烧结轴承和烧结轴承的制造方法与流程

1.本发明涉及烧结轴承和烧结轴承的制造方法。


背景技术：

2.作为耐腐蚀性优异的烧结轴承，下述专利文献1所记载的铝青铜系的烧结轴承是众所公知的。在铝青铜系的烧结轴承中，主要使用铝
‑
铜合金粉末作为原料粉末，但对该粉末进行烧结时，有如下问题：烧结时在粒子表面生成的氧化铝(al2o3)的覆膜会显著阻碍烧结。
3.为了消除该问题，在专利文献1所记载的烧结轴承中，向原料粉末中添加氟化铝作为烧结助剂。根据该文献，氟化铝在铝
‑
铜合金粉末的烧结中熔融的同时慢慢地蒸发，通过保护铝
‑
铜合金粉末的表面并抑制氧化铝的生成，从而促进烧结，增进铝的扩散。
4.现有技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：国际公开第2013/137347号


技术实现要素：

7.发明所要解决的技术问题
8.上述铝青铜系的烧结轴承例如用于汽车的发动机用燃料泵。近年来，随着对发动机小型化、轻量化的要求，也要求燃料泵的小型化、轻量化，对组装进燃料泵的烧结轴承也要求紧凑化(小径化或者薄壁化，或它们两者)。
9.但是，已知像这样使铝青铜系的烧结轴承紧凑化时，其强度会超出预期地下降。其原因不明，该问题的原因探求和问题解决的要求强烈。
10.在此，本发明以能够稳定地确保铝青铜系烧结轴承的强度为目的。
11.解决技术问题的手段
12.为了解决该问题，本发明为一种烧结轴承，其由烧结体构成，具有铝
‑
铜合金经烧结而得的组织，含有3～13质量％的铝和0.05～0.6质量％的磷、余部的主要成分为铜，且包含不可避免的杂质，其特征在于，芯部的晶粒间界的氧化铝覆膜被除去，且具有200mpa以上的径向抗压强度。
13.作为该烧结轴承，优选具有hrf30以上硬度的烧结轴承。
14.另外，优选密度为5.6g/cm3以上、6.2g/cm3以下的烧结轴承。
15.优选进一步具有游离石墨的烧结轴承。
16.另外，本发明为烧结轴承的制造方法，所述烧结轴承是对包含氟化铝的原料粉末进行烧结而形成的，具有铝
‑
铜合金经烧结而得的组织，并含有3～13质量％的铝和0.05～0.6质量％的磷，余部的主要成分为铜，且包含不可避免的杂质，所述制造方法的特征在于，
17.在封闭空间进行上述烧结，且对假定上述原料粉末中所包含的氟化铝在上述封闭空间全部气化时的该氟化铝气体的浓度进行管理并进行上述烧结。
18.该情况下，优选按照上述氟化铝气体的浓度为5ppm以上的方式进行管理并进行上述烧结。
19.该制造方法中，优选在上述封闭空间配置2个以上的粉体压坯，使上述2个以上的粉体压坯的总容积与上述封闭空间的容积的比为5％以上，进行上述烧结。
20.另外，上述封闭空间优选由能够容纳2个以上的粉体压坯的容器主体和可装卸于该容器主体的盖所形成。
21.进一步，优选使上述原料粉末中含有上述0.05～0.3质量％的氟化铝。
22.发明的效果
23.根据本发明，能够提供一种具备高耐腐蚀性、并具有高机械强度的烧结轴承。
附图说明
24.图1是示出烧结轴承的截面图。
25.图2是示出烧结炉的截面图。
26.图3a是容器的俯视图。
27.图3b是沿图3a中d
‑
d线的截面图。
28.图4a是放大显示图1中a部的微组织的示意图。
29.图4b是放大显示图1中b部的微组织的示意图。
30.图4c是放大显示图1中c部的微组织的示意图。
31.图5是示出氟化铝浓度与径向抗压强度的关系的曲线图。
32.图6是示出氟化铝浓度与径向抗压强度的关系的曲线图。
33.图7是示出容积比与径向抗压强度的关系的曲线图。
34.图8是示出容积比与径向抗压强度的关系的曲线图。
具体实施方式
