螺栓真空镀膜用夹具的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域，特别涉及一种螺栓真空镀膜用夹具。


背景技术：

2.真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。
3.螺栓是一种带螺纹的紧固件，由头部和螺杆(带外螺纹的圆柱体)两部分组成，用于紧固连接带有通孔的零件。其主要材料大多为碳钢或者不锈钢组成，对于碳钢材料的螺栓而言，腐蚀和氧化生锈一直都是螺栓失效的主要原因，特别是工作环境极其特殊的场合，如航空航天、水下、酸碱地等，为了极大减弱这种现象，一般需要对螺栓进行真空镀膜处理。
4.目前，对于螺栓的镀膜夹具大多是件螺栓固定于相应的夹具上，螺栓对应溅射靶设置，以通过溅射靶将介质(如金属、合金或化合物)溅射，使介质在被涂覆螺栓的表面上凝固并沉积。不同介质和或不同螺栓在镀膜时，需要螺栓和溅射靶之间的距离不同，才能使得镀膜达到最好的效果。在目前夹具中，螺栓和溅射靶之间的距离一般是固定的，影响镀膜的效果。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种螺栓真空镀膜用夹具，以能够调节螺栓和溅射靶之间的距离，提高镀膜的效果。
6.为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：
7.根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供一种螺栓真空镀膜用夹具，包括转动架、支撑板、以及限位组件；转动架能够绕自身的轴线转动，并相对溅射靶设置；支撑板固定在所述转动架上；限位组件用于限位螺栓；所述限位组件设置在所述支撑板上，并能够沿靠近和背离溅射靶的方向固定于所述支撑板上的不同位置。
8.在一些实施例中，所述限位组件通过紧固件连接在所述支撑板上；所述支撑板上开设长孔，所述长孔从所述转动架的内部向外延伸；所述紧固件穿设于长孔内的不同位置而将所述限位组件固定于所述支撑板的不同位置。
9.在一些实施例中，所述支撑板设置为两个，两个所述支撑板间隔设置；所述限位组件限位在两个所述支撑板之间；两个所述支撑板上对应开设有所述长孔。
10.在一些实施例中，所述限位组件包括间隔设置的两侧板、以及连接在两所述侧板的朝向所述转动架外侧的前板；所述侧板固定连接所述支撑板；所述前板用于限位螺栓。
11.在一些实施例中，两所述侧板的背向所述前板的一端设置有限位部，两所述侧板的两所述限位部相背延伸，并超出对应所述支撑板的相对面。
12.在一些实施例中，所述前板上间隔开设有多个贯通的穿孔，以用于螺栓穿设。
13.在一些实施例中，所述穿孔于每个所述前板上沿所述转动架的轴线方向间隔设置
为多排。
14.在一些实施例中，所述支撑板沿所述转动架的轴线方向延伸，所述支撑板的两端固定在转动架上。
15.在一些实施例中，所述限位组件沿所述支撑板的延伸方向间隔设置为多组。
16.在一些实施例中，所述支撑板上对应每个所述限位组件间隔设置有多个所述长孔。
17.由上述技术方案可知，本实用新型至少具有如下优点和积极效果：
18.本实用新型中，将螺栓限位于限位组件上后，转动架转到预设位置，使得螺栓在预设位置和溅射靶相对应，以用于螺栓的后序真空镀膜。限位组件够沿靠近和背离溅射靶的方向固定于支撑板上的不同位置，从而能够调节限位组件上的螺栓和溅射靶之间距离，提高镀膜的效果。
附图说明
19.图1是本实用新型真空镀膜用夹具的正面示意图。
20.图2是图1中a
‑
a处的剖面图。
21.图3是图1中b处的放大图。
22.图4是图2中c处的放大图。
23.附图标记说明如下：100、转动架；110、转动盘；111、安装孔；120、连杆；200、支撑板；210、延伸板；220、翼板；230、底板；240、顶板；250、长孔；300、限位组件；310、侧板；311、限位部；320、前板；400、溅射靶；500、螺栓；600、紧固件。
