一种芯片封装用晶圆框架转运装置的制作方法

1.本技术涉及芯片封装的领域，尤其是涉及一种芯片封装用晶圆框架转运装置。


背景技术：

2.在半导体产业中，各种半导体组件或半导体半成品的储存或传送已经成为相当重要的问题。在自动化机台已经普遍被使用的情况下，如何将所需的材料或是半导体组件运送到所需之处，是半导体高效生产的关键。
3.常见需要储存或是运送的半导体组件包括晶圆、基板、光罩或晶圆框架(waferframe)等等。且在不同的半导体制程所用的尺寸各有不同，因此也衍生出大大小小各种不同尺寸的载具。
4.针对上述中的相关技术，发明人认为亟需一种晶圆框架转运装置，方便对不同大小的晶圆框架进行转运。


技术实现要素：

5.为了方便对不同大小的晶圆框架盒进行转运，本技术提供一种芯片封装用晶圆框架转运装置。
6.本技术提供的一种芯片封装用晶圆框架转运装置采用如下的技术方案：
7.一种芯片封装用晶圆框架转运装置，包括两个相互平行设置的固定板、用于传送晶圆框架盒的传送机构和调节机构，所述调节机构均与固定板连接，所述传送机构分别与调节机构和一固定板连接；
8.所述调节机构包括调节板和调节组件，所述调节板设置在两固定板之间，所述调节板与固定板平行，所述调节组件与两固定板连接，所述调节组件用于驱动调节板在两固定板之间移动，所述传送机构包括驱动组件和传送组件，所述驱动组件分别与传送组件和一固定板连接，所述传送组件分别与调节板和一固定板连接；
9.所述传送组件包括传送带，一所述固定板和调节板上均转动连接有多个皮带轮，所述固定板上的皮带轮通过传送带传动连接，所述调节板上的皮带轮通过传送带传动连接，所述传送带用于传送晶圆框架盒，所述驱动组件用于驱动皮带轮转动。
10.通过采用上述技术方案，将晶圆框架盒放置到固定板盒调节板上的传送带上，驱动组件通过皮带轮带动传送带移动，从而对晶圆框架盒进行转运，当需要转运不同大小的晶圆框架盒时，调节组件带动调节板移动，从而改变调节板与固定板之间的距离，从而改变调节板和固定板上传送带之间的距离，从而方便对不同大小的晶圆框架盒进行转运。
11.可选的，所述调节组件包括调节电机，两所述固定板之间转动连接有调节丝杠，所述调节丝杠穿过固定板，所述调节丝杠穿过调节板并与调节板螺纹连接，两所述固定板之间固定连接有两导向杆，两所述导向杆均穿过调节板，所述调节电机驱动调节丝杠转动。
12.通过采用上述技术方案，启动调节电机，调节电机的输出轴带动调节丝杠转动，调节丝杠转动的过程中带动调节板移动，从而改变调节板与固定板之间的距离。
13.可选的，所述驱动组件包括驱动电机，两所述固定板之间转动连接有驱动杆，所述驱动杆穿过调节板，所述驱动杆与调节板转动连接，所述调节板和一固定板上均转动连接有主动件，所述主动件带动调节板和固定板上的皮带轮转动，所述主动件沿驱动杆滑动，所述驱动杆带动主动件转动，所述驱动电机带动驱动杆转动。
14.通过采用上述技术方案，驱动电机带动驱动杆转动，驱动杆带动主动件转动，主动件带动皮带轮转动，从而方便运送晶圆框架盒。
15.可选的，所述主动件为主动齿轮，所述驱动杆的横截面为多边形，所述驱动杆穿过固定板和调节板上的主动齿轮，所述调节板和固定板上的皮带轮上均套设有从动齿轮，所述固定板上的主动齿轮和相对应的从动齿轮啮合，所述调节板上的主动齿轮和相对应的从动齿轮啮合。
16.通过采用上述技术方案，驱动杆带动主动齿轮转动，与主动齿轮啮合的从动齿轮随之转动，从动齿轮带动皮带轮转动，从而方便运送晶圆框架盒。
17.可选的，两所述固定板之间固定连接有支撑板，所述支撑板穿过调节板，所述支撑板位于传送带下方。
18.通过采用上述技术方案，支撑板减少了晶圆框架盒从传送带上掉落的可能。
19.可选的，所述支撑板上设置有支撑杆，所述支撑杆紧贴于传送带。
20.通过采用上述技术方案，支撑杆对传送带进行支撑，从而减少传送带发生松弛的现象。
21.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
22.本实用新型通过设置了传送带和调节丝杠，将晶圆框架盒放置到固定板1和调节板上的传送带上，两驱动电机通过驱动杆带动皮带轮转动，皮带轮带动传送带移动，从而对晶圆框架盒进行转运，当需要转运不同大小的晶圆框架盒时，启动调节电机，调节电机的输出轴带动两调节丝杠转动，两调节丝杠转动的过程中带动调节板移动，从而改变调节板与固定板之间的距离。从而改变调节板和固定板上传送带之间的距离，从而方便对不同大小的晶圆框架盒进行转运；
23.本实用新型通过设置了支撑杆，支撑板减少了晶圆框架盒从传送带上掉落的可能。
附图说明
24.图1为本实用新型一种芯片封装用晶圆框架转运装置的结构示意图；
25.图2为本实用新型一种芯片封装用晶圆框架转运装置中传送机构的结构示意图；
26.图3为本实用新型一种芯片封装用晶圆框架转运装置中调节机构的结构示意图。