35.以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。
36.如图1所示，本实施方式的烧结轴承1由内周具有轴承面1a的圆筒状的多孔质体所形成。向烧结轴承1的内周插入轴2，在该状态旋转轴2时，烧结轴承1的无数的空孔中所保持的润滑油随着温度上升而渗出到轴承面1a。该渗出的润滑油在轴2的外周面与轴承面1a之间的轴承间隙形成油膜，轴2由轴承1以可以相对旋转的方式所支撑。
37.本实施方式的烧结轴承1是按如下方式形成的：将混合了各种粉末的原料粉末填充到模具中，并将其压缩成型为粉体压坯后，对粉体压坯进行烧结，之后，通过进行整形和根据需要进行润滑油的渗入而形成。
38.本实施方式的原料粉末为对铝
‑
铜合金粉末、磷
‑
铜合金粉末、石墨粉末、作为烧结助剂的氟化铝和氟化钙进行混合而得的混合粉末。在下面描述各粉末的详情。
39.[铝
‑
铜合金粉末]
[0040]
作为铝
‑
铜合金粉末，使用对铜与铝的完全合金粉末粉碎后进行了粒度调整的铝
‑
铜合金粉末。具体地说，可以使用7～17质量％的铝
‑
铜合金粉末，优选使用8.5～12质量％的铝
‑
铜合金粉末。由于使用合金化的粉末，所以没有比重小的铝单质粉飞散所带来的操作上的问题。铝
‑
铜合金粉末的粒径为100μm以下，平均粒径为35μm左右。
[0041]
平均粒径可以根据例如激光衍射散射法进行测定。该测定方法中，向粒子组照射激光，从由其发出的衍射/散射光的强度分布图形通过计算求出粒度分布，并进一步求出平均粒径。作为平均粒径的测定装置，可以使用例如株式会社岛津制作所的sald
‑
3100。
[0042]
铝
‑
铜合金粉末中的铝的量越多，则β相的比例越高。β相在565℃发生共析转变而成为α相和γ相，因此铝量越多则烧结体中生成的γ相越多。由于γ相会降低对机油、汽油、轻油等中所包含的有机酸或尾气中所包含的氨等的耐腐蚀性，所以过度增加铝量是不合适的。另一方面，铝的含量过少时，无法获得铝青铜烧结轴承的优点(特别是耐磨耗性)。因此，烧结轴承1中的铝的含量为3质量％～13质量％，优选为8.5质量％～12质量％。
[0043]
[磷合金粉末]
[0044]
作为磷合金粉末，使用磷
‑
铜合金粉末，例如7～10质量％的磷
‑
铜合金粉末。磷提高烧结时的固相
‑
液相间的润湿性，并且具有促进烧结过程中铝
‑
铜合金的烧结的效果。烧结轴承中磷的含量为0.05～0.6质量％，优选为0.1～0.4质量％。磷的含量小于0.05质量％时，缺乏固液相间的烧结促进效果；磷的含量大于0.6质量％时，由于烧结过度进行，γ相的析出增加，烧结体变脆。
[0045]
[石墨粉末]
[0046]
石墨主要是以游离石墨的形式存在于分散分布于坯料的气孔内，并赋予烧结轴承优异的润滑性，有助于提高耐磨耗性。相对于铝
‑
铜合金粉末与磷合金粉末的合计100质量％(100质量份)，石墨的混合量为3～10质量％(3～10质量份)，优选为3～6质量％(3～6质量份)。铝小于3质量％(3质量份)时，无法获得由添加石墨而得的提高润滑性和耐磨耗性的效果。另一方面，大于10质量％(10质量份)时，铝向铜中的扩散受到阻碍，导致强度降低。通过使用造粒石墨粉作为石墨粉，在向原料粉末中添加4质量％(4质量份)以上的石墨粉时，能够防止成型性恶化。造粒石墨粉是用树脂粘接剂对天然石墨或人造石墨的微粉进行造粒后再进行粉碎的物质。作为石墨粉，优选使用粒径145目以下的物质。
[0047]
[氟化铝]
[0048]
在烧结铝
‑
铜合金粉末时，在粒子表面生成的氧化铝的覆膜会显著阻碍烧结。氟化铝(alf3)粉末在铝
‑
铜合金粉末的烧结温度即880℃～1000℃发生熔融的同时慢慢地蒸发，保护铝
‑
