一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工技术领域，尤其是涉及一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂。


背景技术：

2.现有技术中，晶圆尺寸具有多种，例如4寸、6寸以及12寸等，目前通过传送手臂进行传送，仅仅针对特定的尺寸或两种尺寸的晶圆，兼容性差，同时现有的可以兼容两种尺寸的晶圆传送手臂采用独立气道吸附实现晶圆固定，结构复杂。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂，适用于多种尺寸的晶圆传送，结构简单，定位可靠，提高了设备的兼容性。
4.为实现上述目的，本实用新型提供了一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂，包括臂体，所述臂体的安装端设置有安装孔，所述臂体的承载端开设有第一承载槽、第二承载槽以及调节槽，所述第一承载槽、所述第二承载槽以及所述调节槽同心设置，所述调节槽的中部设置有升降吸附固定机构，所述调节槽内对称设置有调节承载机构。
5.优选的，所述升降吸附固定机构包括锥形吸盘、升降管、升降气缸以及连接环，所述连接环一侧与所述升降气缸固定连接，所述连接环另一侧与所述升降管底部固定连接，所述升降管顶部与所述锥形吸盘固定连接。
6.优选的，所述升降管侧面固定有两层密封圈，所述升降管插设于供气管内。
7.优选的，所述调节承载机构包括三角形托板、调节板、龙门固定架以及定位顶丝，所述定位顶丝固定于所述龙门固定架上，所述调节板一端穿过所述龙门固定架并设置于插槽内，所述调节板另一端与所述三角形托板固定连接，所述三角形托板开设有限位台。
8.因此，本实用新型采用上述结构的一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂，具有以下有益效果：
9.(1)、具有两个承载槽和一个调节槽，可以适应大多数不同尺寸的晶圆承载。
10.(2)、所述第一承载槽、所述第二承载槽以及所述调节槽同心设置，采用一个负压吸附机构即可完成在不同位置的晶圆，结构简单。
11.下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
12.图1为本实用新型一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂结构示意图；
13.图2为本实用新型升降吸附固定机构结构示意图；
14.图3为本实用新型连接环结构示意图。
15.附图标记
16.1、臂体；11、安装孔；12、第一承载槽；13、第二承载槽；14、调节槽；15、供气管；2、升
降吸附固定机构；21、锥形吸盘；22、升降管；221、密封圈；23、连接环；24、升降气缸；3、调节承载机构；31、三角形托板；311、限位台；32、调节板；33、龙门固定架；34、定位顶丝。
具体实施方式
17.实施例
18.图1为本实用新型一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂结构示意图，图2为本实用新型定位块结构示意图，如图所示，一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂，包括臂体1，臂体1的安装端设置有安装孔11，用于连接机械臂。臂体1的承载端开设有第一承载槽11、第二承载槽12以及调节槽13，第一承载槽11、第二承载槽12以及调节槽13同心设置，调节槽13的中部设置有升降吸附固定机构2，升降吸附固定机构2包括锥形吸盘21、升降管22、升降气缸24以及连接环23，连接环23一侧与升降气缸24固定连接，连接环23另一侧与升降管22底部固定连接，升降管22顶部与锥形吸盘21固定连接。升降管22插设于供气管15内，升降管22侧面固定有两层密封圈221，保证升降管22的气密性。根据具体的晶圆固定位置调整锥形吸盘21的高度，从而实现采用一个负压吸附机构即可完成在不同位置的晶圆，结构简单。
19.调节槽14内对称设置有调节承载机构3，调节承载机构3包括三角形托板31、调节板32、龙门固定架33以及定位顶丝34，定位顶丝34固定于龙门固定架33上，调节板32一端穿过龙门固定架33并设置于插槽内，调节板32另一端与三角形托板31固定连接，三角形托板31开设有限位台311，用于固定更小尺寸的晶圆，例如6寸和4寸晶圆，可以适应大多数不同尺寸的晶圆承载。
20.因此，本实用新型采用上述结构的一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂，适用于多种尺寸的晶圆传送，结构简单，定位可靠，提高了设备的兼容性。
21.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本实用新型技术方案的精神和范围。


技术特征：
1.一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂，包括臂体，其特征在于：所述臂体的安装端设置有安装孔，所述臂体的承载端开设有第一承载槽、第二承载槽以及调节槽，所述第一承载槽、所述第二承载槽以及所述调节槽同心设置，所述调节槽的中部设置有升降吸附固定机构，所述调节槽内对称设置有调节承载机构。2.根据权利要求1所述的一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂，其特征在于：所述升降吸附固定机构包括锥形吸盘、升降管、升降气缸以及连接环，所述连接环一侧与所述升降气缸固定连接，所述连接环另一侧与所述升降管底部固定连接，所述升降管顶部与所述锥形吸盘固定连接。3.根据权利要求2所述的一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂，其特征在于：所述升降管侧面固定有两层密封圈，所述升降管插设于供气管内。4.根据权利要求1所述的一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂，其特征在于：所述调节承载机构包括三角形托板、调节板、龙门固定架以及定位顶丝，所述定位顶丝固定于所述龙门固定架上，所述调节板一端穿过所述龙门固定架并设置于插槽内，所述调节板另一端与所述三角形托板固定连接，所述三角形托板开设有限位台。

技术总结
本实用新型公开了一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂，包括臂体，所述臂体的安装端设置有安装孔，所述臂体的承载端开设有第一承载槽、第二承载槽以及调节槽，所述第一承载槽、所述第二承载槽以及所述调节槽同心设置，所述调节槽的中部设置有升降吸附固定机构，所述调节槽内对称设置有调节承载机构。采用上述结构的一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂，适用于多种尺寸的晶圆传送，结构简单，定位可靠，提高了设备的兼容性。备的兼容性。备的兼容性。


技术研发人员：唐正隆 王正辉 吴星华 储长流 张立
受保护的技术使用者：合肥开悦半导体科技有限公司
技术研发日：2021.09.02
技术公布日：2022/1/7