一种新型真空镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种新型真空镀膜机。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
3.目前的真空镀膜机在使用的时候，进料较为复杂，且自动化程度偏低，导致整个操作过程耗费大量工作时间，影响整体的工作效率，且在镀膜之前，需要对镀件进行表面清洁，防止镀件表面沾染灰尘影响镀膜的质量。
4.为此，我们提出了一种新型真空镀膜机。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种新型真空镀膜机，采用本装置进行工作，从而解决了上述背景中在使用的时候，进料较为复杂，且自动化程度偏低，导致整个操作过程耗费大量工作时间，影响整体的工作效率，且在镀膜之前，需要对镀件进行表面清洁，防止镀件表面沾染灰尘影响镀膜的质量的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型真空镀膜机，包括镀膜箱体和设置在镀膜箱体上端的激光溅射组件，镀膜箱体包括设置在镀膜箱体一侧的放置机构，设置在镀膜箱体内部的密封机构，以及设置在镀膜箱体内部的擦拭机构和吸附机构；
7.所述吸附机构包括设置在镀膜箱体内部的垫板，设置在垫板一侧的伸缩吸附管，以及设置在伸缩吸附管一端的吸盘，伸缩吸附管的另一端与外界气泵相连接。
8.进一步地，所述放置机构包括设置在镀膜箱体一侧的放置板，设置在放置板上表面的底垫，以及设置在底垫内部的挤压弹簧，放置板与垫板相对应。
9.进一步地，所述镀膜箱体包括设置在镀膜箱体内壁上的内槽，设置在镀膜箱体外表面上的滑槽，设置在滑槽内部的升降杆，以及设置在镀膜箱体底部的底槽。
10.进一步地，所述底槽的内部设置有电磁块，电磁块的内部设置有连接弹簧，底槽的内部还设置有磁薄板，磁薄板的下底面与连接弹簧相连接。
11.进一步地，所述密封机构包括设置在镀膜箱体内部的密封板，设置在密封板外表面上的密封气垫，以及开设在密封板外表面上的凹槽，凹槽的内部设置有气盘，气盘与密封气垫相连通。
12.进一步地，所述镀膜箱体的一侧设置有插管，插管的内部设置有磁杆，密封板的一端设置有插杆，密封板通过插杆与插管相连接，插杆与磁杆磁性连接。
13.进一步地，所述擦拭机构包括设置在内槽内部的导块，设置在导块外表面上的安装板，以及设置在导块下端的电动推杆a，安装板的一侧设置有电动推杆b，电动推杆b的一端设置有擦拭球。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
15.1.本实用新型提出的一种新型真空镀膜机，镀膜箱体的内部设置有垫板，垫板的一侧设置有伸缩吸附管，伸缩吸附管的一端设置有吸盘，伸缩吸附管的另一端与外界气泵相连接，镀膜箱体的一侧设置有放置板，放置板的上表面设置有底垫，以及设置在底垫内部的挤压弹簧，放置板与垫板相对应，将镀件放在底垫上，底垫受到重力挤压，会向下收缩，从而提高镀件与接触面的摩擦力，防止在移动过程中出现偏移的现象，其次，当放置板上移至合适位置时，伸缩吸附管开始伸长，通过吸盘所产生的吸力对镀件进行吸附固定，固定后再使得伸缩吸附管开始收回，直到移动至底槽的正上方，底槽的内部设置有电磁块，电磁块的内部设置有连接弹簧，底槽的内部还设置有磁薄板，磁薄板的下底面与连接弹簧相连接，最后利用电磁块与磁薄板的相斥力，使得磁薄板向上抬起，且抬起后的高度超过底槽，从而实现自动化进料，降低工作繁琐度，提高整体的工作效率。
16.2.本实用新型提出的一种新型真空镀膜机，内槽的内部设置有导块，导块的外表面上设置有安装板，导块的下端设置有电动推杆a，安装板的一侧设置有电动推杆b，电动推杆b的一端设置有擦拭球，通过安装板的上下移动，同时使得电动推杆b慢慢变长，直到与镀件相接触，在安装板上下移动的过程中，擦拭球会不断的对镀件表面进行擦拭，提高镀件表面的干净度，防止其表面沾染灰尘影响镀膜质量。
17.3.本实用新型提出的一种新型真空镀膜机，镀膜箱体的内部设置有密封板，密封板的外表面上设置有密封气垫，密封板的外表面上设置有凹槽，凹槽的内部设置有气盘，气盘与密封气垫相连通，镀膜箱体的一侧设置有插管，插管的内部设置有磁杆，密封板的一端设置有插杆，密封板通过插杆与插管相连接，插杆与磁杆磁性连接，在镀膜过程中，需要全程保持真空环境，在密封板关闭后，将密封气垫通入气体，使其慢慢膨胀，达到缩小密封板间隙的目的，同时插杆与磁杆磁性连接，保证了密封板关闭质量，防止出现漏气现象，间接性提高了整体的镀膜质量。
附图说明
