作。

另外，所述冷却水路5包括相对设置的两个横向水路11及连接两个所述横向水路11一端的竖向水路12，所述横向水路11的一端为进水口3或出水口4，所述竖向水路12的上端延伸至所述水冷屏蔽板1的上端面(加工需要)，所述顶板9与所述竖向水路12之间设有密封垫，从而避免了冷却液从所述竖向水路12的上端溢出。

本实施例中，为便于所述光刻机电路板水冷屏蔽装置的安装，所述水冷屏蔽板1的下端的两侧设有连接耳13，所述连接耳13上设有螺纹孔，安装时直接采用螺丝穿过所述螺纹孔连接光刻机的机架即可，操作简单方便。

本实施例中，两个所述水冷屏蔽板1的所述冷却水路5通过连接管14相连通，所述连接管14包括分别连接所述冷却水路5的L型水管和连接两个所述L型水管的直管，连接简单方便。

本实施例中，所述进水口3及所述出水口4上均设有水管接头15，所述水管接头15上设有温度传感器。通过设置所述温度传感器，可以实时测量进水口3与出水口4的水温反馈，进而实时调整冷却液的流量，不仅实现了对电路板2温度的精确控制，还提高了冷却效果。

综上，本发明可以屏蔽光刻机运行过程中产生的电磁干扰，且对电路板2的冷却效果良好。尤其适用于光刻机内部体积小、需长时间使用、且需要屏蔽电磁干扰的电路板2。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。