柔性显示面板及其制作方法与流程

技术特征：
1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括柔性基底(10)和无机材料层(20)，所述无机材料层(20)位于所述柔性基底(10)的一面；所述柔性基底(10)具有显示区(101)、绑定区(102)、粗切区(103)和非显示区(104)，所述绑定区(102)与所述显示区(101)相连，所述粗切区(103)位于所述绑定区(102)远离所述显示区(101)的一侧，且与所述绑定区(102)相连，所述非显示区(104)围绕所述显示区(101)、所述绑定区(102)和所述粗切区(103)；所述柔性显示面板的表面至少具有第一切割道(10a)和第二切割道(10b)，所述第一切割道(10a)位于所述绑定区(102)和所述非显示区(104)的交界处，所述第二切割道(10b)位于所述粗切区(103)和所述非显示区(104)的交界处，且与所述第一切割道(10a)相连；所述第一切割道(10a)和所述第二切割道(10b)在所述柔性基底(10)表面的正投影，位于所述无机材料层(20)在所述柔性基底(10)表面的正投影内。2.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述无机材料层(20)满足以下至少一种：所述无机材料层(20)在所述第一切割道(10a)处的厚度，小于所述无机材料层(20)在所述第一切割道(10a)两侧的厚度；所述无机材料层(20)在所述第二切割道(10b)处的厚度，小于所述无机材料层(20)在所述第二切割道(10b)两侧的厚度。3.根据权利要求2所述的柔性显示面板，其特征在于，所述无机材料层(20)在所述第一切割道(10a)处的厚度为1500埃至8000埃；所述无机材料层(20)在所述第二切割道(10b)处的厚度为1500埃至8000埃。4.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板的表面还具有第三切割道(10c)，所述第三切割道(10c)位于所述绑定区(102)和所述非显示区(104)的交界处，且位于所述第一切割道(10a)靠近所述显示区(101)的一端，并与所述第一切割道(10a)相连，所述第三切割道(10c)呈弧形，所述第三切割道(10c)在所述柔性基底(10)表面的正投影，位于所述无机材料层(20)在所述柔性基底(10)表面的正投影外。5.根据权利要求1～4任一项所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括有机材料层(30)，所述有机材料层(30)位于所述无机材料层(20)远离所述柔性基底(10)的表面。6.根据权利要求5所述的柔性显示面板，其特征在于，所述有机材料层(30)在所述第一切割道(10a)处的厚度，小于所述有机材料层(30)在所述第一切割道(10a)两侧的厚度；和/或，所述有机材料层(30)在所述第二切割道(10b)处的厚度，小于所述有机材料层(30)在所述第二切割道(10b)两侧的厚度。7.根据权利要求6所述的柔性显示面板，其特征在于，所述有机材料层(30)包括依次层叠在所述无机材料层(20)上的第一平坦化层(31)、第二平坦化层(32)和像素界定层(33)，所述第一切割道(10a)的底部和/或所述第二切割道(10b)的底部位于所述第一平坦化层(31)表面。8.根据权利要求5所述的柔性显示面板，其特征在于，所述有机材料层(30)位于所述第一切割道(10a)和/或所述第二切割道(10b)之外。