18.图1为本实用新型的整体结构示意图；
19.图2为本实用新型的镀膜箱体结构示意图；
20.图3为本实用新型的密封机构结构示意图；
21.图4为本实用新型的吸附机构结构示意图；
22.图5为本实用新型的放置机构结构示意图；
23.图6为本实用新型的擦拭机构结构示意图。
24.图中：1、镀膜箱体；11、内槽；12、滑槽；13、升降杆；14、底槽；15、电磁块；16、连接弹簧；17、磁薄板；18、插管；181、磁杆；2、激光溅射组件；3、放置机构；31、放置板；32、底垫；33、挤压弹簧；4、密封机构；41、密封板；42、密封气垫；43、凹槽；44、气盘；45、插杆；5、擦拭机构；51、安装板；52、导块；53、电动推杆a；54、电动推杆b；55、擦拭球；6、吸附机构；61、垫板；62、伸缩吸附管；63、吸盘。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.请参阅图1和2，一种新型真空镀膜机，包括镀膜箱体1和设置在镀膜箱体1上端的激光溅射组件2，镀膜箱体1包括设置在镀膜箱体1一侧的放置机构3，设置在镀膜箱体1内部的密封机构4，以及设置在镀膜箱体1内部的擦拭机构5和吸附机构6,激光溅射组件2利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在镀件表面。
27.请参阅图4和5，吸附机构6包括设置在镀膜箱体1内部的垫板61，设置在垫板61一侧的伸缩吸附管62，以及设置在伸缩吸附管62一端的吸盘63，伸缩吸附管62的另一端与外界气泵相连接，包括设置在镀膜箱体1一侧的放置板31，设置在放置板31上表面的底垫32，以及设置在底垫32内部的挤压弹簧33，放置板31与垫板61相对应，将镀件放在底垫32上，底垫32受到重力挤压，会向下收缩，从而提高镀件与接触面的摩擦力，防止在移动过程中出现偏移的现象，当放置板31上移至合适位置时，伸缩吸附管62开始伸长，通过吸盘63所产生的吸力对镀件进行吸附固定，固定后再使得伸缩吸附管62开始收回，直到移动至底槽14的正上方。
28.请参阅图2和3，镀膜箱体1包括设置在镀膜箱体1内壁上的内槽11，设置在镀膜箱体1外表面上的滑槽12，设置在滑槽12内部的升降杆13，以及设置在镀膜箱体1底部的底槽14，底槽14的内部设置有电磁块15，电磁块15的内部设置有连接弹簧16，底槽14的内部还设置有磁薄板17，磁薄板17的下底面与连接弹簧16相连接，利用电磁块15与磁薄板17的相斥力，使得磁薄板17向上抬起，且抬起后的高度超过底槽14，从而实现自动化进料，降低工作繁琐度，提高整体的工作效率，密封机构4包括设置在镀膜箱体1内部的密封板41，设置在密封板41外表面上的密封气垫42，以及开设在密封板41外表面上的凹槽43，凹槽43的内部设置有气盘44，气盘44与密封气垫42相连通，镀膜箱体1的一侧设置有插管18，插管18的内部设置有磁杆181，密封板41的一端设置有插杆45，密封板41通过插杆45与插管18相连接，插杆45与磁杆181磁性连接，在镀膜过程中，需要全程保持真空环境，在密封板41关闭后，将密封气垫42通入气体，使其慢慢膨胀，达到缩小密封板41间隙的目的，同时插杆45与磁杆181磁性连接，保证了密封板41关闭质量，防止出现漏气现象，间接性提高了整体的镀膜质量。
29.请参阅图6，擦拭机构5包括设置在内槽11内部的导块52，设置在导块52外表面上的安装板51，以及设置在导块52下端的电动推杆a53，安装板51的一侧设置有电动推杆b54，电动推杆b54的一端设置有擦拭球55，通过安装板51的上下移动，同时使得电动推杆b54慢慢变长，直到与镀件相接触，在安装板51上下移动的过程中，擦拭球55会不断的对镀件表面进行擦拭，提高镀件表面的干净度，防止其表面沾染灰尘影响镀膜质量。
30.工作原理：将镀件放在底垫32上，底垫32受到重力挤压，会向下收缩，从而提高镀件与接触面的摩擦力，防止在移动过程中出现偏移的现象，其次，当放置板31上移至合适位置时，伸缩吸附管62开始伸长，通过吸盘63所产生的吸力对镀件进行吸附固定，固定后再使得伸缩吸附管62开始收回，直到移动至底槽14的正上方，磁薄板17的下底面与连接弹簧16相连接，最后利用电磁块15与磁薄板17的相斥力，使得磁薄板17向上抬起，且抬起后的高度超过底槽14，从而实现自动化进料。
31.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
32.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。