27.图中：1、固定板；2、传送机构；21、驱动组件；211、驱动电机；212、驱动杆；22、传送组件；221、传送带；222、皮带轮；223、主动件；2231、主动齿轮；224、从动齿轮；225、支撑板；226、支撑杆；3、调节机构；31、调节板；32、调节组件；321、调节电机；322、调节丝杠；323、导向杆。
具体实施方式
28.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.参照图1和图2，本实用新型提供的一种芯片封装用晶圆框架转运装置的实施例，芯片封装用晶圆框架转运装置包括两个固定板1、用于传送晶圆框架盒的传送机构2和调节机构3。调节机构3与固定板1连接，传送机构2分别与调节机构3和一固定板1连接。
30.参照图1和图2，调节机构3包括调节板31和调节组件32，调节板31设置在两固定板1之间，调节板31与固定板1平行。调节组件32与两固定板1连接，调节组件32用于驱动调节板31在两固定板1之间移动。传送机构2包括驱动组件21和传送组件22，驱动组件21分别与传送组件22和一固定板1连接，传送组件22分别与调节板31和一固定板1连接。
31.参照图1和图2，传送组件22包括两传送带221，两传送带221位于同一水平面上，一固定板1和调节板31上均转动连接有多个皮带轮222，固定板1上的皮带轮222通过传送带221传动连接，调节板31上的皮带轮222通过传送带221传动连接。驱动组件21与皮带轮222连接，传送带221用于传送晶圆框架盒，驱动组件21用于驱动皮带轮222转动。
32.参照图1和图2，将晶圆框架盒放置到固定板1盒调节板31上的传送带221上，驱动组件21通过皮带轮222带动传送带221移动，从而对晶圆框架盒进行转运，当需要转运不同大小的晶圆框架盒时，调节组件32带动调节板31移动，从而改变调节板31与固定板1之间的距离，从而改变调节板31和固定板1上传送带221之间的距离，从而方便对不同大小的晶圆框架盒进行转运。
33.参照图1和图2，调节组件32包括两调节电机321，两固定板1之间转动连接有两调节丝杠322。两调节丝杠322均穿过固定板1，两调节丝杠322均穿过调节板31并与调节板31螺纹连接，两固定板1之间固定连接有四个导向杆323，四个导向杆323均穿过调节板31，调节电机321的输出轴与一调节丝杠322同轴固定连接，调节电机321通过传动带带动另一调节丝杠322转动。
34.参照图1和图3，启动调节电机321，调节电机321的输出轴带动两调节丝杠322转动两调节丝杠322转动的过程中带动调节板31移动，从而改变调节板31与固定板1之间的距离。
35.参照图1和图2，传送组件22有两组，两组传送组件22上下分布。驱动组件21包括两驱动电机211，两固定板1之间转动连接有两驱动杆212，两驱动杆212均穿过调节板31。两驱动杆212均与调节板31转动连接，调节板31和一固定板1上均转动连接有两主动件223，主动件223为主动齿轮2231，驱动杆212的横截面为多边形，两驱动杆212分别穿过固定板1和调节板31上的主动齿轮2231，调节板31和固定板1上的皮带轮222上套设有从动齿轮224，固定板1上的主动齿轮2231与相对应的从动齿轮224相互啮合，调节板31上的主动齿轮2231和相对应的从动齿轮224相互啮合。从动齿轮224带动调节板31和固定板1上的皮带轮222转动，主动齿轮2231沿驱动杆212滑动，驱动杆212带动主动齿轮2231转动。
36.参照图1和图3，驱动电机211有两个，一驱动电机211通过传动带带动一驱动杆212转动，另一驱动电机211通过传动带带动另一驱动杆212转动。
37.参照图1和图3，启动两驱动电机211，两驱动电机211的输出轴带动两驱动杆212转动，驱动杆212带动主动件223转动，主动件223带动皮带轮222转动，从而方便运送晶圆框架
盒。驱动杆212带动主动齿轮2231转动，与主动齿轮2231啮合的从动齿轮224随之转动，从动齿轮224带动皮带轮222转动，从而方便运送晶圆框架盒。
38.参照图1和图3，两固定板1之间固定连接有两支撑板225，两支撑板225均穿过调节板31并与调节板31滑动连接，两支撑板225分别位于两传送带221下方。支撑板减少了晶圆框架盒从传送带221上掉落的可能。两支撑板225上均设置有两支撑杆226，支撑杆226紧贴于传送带221。支撑杆226对传送带221进行支撑，从而减少传送带221发生松弛的现象。
39.工作原理：将晶圆框架盒放置到固定板1和调节板31上的传送带221上，两驱动电机211通过驱动杆212带动皮带轮222转动，皮带轮222带动传送带221移动，从而对晶圆框架盒进行转运。
40.当需要转运不同大小的晶圆框架盒时，启动调节电机321，调节电机321的输出轴带动两调节丝杠322转动，两调节丝杠322转动的过程中带动调节板31移动，从而改变调节板31与固定板1之间的距离。从而改变调节板31和固定板1上传送带221之间的距离，从而方便对不同大小的晶圆框架盒进行转运。
41.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。