铜合金粉末的表面并抑制氧化铝的生成，从而促进烧结，增进铝的扩散。氟化铝由于在烧结时蒸发并挥发，所以几乎不会残留在烧结后的烧结体中。相对于铝
‑
铜合金粉末与磷合金粉末的合计100质量％(100质量份)，原料粉末中氟化铝的混合比例优选为0.05～0.3质量％(0.05～0.3质量份)。氟化铝的混合量小于0.05质量％(0.05质量份)时，难以抑制氧化铝的生成。氟化铝的混合量大于0.3质量％(0.3质量份)时，抑制氧化铝生成的效果发生饱和(使用8.5～12质量％的铝
‑
铜合金粉末的情况下)。
[0049]
[氟化钙]
[0050]
氟化钙(caf2)在与磷的共存下呈现催化剂那样的作用，例如作为氟化铝的烧结助剂而有助于促进烧结。相对于铝
‑
铜合金粉末与磷合金粉末的合计100质量％，氟化钙的混合比例优选为0.01～0.2质量％(0.01～0.2质量份)左右。氟化钙的混合量小于0.01质量％(0.01质量份)时，难以获得作为氟化铝的烧结助剂的效果。氟化钙的混合量大于0.2质量％(0.2质量份)时，则会作为氟化钙粒子残留于烧结体内。
[0051]
接下来，对烧结轴承1的制造方法进行说明。本实施方式的烧结轴承1经过原料粉
末准备工序、压粉工序、烧结工序、整形工序和含油工序而制造。
[0052]
[原料粉末准备工序s1]
[0053]
原料粉末准备工序s1中，准备并生成烧结轴承1的原料粉末。生成原料粉末时，按照可以得到含有3～13质量％的铝和0.05～0.6质量％的磷、余部的主要成分为铜和碳、还进一步包含不可避免的杂质的烧结体的方式调配各粉末，并进行混合。例如，相对于上述铝
‑
铜合金粉90～97质量％(90～97质量份)、上述磷
‑
铜合金粉末3～10质量％(3～10质量份)的合计100质量％(100质量份)，使用添加了石墨粉末3～6质量％(3～6质量份)、氟化铝0.05～0.3质量％(0.05～0.3质量份)、氟化钙0.01～0.2质量％(0.01～0.2质量份)、为了使成型性容易的润滑剂硬脂酸锌0.1～1.0质量％(0.1～1.0质量份)的物质作为原料粉末。
[0054]
[压粉工序]
[0055]
压粉工序中，通过对上述原料粉末进行压缩成型，形成粉体压坯1’(图3a、3b)，该粉体压坯1’具有与烧结轴承1的形状对应的形状。
[0056]
具体地说，例如向以伺服马达为驱动源的cnc压力机中放置对模仿粉体压坯形状的型腔进行划分而成的成型模具，并以200～700mpa的加压力对填充在型腔内的上述原料粉末进行压缩，从而进行粉体压坯1’的成型。粉体压坯1’成型时，成型模具可以加热至70℃以上。
[0057]
以上所述的烧结轴承1的制造方法中，作为铝源，由于使用铝
‑
铜合金粉末而未使用铝单质粉末，所以，在压粉工序中能够避免比重小的铝单质粒子的飞散所带来的操作上的问题。另外，由于未添加铜单质粉，所以烧结体中几乎没有铜单质不均的部分，避免了由该部分导致的腐蚀的发生。因此，烧结轴承1的耐腐蚀性提高。
[0058]
[烧结工序]
[0059]
烧结工序中，在烧结温度下对粉体压坯进行加热，通过使相邻的原料粉末彼此烧结结合而形成烧结体。作为进行烧结的烧结炉，可以使用例如图2所示的网带式连续炉10。
[0060]
该烧结炉10具有在传送方向(图中的二点划线的延长线中所记载的箭头所示的方向)上依次配置有投入部11、预热部12、加热部13和冷却部14的构成。从作为炉10的入口的投入部11到作为炉10的出口的冷却部14的终端，架设有作为传送装置的网带15。通过用驱动源16驱动该网带15，粉体压坯被沿着箭头方向连续传送，并依次通过各部11～14。
[0061]