9.根据权利要求8所述的柔性显示面板，其特征在于，所述无机材料层(20)包括依次层叠在所述柔性基底(10)表面的阻挡层(21)、栅极绝缘层(22)和层间介电层(23)，所述第一切割道(10a)和/或所述第二切割道(10b)的底部位于所述栅极绝缘层(22)表面。10.根据权利要求6～9任一项所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括保护层(40)，所述保护层(40)位于所述有机材料层(30)远离所述柔性基底(10)的一面，且沿所述第一切割道(10a)的侧壁延伸至所述第一切割道(10a)的底部，沿所述第二切割道(10b)的侧壁延伸至所述第二切割道(10b)的底部。11.一种柔性显示面板的制作方法，其特征在于，所述方法包括：提供一柔性基底(10)，所述柔性基底(10)具有显示区(101)、绑定区(102)、粗切区(103)和非显示区(104)，所述绑定区(102)与所述显示区(101)相连，所述粗切区(103)位于所述绑定区(102)远离所述显示区(101)的一侧，且与所述绑定区(102)相连，所述非显示区(104)围绕所述显示区(101)、所述绑定区(102)和所述粗切区(103)；在所述柔性基底(10)的一面形成无机材料层(20)；在所述无机材料层(20)远离所述柔性基底(10)的一面形成第一切割道(10a)和第二切割道(10b)，所述第一切割道(10a)位于所述绑定区(102)和所述非显示区(104)的交界处，所述第二切割道(10b)位于所述粗切区(103)和所述非显示区(104)的交界处，且与所述第一切割道(10a)相连，所述第一切割道(10a)和所述第二切割道(10b)在所述柔性基底(10)表面的正投影，位于所述无机材料层(20)在所述柔性基底(10)表面的正投影内。12.根据权利要求11所述的制作方法，其特征在于，所述在所述柔性基底(10)的一面形成无机材料层(20)，包括：在所述柔性基底(10)的一面形成无机材料薄膜；对所述无机材料薄膜进行刻蚀，降低在待形成所述第一切割道(10a)和所述第二切割道(10b)的位置，所述无机材料薄膜的厚度，得到所述无机材料层(20)。13.根据权利要求11或12所述的制作方法，其特征在于，所述在所述无机材料层(20)远离所述柔性基底(10)的一面形成第一切割道(10a)和第二切割道(10b)，包括：在所述无机材料层(20)远离所述柔性基底(10)的表面形成有机材料薄膜；在待形成所述第一切割道(10a)和所述第二切割道(10b)的位置去除至少部分厚度的所述有机材料薄膜，形成所述第一切割道(10a)和所述第二切割道(10b)，得到有机材料层(30)。14.根据权利要求13所述的制作方法，其特征在于，在所述柔性基底(10)的一面形成无机材料薄膜之后，所述方法还包括：对所述无机材料薄膜进行刻蚀，在待形成第三切割道(10c)的位置去除所述无机材料薄膜；所述制作方法还包括：在待形成所述第三切割道(10c)的位置去除至少部分厚度的所述有机材料薄膜，形成所述第三切割道(10c)，所述第三切割道(10c)位于所述绑定区(102)和所述非显示区(104)的交界处，且位于所述第一切割道(10a)靠近所述显示区(101)的一端，并与所述第一切割道(10a)相连，所述第三切割道(10c)呈弧形，所述第三切割道(10c)在所述柔性基底(10)表
面的正投影，位于所述无机材料层(20)在所述柔性基底(10)表面的正投影外。15.根据权利要求14所述的制作方法，其特征在于，所述方法还包括：在所述有机材料层(30)表面形成保护层(40)，所述保护层(40)位于所述有机材料层(30)远离所述柔性基底(10)的一面、所述第一切割道(10a)的侧壁和所述第二切割道(10b)的侧壁。

技术总结
本公开提供了一种柔性显示面板及其制作方法，属于显示装置领域。该柔性显示面板包括柔性基底和无机材料层；柔性显示面板的表面至少具有第一切割道和第二切割道，第一切割道位于绑定区和非显示区的交界处，第二切割道位于粗切区和非显示区的交界处，且与第一切割道相连；第一切割道和第二切割道在柔性基底表面的正投影，位于无机材料层在柔性基底表面的正投影内。无机材料层将第一切割道和柔性基底隔开，将第二切割道与柔性基底隔开，因此在制作柔性显示面板的过程中，将柔性显示面板从衬底基板表面剥离时，无机材料层能够起到阻挡的作用，阻止气体进一步进入柔性显示面板内部，从而避免形成气泡，有利于提高柔性显示面板的良率。率。率。


技术研发人员：卢嘉铭 张忠忠 郝瑞 朱留东 何传友 滕毅 潘明希
受保护的技术使用者：成都京东方光电科技有限公司
技术研发日：2021.09.30
技术公布日：2022/1/3