螺栓真空镀膜用夹具的制作方法

技术特征：
1.一种螺栓真空镀膜用夹具，其特征在于，包括：转动架，其能够绕自身的轴线转动，并相对溅射靶设置；支撑板，其固定在所述转动架上；限位组件，用于限位螺栓；所述限位组件设置在所述支撑板上，并能够沿靠近和背离溅射靶的方向固定于所述支撑板上的不同位置。2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述限位组件通过紧固件连接在所述支撑板上；所述支撑板上开设长孔，所述长孔从所述转动架的内部向外延伸；所述紧固件穿设于所述长孔内的不同位置而将所述限位组件固定于所述支撑板的不同位置。3.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述支撑板设置为两个，两个所述支撑板间隔设置；所述限位组件限位在两个所述支撑板之间；两个所述支撑板上对应开设有所述长孔。4.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述限位组件包括间隔设置的两侧板、以及连接在两所述侧板的朝向所述转动架外侧的前板；所述侧板固定连接所述支撑板；所述前板用于限位螺栓。5.根据权利要求4所述的夹具，其特征在于，两所述侧板的背向所述前板的一端设置有限位部，两所述侧板的两所述限位部相背延伸，并超出对应所述支撑板的相对面。6.根据权利要求4所述的夹具，其特征在于，所述前板上间隔开设有多个贯通的穿孔，以用于螺栓穿设。7.根据权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述穿孔于每个所述前板上沿所述转动架的轴线方向间隔设置为多排。8.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述支撑板沿所述转动架的轴线方向延伸，所述支撑板的两端固定在转动架上。9.根据权利要求8所述的夹具，其特征在于，所述限位组件沿所述支撑板的延伸方向间隔设置为多组。10.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述支撑板上对应每个所述限位组件间隔设置有多个所述长孔。

技术总结
本实用新型提供了一种螺栓真空镀膜用夹具，包括转动架、支撑板、以及限位组件；转动架能够绕自身的轴线转动，并相对溅射靶设置；支撑板固定在转动架上；限位组件用于限位螺栓；限位组件设置在支撑板上，并能够沿靠近和背离溅射靶的方向固定于支撑板上的不同位置。将螺栓限位于限位组件上后，转动架转到预设位置，使得螺栓在预设位置和溅射靶相对应，以用于螺栓的后序真空镀膜。限位组件够沿靠近和背离溅射靶的方向固定于支撑板上的不同位置，从而能够调节限位组件上的螺栓和溅射靶之间距离，提高镀膜的效果。高镀膜的效果。高镀膜的效果。


技术研发人员：田耕涛 黄志云 张建宁 吴洽
受保护的技术使用者：中山凯旋真空科技股份有限公司
技术研发日：2021.07.16
技术公布日：2022/1/4