在预热部12和加热部13分别设置有放热体12a、13a和用于将气氛气体供给至炉内的供给口12b、13b。预热部12中，通过加热除去粉体压坯中所包含的硬脂酸锌等润滑剂(脱蜡)，加热部13中，对预热后的粉体压坯进行烧结。炉10内的气氛气体使用氢气、氮气或者它们的混合气体。作为烧结温度，优选为880～1000℃(优选920℃～980℃)的范围。另外，预热部12和加热部13合起来的烧结时间优选为10～60分钟左右。
[0062]
本实施方式中，粉体压坯1’容纳于密闭的容器20内。将容器20依次供给到网带15上，并将各容器20依次送至炉10内的各部11～14，从而对容器20内的粉体压坯进行烧结。作为容器20，如图3a、图3b所示，例如可以使用具有作为容器主体的托盘21(也称作板)和盖22的带盖的托盘。在托盘21上配置2个以上的粉体压坯1’，之后，将盖22嵌合至托盘21的上表面开口部，从而在带盖的托盘20的内部形成与外部大气隔绝的封闭空间23。本实施方式中的烧结工序是像这样将粉体压坯1’容纳于容器20内部的封闭空间23而进行。需要说明的是，托盘21和盖22例如可以用不锈钢形成。
[0063]
在伴随烧结的升温中，在铝
‑
铜合金粒子的表面会形成氧化铝(al2o3)的覆膜。由于氧化铝覆膜会阻碍烧结，所以直接在该状态下时，会发生烧结不足(颈强度不足)。作为其对策而添加的氟化铝从600℃附近发生气化(升华)，并与氧化铝覆膜发生反应，根据以下的反应式生成alof的气相。
[0064]
al2o3(s) alf3(g)＝3alof(g)
[0065]
通过该反应，氧化铝覆膜被破坏并除去。其结果是，相邻的铝
‑
铜合金组织间的烧结顺利地进行，组织间的颈强度增高，得到高强度的烧结体。
[0066]
[整形工序]
[0067]
整形工序中，将由于烧结而与粉体压坯1’相比膨胀了的烧结体沿轴向和半径方向进行压缩并进行尺寸整形。通过整形加工，将膨胀的烧结体的表层的气孔粉碎，使芯部与表层部产生密度差。因此，整形加工后，如图1所示，烧结轴承1的表层部(赋以影线的区域)成为压缩层，外径面1b侧的表层部的压缩层po的密度和轴承面1a侧的表层部的压缩层pi的密度均比芯部1c的密度高。
[0068]
[含油工序]
[0069]
含油工序为向产品1(烧结轴承)渗入润滑油的工序。向含油装置的槽内投入产品1，之后，将润滑油注入槽内。接着，通过对槽内进行减压，向产品1的气孔内渗入润滑油。由此，由于成为在多孔质的烧结轴承的各气孔中保持有润滑油的状态，因此能够从运转开始时获得良好的润滑状态。作为润滑油，可以使用矿物油、聚α烯烃(pao)、酯、液态脂膏等。其中，含油工序根据轴承的使用用途实施即可，也可以根据用途而省略含油工序。
[0070]
经过以上那样的工序，完成了图1所示的烧结轴承1。该烧结轴承1具有铝
‑
铜合金经烧结而得的组织，含有3～13质量％的铝和0.05～0.6质量％的磷，余部的主要成分为铜和碳，并包含不可避免的杂质。
[0071]
该烧结轴承1具有图4a、图4b、图4c中示意性示出的微组织。需要说明的是，图4a为图1的a部的放大图，图4b为图1的b部的放大图，图4c为图1的c部的放大图。
[0072]
图4a～图4c中，赋以影线的区域3为铝
‑
铜合金组织。由于铝
‑
铜组织3为完全合金组织，所以，在铝
‑
铜组织3的任何部分，铜与铝的比例(重量比)恒定。铝
‑
铜合金组织3之中，在与外部大气接触的表面和与外部大气连通的内部气孔d1的周围存在氧化铝覆膜4。因此，向烧结轴承1赋予了耐蚀性和耐磨耗性。由于内部气孔d1和表面气孔d2内分布有游离石墨5，所以可获得润滑性、耐磨耗性。
[0073]
另外，本实施方式中，由于未向原料粉末中添加铜单质粉，所以烧结体中几乎没有铜单质不均的部分，避免了由该部分导致腐蚀的发生。虽然省略了图示，在相邻的铝
‑
铜合金组织3的晶粒间界存在磷。磷导致烧结时的固相
‑