具体实施方式
24.体现本实用新型特征与优点的典型实施方式将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本实用新型能够在不同的实施方式上具有各种的变化，其皆不脱离本实用新型的范围，且其中的说明及图示在本质上是当作说明之用，而非用以限制本实用新型。
25.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
26.目前，对于螺栓的镀膜夹具大多是件螺栓固定于相应的夹具上，螺栓对应溅射靶设置，以通过溅射靶将介质(如金属、合金或化合物)溅射，使介质在被涂覆螺栓的表面上凝固并沉积。不同介质和或不同螺栓在镀膜时，需要螺栓和溅射靶之间的距离不同，才能使得镀膜达到最好的效果。在目前夹具中，螺栓和溅射靶之间的距离一般是固定的，影响镀膜的效果。
27.图1是本实用新型真空镀膜用夹具的正面示意图。图2是图1中a
‑
a处的剖面图。
28.为了便于描述和理解，以图1中夹具的状态为参考，竖向方向为上下方向，朝向夹具内部的方向为内，朝向夹具外部的方向为外。
29.参阅图1和图2，本实施例提供了一种螺栓真空镀膜用夹具，该夹具放置于真空镀膜装置内，并与真空镀膜装置内的溅射靶相对应。螺栓限位在夹具上，在镀膜的过程中，介质经过溅射靶溅射到螺栓上，而在螺栓的外表面形成镀膜层。溅射靶一般为阴极靶。
30.本实施例中，螺栓真空镀膜用夹具包括转动架100、固定在转动架100上的支撑板200、以及设置在支撑板200上的限位组件300；限位组件300用于限位螺栓500。转动架100绕自身的轴线可转动的连接在真空镀膜装置中，并相对溅射靶400设置。
31.在对螺栓镀膜时，打开真空镀膜装置的上相应的门体，然后转动架100转动到使得限位组件300正对门体的位置，将预镀膜螺栓500限位在限位组件300上，然后转动架100转动到预设位置，使得限位组件300上的预镀膜螺栓500正对溅射靶400，并关上真空镀膜装置上的门体，开启真空镀膜装置，真空镀膜装置将介质涂覆在预镀膜螺栓500的表面上凝固并沉积，预镀膜螺栓500的外表面上形成镀膜层。镀膜完成后，转动架100转动到正对门体的位置，并打开门体，将已镀膜螺栓500从限位组件300上取下，完成螺栓500的镀膜。
32.本实施例中，转动架100包括沿竖向方向间隔设置的两个转动盘110、以及连接在两个转动盘110之间的多根连杆120；转动盘110绕竖向方向的轴线可转动的连接在真空镀膜装置中。支撑板200设置在两转动盘110之间，支撑板200的上下两端分别连接一个转动盘110。通过两个转动盘110以及连接在两个转动盘110之间的多根连杆120，使得支撑板200在转动架100上的固定稳固可靠。
33.转动盘110为圆盘结构，转动盘110上开设有贯通的安装孔111，安装孔111的轴线和转动盘110的轴线重合，安装孔111和真空镀膜装置中的相应结构连接，而固定在真空镀膜装置中。
34.图3是图1中b处的放大图。图4是图2中c处的放大图。
35.参阅图1至图4，支撑板200沿转动架100的轴线方向延伸，支撑板200的两端固定在转动架100上。支撑板200在水平方向上间隔设置为两个，限位组件300限位在两个支撑板200之间。每个支撑板200包括延伸板210、以及设置于延伸板210的朝向转动架100外侧一端的翼板220，两翼板220沿相背的方向延伸，以增强延伸板210的结构强度。
36.本实施例中，支撑板200还包括位于连个延伸板210底部的底板230、以及位于两翼板220顶部的顶板240。底板230和顶板240均沿两延伸板210的间隔方向设置。底板230的下表面贴合于转动架100下方的转动盘110上，并固定在该转动盘110上。两延伸板210的底端固定在底板230上。顶板240的上表面贴合于转动架100上方的转动盘110上，并固定在该转动盘110上。两翼板220的顶端固定在顶板240上。
