一种载板清洁装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种载板清洁装置。


背景技术：

2.在制备高效异质结太阳能电池时，pvd(physical vapor deposition，物理气相沉积)工序是非常关键的步骤之一。经过化学气相沉积的硅片放置在载板上，载板作为硅片承载传送托盘，输送硅片进入真空腔室进行物理气相沉积。在此过程中，载板也会和硅片一样在表面形成镀膜，随着使用次数增多，膜层越来越厚。载板在传动滚轮上传送过程中，因传送振动或载板与传动滚轮之间的摩擦，会产生掉粉现象，将影响到硅片镀膜质量。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种载板清洁装置，整机结构简洁，有效清洁载板，并防止粉尘颗粒飞散而污染环境。
4.本实用新型的目的通过如下技术方案实现：
5.一种载板清洁装置，它包括容置清洁部件且左右侧壁设有载板进出口的机壳、设于机壳内腔中部的滚刷组件以及设于机壳内腔下部且与滚刷组件配合的吸尘组件。
6.较之现有技术而言，本实用新型的优点在于：
7.(1)整机结构简洁，有效清洁载板，并防止粉尘颗粒飞散而污染环境。
8.(2)风刀组件的出风口可调，便于根据需要调整风口对准载板的角度，及时吹落经滚刷刷动已剥离载板的薄膜颗粒。
9.(3)采用密闭机壳结构，防止粉尘颗粒扩散而污染环境。
10.(4)滚刷上下设置在载板上下两面，且与载板运动方向相反，更好的去除载板上下两面粘附的薄膜颗粒。
11.(5)吸尘罩对准滚刷组件刷扫部位，及时收集粉尘颗粒，特别是吸尘罩设于下方，能有效收集大颗粒，提高除尘效果。
附图说明
12.图1是本实用新型一种载板清洁装置的实施例的结构简图。
13.图2是图1的剖视结构截图。
14.图3是图1的另一视角的剖视结构截图。
15.图4是图1所示结构的应用状态示意图。
16.标号说明：载板清洁装置1、机架11、支撑架111、轴承座一112、轴承座二113、轴承114、密封罩12、滚刷电机13、联轴器14、上滚刷15、下滚刷16、齿轮17、吸尘罩18、吸尘接口181、喇叭形槽182、槽孔183、吸尘槽184、吸尘管185、风刀组件19、输送机架2、腔室机架3、载板回流输送装置4。
具体实施方式
17.下面结合说明书附图和实施例对本

技术实现要素：
进行详细说明：
18.如图1至图4所示为本实用新型提供的一种载板清洁装置的实施例示意图。
19.一种载板清洁装置，它包括容置清洁部件且左右侧壁设有载板进出口的机壳、设于机壳内腔中部的滚刷组件以及设于机壳内腔下部且与滚刷组件配合的吸尘组件。
20.它还包括设于滚刷组件左侧中上部的风刀组件19，所述风刀组件的出风口方向可调节。
21.所述机壳包括左右侧壁设有载板进出口的密封罩12以及由密封罩12进行遮罩的机架11。
22.所述滚刷组件包括上下间隔布置且与载板相接触的两个以上滚刷以及驱动滚刷转动的滚刷驱动单元；所述滚刷转动方向与载板输送方向相对。
23.所述滚刷驱动单元包括设于机壳外的滚刷电机13以及设于机壳内且在滚刷与滚刷电机13之间进行传动连接的滚刷传动结构。
24.在一实施例中，滚刷组件包括上下对应设置的上滚刷15和下滚刷16；机架11包括前后设置的两支撑架111，在支撑架111的上部和下部分别固设有轴承座一112和轴承座二113，轴承座一112和轴承座二113安装有轴承114；下滚刷16一端安装联轴器14和滚刷电机13固定连接，另一端安装齿轮17，下滚刷16穿过轴承114和轴承座一112滚动连接；上滚刷15一端安装齿轮17，上滚刷15穿过轴承114和轴承座二113滚动连接；上滚刷15和下滚刷16通过齿轮17啮合。
25.所述吸尘组件包括设于机壳腔内且开口对准滚刷组件刷扫部位的吸尘罩18以及与吸尘罩18连接的吸尘动力组件。
26.所述吸尘罩包括开口朝上且容置滚刷组件部分滚刷的喇叭形槽182、与喇叭形槽下端相连的吸尘槽184、与吸尘槽184下端连接的吸尘管185；所述吸尘管185设有与吸尘动力组件相连接的吸尘接口181。在一实施例中，吸尘罩18的前后两侧设有与机架11配合的固定耳，所述固定耳设有固定用槽孔183，以便调整吸尘罩18的高度。
27.所述吸尘动力组件为粉尘抽吸净化设备。
28.在一实施例中，本实用新型载板清洁装置1与输送机架2和腔室机架3连接，与载板回流输送装置4正向对接。


技术特征：
1.一种载板清洁装置，其特征在于：它包括容置清洁部件且左右侧壁设有载板进出口的机壳、设于机壳内腔中部的滚刷组件以及设于机壳内腔下部且与滚刷组件配合的吸尘组件。2.根据权利要求1所述的载板清洁装置，其特征在于：它还包括设于滚刷组件左侧中上部的风刀组件，所述风刀组件的出风口方向可调节。3.根据权利要求1所述的载板清洁装置，其特征在于：所述机壳包括左右侧壁设有载板进出口的密封罩以及由密封罩进行遮罩的机架。4.根据权利要求1所述的载板清洁装置，其特征在于：所述吸尘组件包括设于机壳腔内且开口对准滚刷组件刷扫部位的吸尘罩以及与吸尘罩连接的吸尘动力组件。5.根据权利要求4所述的载板清洁装置，其特征在于：所述吸尘罩包括开口朝上且容置滚刷组件部分滚刷的喇叭形槽、与喇叭形槽下端相连的吸尘槽、与吸尘槽下端连接的吸尘管；所述吸尘管设有与吸尘动力组件相连接的吸尘接口。6.根据权利要求4所述的载板清洁装置，其特征在于：所述吸尘动力组件为粉尘抽吸净化设备。7.根据权利要求1-6任意一项所述的载板清洁装置，其特征在于：所述滚刷组件包括上下间隔布置且与载板相接触的两个以上滚刷以及驱动滚刷转动的滚刷驱动单元；所述滚刷转动方向与载板输送方向相对。8.根据权利要求7所述的载板清洁装置，其特征在于：所述滚刷驱动单元包括设于机壳外的滚刷电机以及设于机壳内且在滚刷与滚刷电机之间进行传动连接的滚刷传动结构。

技术总结
本实用新型涉及一种载板清洁装置，它包括容置清洁部件且左右侧壁设有载板进出口的机壳、设于机壳内腔中部的滚刷组件以及设于机壳内腔下部且与滚刷组件配合的吸尘组件。本实用新型的目的在于提供一种载板清洁装置，整机结构简洁，有效清洁载板，并防止粉尘颗粒飞散而污染环境。污染环境。污染环境。


技术研发人员：杨与胜 倪鹏玉 张建德 徐尔强
受保护的技术使用者：福建金石能源有限公司
技术研发日：2021.05.31
技术公布日：2022/1/11