液相间的润湿性提高，因此粒子间的结合强度提高，能够增加烧结体的强度。氟化铝会随着烧结而全部蒸发、挥发，所以几乎不在烧结体中残留，但氟化钙有时会残留于烧结体中。残留于烧结体中的氟化钙可以作为固体润滑剂而发挥作用。
[0074]
以上所说明的实施方式中，虽然未向原料粉末中添加铜单质粉，但也可以根据需要添加铜单质粉。这种情况下，在烧结体中，除了铝
‑
铜合金组织、磷
‑
铜合金组织、铝
‑
磷
‑
铜合金组织和石墨组织之外，还形成有铜单质的组织。本实施方式的烧结体是含有铝和磷、且余部的主要成分为铜的烧结体，但此处所说的“余部”中，以不损害必须的耐腐蚀性和机械
强度的量作为限度，可以添加cu以外的其它元素。作为其它元素的一例，可以举出si、sn、ni、zn、fe、mn等之中的任意1种，或者2种以上。其中，烧结体中的上述其它元素的含量各自为低于铜和铝的含量的量。另外，根据烧结条件，有时会在烧结体中残留有未完全蒸发的微量的氟化钙，但该情况下的烧结体中的f和ca的含量也低于铜和铝的含量。
[0075]
像已经描述的那样，使铝青铜系的烧结轴承1紧凑化的情况下，已知烧结体的强度比预期的强度还低的事例频繁发生。各种检验的结果表明该现象以下面所述的理由为原因：作为烧结助剂的氟化铝的作用发挥不充分。
[0076]
在容器20内的封闭空间23中，像已经描述的那样，烧结时气化的氟化铝与氧化铝发生反应，从而生成alof气体。随着烧结轴承1的紧凑化，容器20内中容纳的粉体压坯的数量与紧凑化前为相同数量时，结果是封闭空间23的残存容积(封闭空间23的容积减去粉体压坯1’的总容积的值)相对增加。由此，由于气化的氟化铝的浓度(alof气体的浓度)降低，所以氟化铝与氧化铝的反应不能充分进行，在晶粒间界残留有氧化铝。因此，烧结的进行受到损害，烧结体的强度降低。
[0077]
基于以上的检验结果，本实施方式中，在与外部大气隔绝的封闭空间23进行粉体压坯1’的烧结，且对假定原料粉末中所包含的氟化铝在封闭空间23内全部气化时的氟化铝气体的浓度(预期浓度)进行管理并进行烧结。该浓度由在托盘20内配置了规定数量(实际的烧结工序中，配置于托盘内的粉体压坯的数量)的粉体压坯1’时的封闭空间23的残存容积(封闭空间23的容积减去粉体压坯1’的总容积的值)与封闭空间23中存在的氟化铝的总量算出。本实施方式中的“浓度的管理”包括考虑上述残存容积而确定封闭空间23中的氟化铝的总量(各粉体压坯1’的氟化铝的含量)，或者考虑封闭空间23中的氟化铝的总量而确定封闭空间23的容积。即“浓度的管理”意味着考虑封闭空间23的残存容积与封闭空间23中的氟化铝量中的任一方来确定另一方。
[0078]
图5示出以上所述的在氟化铝的浓度不同的条件下进行烧结的烧结体的径向抗压强度(jisz2507所规定的)的测定结果。试验片(烧结体)的烧结温度为950℃，试验片的尺寸为内径大致外径大致长度大致6mm。试验片的体积为0.2971cm3，质量为1.72～1.82g。
[0079]
从图5所示的结果可以理解到，氟化铝的浓度越高，烧结体的径向抗压强度越高。因此，优选极力提高氟化铝的浓度。为了提高氟化铝的浓度，需要增多氟化铝的含量，或者减小封闭空间的容积，前者(增多氟化铝的含量)的情况下，需要根据产品尺寸而改变氟化铝的混合量，因为每个产品尺寸需要不同的混合量的材料，所以管理变得困难。因此，为了增大氟化铝的浓度，减小封闭空间23的容积是更现实的应对。从生产率的确保等方面出发，封闭空间23的小容积化优选通过减小封闭空间23的高度尺寸h(参照图3b)来实现。
[0080]
图6示出在使烧结体的烧结温度不同而进行与上述同样的试验的情况下的径向抗压强度的测定结果。
[0081]