37.在一些实施例中，两延伸板210的顶端固定在顶板240上，两延伸板210的底端固定在底板230上。在另一些实施例中，两翼板220的顶端固定在顶板240上，两翼板220的底端固定在底板230上。
38.底板230和顶板240均沿水平设置，以方便底板230和顶板240在两转动盘110上的安装固定。在底板230和顶板240上开设固定孔，固定孔沿竖向开设，从而将底板230和顶板240固定在相应的转动盘110上。
39.支撑板200上开设有长孔250，本实施例中，长孔250开设于两延伸板210上，长孔
250从转动架100的内部向外延伸，长孔250为沿水平方向延伸的条形孔，长孔250贯通延伸板210的两侧面。长孔250对应限位组件300设置，间隔设置的两个支撑板200的两个延伸板210上对应开设长孔250。
40.支撑板200上对应每个限位组件300设置有多个长孔250。本实施例中，每个延伸板210上对应每个限位组件300设置有两个长孔250，两个长孔250沿竖向方向间隔设置。
41.再次参阅图1至图4，限位组件300设置在支撑板200上，并能够沿靠近和背离溅射靶400的方向固定于支撑板200上的不同位置，螺栓500限位在限位组件300上后，调节限位组件300在支撑板200上的位置，从而能够调节限位组件300上的螺栓500和溅射靶400之间距离，提高镀膜的效果。
42.本实施例中，限位组件300连接在支撑板200上时，紧固件600穿过长孔250而将限位组件300固定于支撑板200上。限位组件300包括间隔设置的两侧板310、以及连接在两侧板310的朝向转动架100外侧的前板320；侧板310固定连接支撑板200，前板320用于限位螺栓500。紧固件600为螺栓。
43.侧板310上对应长孔250开设有螺纹孔，紧固件600穿过长孔250而将侧板310固定并限位在支撑板200上。
44.两侧板310的背向前板320的一端设置有限位部311，两侧板310的两限位部311相背延伸，并超出对应支撑板200的相对面，以能够有效的避免限位组件300朝向远离转动架100的方向从两支撑板200之间脱出。
45.限位组件300沿支撑板200的延伸方向间隔设置为多组。每个前板320上间隔开设有多个贯通的穿孔(图中未示出)，以用于螺栓500穿设。通过穿孔的设置，方便快捷的在夹具上安装或拆卸螺栓500，螺栓500的安装方便，只需单个人工，即可完成，节省了人力。
46.穿孔于每个前板320上沿转动架100的轴线方向间隔设置为多排，每排穿孔沿两侧板310的间隔方向间隔设置为多个，以便于在限位组件300上限位多个螺栓500，同时对多个螺栓500镀膜，螺栓500在夹具上的结构紧凑，空间利用率高，提高生产的效益。
47.本实施例中，每个前板320上沿竖向间隔设置有两排穿孔。在一些实施例中，每个前板320上沿竖向间隔设置为三排或三排以上。
48.本实用新型中，将转动架100转动，使得限位组件300移动到真空镀膜装置的门体开口处，将待镀膜螺栓500穿设在前板320的穿孔内，以将待镀膜螺栓500限位在限位组件300上。转动架100转动到预设位置，使得限位组件300上的待镀膜螺栓500对应溅射靶400，真空镀膜装置工作，对限位组件300上的螺栓500镀膜。镀膜完成后，转动架100转动到门体开口处，将镀膜后的螺栓500取下。
49.虽然已参照几个典型实施方式描述了本实用新型，但应当理解，所用的术语是说明和示例性、而非限制性的术语。由于本实用新型能够以多种形式具体实施而不脱离实用新型的精神或实质，所以应当理解，上述实施方式不限于任何前述的细节，而应在随附权利要求所限定的精神和范围内广泛地解释，因此落入权利要求或其等效范围内的全部变化和改型都应为随附权利要求所涵盖。