一种光刻机电路板水冷屏蔽装置的制作方法

技术特征：

1.一种光刻机电路板水冷屏蔽装置，其特征在于：包括盒体，所述盒体包括相对设置的两块水冷屏蔽板，所述水冷屏蔽板的材质为金属，电路板贴合于所述水冷屏蔽板的内表面，所述水冷屏蔽板内设有冷却水路，且两块所述水冷屏蔽板的所述冷却水路相连通，其中一个所述水冷屏蔽板上设有进水口，另一个所述水冷屏蔽板上设有出水口。

2.如权利要求1所述的光刻机电路板水冷屏蔽装置，其特征在于：所述水冷屏蔽板的内表面设有凹槽，所述电路板或所述电路板的凸起部位与所述凹槽适配，并嵌设于所述凹槽内。

3.如权利要求1所述的光刻机电路板水冷屏蔽装置，其特征在于：所述盒体还包括连接板，所述连接板连接在两个所述水冷屏蔽板之间，所述连接板上设有用于穿插电源线及外部接头的接线槽。

4.如权利要求3所述的光刻机电路板水冷屏蔽装置，其特征在于：所述连接板包括左侧板、右侧板和顶板，所述左侧板和所述右侧板分别连接于两个所述水冷屏蔽板的两端，所述顶板连接于两个所述水冷屏蔽板的顶部。

5.如权利要求4所述的光刻机电路板水冷屏蔽装置，其特征在于：所述冷却水路包括相对设置的两个横向水路及连接两个所述横向水路一端的竖向水路，所述竖向水路的上端延伸至所述水冷屏蔽板的上端面，所述顶板与所述竖向水路之间设有密封垫。

6.如权利要求1所述的光刻机电路板水冷屏蔽装置，其特征在于：所述盒体的材质为铜或铜合金或不锈钢。

7.如权利要求1所述的光刻机电路板水冷屏蔽装置，其特征在于：所述水冷屏蔽板的下端的两侧设有连接耳，所述连接耳上设有螺纹孔。

8.如权利要求1所述的光刻机电路板水冷屏蔽装置，其特征在于：两个所述水冷屏蔽板的所述冷却水路通过连接管相连通，所述连接管包括分别连接所述冷却水路的L型水管和连接两个所述L型水管的直管。

9.如权利要求1所述的光刻机电路板水冷屏蔽装置，其特征在于：所述进水口及所述出水口上均设有水管接头，所述水管接头上设有温度传感器。

技术总结
本发明涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种光刻机电路板水冷屏蔽装置，包括盒体，所述盒体包括相对设置的两块水冷屏蔽板，电路板贴合于所述水冷屏蔽板的内表面，所述水冷屏蔽板内设有冷却水路，且两块所述水冷屏蔽板的所述冷却水路相连通，其中一个所述水冷屏蔽板上设有进水口，另一个所述水冷屏蔽板上设有出水口。本发明通过在盒体的两块水冷屏蔽板上各设置一个电路板，实现了两块电路板的同时冷却，从而减小了冷却装置的体积，提高了光刻机的空间利用率。同时，由于每个水冷屏蔽板的内部均设有冷却水路，既保证了每个电路板的冷却需要，又提高了冷却效率。且电路板设于金属水冷屏蔽板的内表面，可屏蔽电路板受到的电磁干扰信号。

技术研发人员：吴剑威;刘海朝;赵鹏越;李昌其;韦威威;王继尧;谭久彬;
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学;
技术研发日：2021.09.22
技术公布日：2022.01.14