图6所示的结果可以理解到：烧结温度越高则烧结体的径向抗压强度越增加，以及，即使在接近低温的940℃的烧结温度下，若封闭空间23中的氟化铝的浓度(预期浓度)为5.0ppm以上，则能够确保200mpa以上的径向抗压强度。另外可以理解到，若提高氟化铝的浓度，则可以获得250mpa以上、进一步为300mpa以上的径向抗压强度。此处，作为在烧结轴承1的众多用途中的最低必要限度的强度，很多情况下要求200mpa的径向抗压强度。因此，为了
在低温烧结时也能确保最小限度的径向抗压强度，设定氟化铝的浓度为5.0ppm以上，优选为10ppm以上，更优选为15ppm以上的数值。氟化铝的浓度的上限为在封闭空间23中的饱和浓度以下。
[0082]
测定在以上的试验中使用的试验片的硬度，结果是洛氏硬度hrf为30以上(实质上为40以上)110以下(实质上为100以下，更实质上为90以下，进一步实质上为70以下)，确认到烧结体也具有充分的硬度。另外，测定试验片的密度，结果确认到为5.6g/cm3以上、6.2g/cm3以下的密度。
[0083]
通过在以上所述的条件下进行烧结，如图4a、图4b、图4c所示，从与芯部1c相邻的铝
‑
铜合金组织3的晶粒间界确实地除去氧化铝覆膜4，氧化铝覆膜4不再存在于该晶粒间界。因此，能够使铝
‑
铜合金组织3之间的烧结充分进行，提高铝
‑
铜合金组织3彼此的颈强度，能够稳定地提高烧结体的强度。
[0084]
接下来，使粉体压坯的总容积与封闭空间23的容积(未容纳粉体压坯的状态时的容积)的比(下文中，简单称为“容积比”)不同而进行烧结时的径向抗压强度的测定结果示于图7和图8。试验片使用上述试验中使用的试验片。需要说明的是，图7示出设定试验片的烧结温度为950℃时的径向抗压强度，图8对比示出了设定试验片的烧结温度为940℃、950℃、960℃的三种情况下的径向抗压强度。
[0085]
从图7和图8可以理解到，容积比越大则径向抗压强度越大，若容积比为5.0％以上，则可以获得至少200mpa以上的径向抗压强度。因此，容积比优选设定为5％以上(优选为10％以上，更优选为15％以上)。
[0086]
本实施方式的铝青铜系的烧结轴承1即使在高温下也能够兼顾高水平的耐腐蚀性和机械强度。该烧结轴承1可广泛适用于要求这些特性的用途。因此，能够作为配置在接近汽车发动机的配件类来使用，具体地说，可以作为要求与汽油或轻油接触时对有机酸腐蚀或硫化腐蚀的耐腐蚀性的燃料泵用烧结轴承、要求对高温下的尾气或机油的耐腐蚀性的尾气循环装置(egr)用烧结轴承、或者作为涡轮增压器用烧结轴承来使用。另外，也可以用作例如钓具的渔线轮用轴承。
[0087]
另外，以上的说明中，作为烧结轴承1例示了适用于将轴承面1a设为正圆形的正圆轴承的情况，但不限于正圆轴承，也可以作为在轴承面1a或轴2的外周面设置了人字形槽、螺旋槽等动压发生部的流体动压轴承来使用。
[0088]
需要说明的是，以上的实施方式中，例示了使用连续式烧结炉10的情况，但也可以使用分批式烧结炉来代替它。另外，也可以在炉内形成用百叶窗等进行封闭的封闭空间，在该封闭空间不使用容器20，而是将粉体压坯1’直接投入该封闭空间。此时，通过对封闭空间的氟化铝的浓度进行管理，能够得到与上述同样的效果。这种情况下，可以一边从炉外向封闭空间内供给氟化铝气体，一边管理其浓度。
[0089]
符号的说明
[0090]
1 烧结轴承
[0091]
1a 轴承面
[0092]
1c 芯部
[0093]1’ꢀ
粉体压坯
[0094]2ꢀꢀ
轴
[0095]3ꢀꢀ
铝
‑
铜合金组织
[0096]4ꢀꢀ
氧化铝覆膜
[0097]5ꢀꢀ
石墨
[0098]
10 烧结炉
[0099]
20 容器(带盖的托盘)
[0100]
21 托盘
[0101]
22 盖
[0102]
23 封闭空间