一种电子级多晶硅生产中尾气处理系统及其方法与流程

1.本发明涉及多晶硅尾气处理技术领域，特别涉及一种电子级多晶硅生产中尾气处理系统及其方法。


背景技术：

2.新硅烷法生产多晶硅，氢化铝钠和和四氟化硅在甲苯、dme溶剂中反应后生成氟化铝钠和硅烷。氟化铝钠固液混合物通过薄膜干燥器将氟化铝钠浆料分离为溶剂和氟化铝钠粉体，分别进入精馏系统和负压输送系统，进入不同的生产区域。薄膜干燥器分离出的有机溶剂蒸汽进入精馏系统进行纯化分离后，返回溶剂储罐。
3.有机溶剂蒸汽从薄膜干燥器上端出口管线进入冷凝器，在冷却作用下液化进入进料罐，再通过进料泵作为进料进入精馏塔，通过精馏塔分离的甲苯和dme返回溶剂储罐。同时，在精馏系统的作用下，溶剂中的不凝气等轻组分也从塔顶回流罐排出，进入焚烧系统进行焚烧处理，废气内的有害气体主要为部分焚烧尘粒，硫的氧化物、及少量的卤化物以及磷化合物。


技术实现要素：

4.本发明的目的是提供一种电子级多晶硅生产中尾气处理系统及其方法，改善生产尾气排放质量。
5.本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种电子级多晶硅生产中尾气处理系统，其特征在于，包括集尘装置、吸收塔以及废液回收箱，所述集尘装置的顶部排气口处设置有反吹气泵，所述集尘装置的侧壁进气口外部连接有文丘里管，所述集尘装置的底部排渣口设置有回转阀，所述集尘装置的顶部排气口与吸收塔下方的进气口连通，所述吸收塔顶部的排气口处设置有旋转导向风扇，所述吸收塔底部的集水口与废液回收箱连通，所述废液回收箱顶部通过多级喷淋装置与吸收塔内部连通。
6.优选的，所述集尘装置内部于顶部排气口设置有数组集尘管，所述集尘管外部通过法兰固定套接有集尘袋，所述集尘装置顶部靠近侧壁进气口处设置有挡流板，所述底部排渣口处于回转阀上方设置有旋转疏导扇。
7.优选的，所述旋转疏导扇的转动轴为垂直设置，所述转动轴上固定设置有对称分布的弧形扇叶，对称分布的两个所述弧形扇叶为一端朝上另一端朝下固定。
8.优选的，所述集尘装置的顶部排气口与反吹气泵之间设置有第一截止阀，所述集尘装置的顶部排气口与吸收塔下方的进气口之间设置有第二截止阀。
9.优选的，所述集尘装置内壁上设置有超声除尘器，所述超声除尘器输出端固定设置于集尘管底部。
10.优选的，所述吸收塔内部于旋转导向风扇往下依次设置有第二旋流板、集流锥板、第一旋流板以及填料层，所述填料层设置于吸收塔下方的进气口上方。
11.优选的，所述吸收塔底部的集水口于与废液回收箱之间设置有第三截止阀与加压泵，所述废液回收箱内部设置有ph测定仪。
12.优选的，所述多级喷淋装置包括至少三组的喷淋泵与喷淋头以及进液管，所述喷淋头通过进液管与喷淋泵、废液回收箱连通，所述喷淋头分别设置于旋转导向风扇与第二旋流板之间、集流锥板与第一旋流板之间以及第一旋流板与填料层之间，所述进液管总端设置有第四截止阀，所述喷淋头的输出端向上设置。
13.一种电子级多晶硅生产中尾气处理方法，其特征在于：包括如下步骤：（1）先将第一截止阀与第四截止阀关闭，其余截止阀开启，将生产尾气经过文丘里管导入至集尘装置内，生产尾气内尘粒通过集尘袋进行截断收取，并通过集尘装置的顶部排气口进入吸收塔内；（2）生产尾气进入吸收塔后先经过填料层，填料层与吸收塔上部的处理液接触形成液膜，充分与生产尾气接触，在通过上方多级喷淋管与旋流板实现充分反应完成脱水后，通过旋转导向风扇排出；（3）吸收塔底部的将反应后的液体通过加压泵导入至废液回收箱内，再由喷淋泵与喷淋头实现废液回收，废液回收箱内实现ph实时检测，若发现废液回收箱内废液趋于中性后关闭第三截止阀与加压泵，由外部的洗手液导入至进液管；（4）待集尘装置工作一定时间后，停止生产尾气进气，关闭第二截止阀，并开启第一截止阀与加压泵，将集尘袋上的尘粒吹下，并通过超声除尘器实现尘粒的震落，尘粒从集尘装置的底部排渣口排出，发生堵塞后开启旋转疏导扇实现疏导及时排尘。
14.综上所述，本发明具有以下有益效果：1.本发明通过集尘装置与反吹气泵配合实现集尘的回收，能够有效隔绝生产中尾气内的尘粒，同时回收也更加方便。
15.2.本发明通过在吸收塔内部依次设置有第二旋流板、集流锥板、第一旋流板以及填料层，充分反应完成脱水排出，当液体喷洒到填料上时便形成液膜，该液膜使气液两相接触面积增大，使之充分接触，在此接触的过程中液相与气相之间发生物理溶解和化学反应过程，从而尾气中的有害成份得以去除，改善生产尾气排放质量。
16.3.本发明采用废液回收箱将未完全反应的废液回收再次喷淋利用，提升利用效率，降低成本。
附图说明
17.图1是本发明的各结构示意图。
具体实施方式
18.下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明，本实施例不构成对本发明的限制。
19.如图1所示的一种电子级多晶硅生产中尾气处理系统，包括集尘装置1、吸收塔2以及废液回收箱3，集尘装置1的顶部排气口处设置有反吹气泵4，集尘装置1的侧壁进气口外部连接有文丘里管25，集尘装置1的底部排渣口设置有回转阀5，集尘装置1的顶部排气口与吸收塔2下方的进气口连通，吸收塔2顶部的排气口处设置有旋转导向风扇6，吸收塔2底部
的集水口与废液回收箱3连通，废液回收箱3顶部通过多级喷淋装置与吸收塔2内部连通。
20.集尘装置1内部于顶部排气口设置有数组集尘管7，集尘管7外部通过法兰固定套接有集尘袋8，集尘装置1顶部靠近侧壁进气口处设置有挡流板9，底部排渣口处于回转阀5上方设置有旋转疏导扇10，旋转疏导扇10的转动轴为垂直设置，转动轴上固定设置有对称分布的弧形扇叶，对称分布的两个弧形扇叶为一端朝上另一端朝下固定，通过旋转疏导扇10实现对底部排渣口防堵疏通。
21.集尘装置1的顶部排气口与反吹气泵4之间设置有第一截止阀11，集尘装置1的顶部排气口与吸收塔2下方的进气口之间设置有第二截止阀12，集尘装置1内壁上设置有超声除尘器13，超声除尘器13输出端固定设置于集尘管7底部，通过超声除尘器13实现尘粒的震落，更容易对集尘装置1内部实现清理。
22.吸收塔2内部于旋转导向风扇6往下依次设置有第二旋流板14、集流锥板15、第一旋流板16以及填料层17，填料层17设置于吸收塔2下方的进气口上方，通过上方多级喷淋装置与旋流板实现充分反应完成脱水。
23.吸收塔2底部的集水口于与废液回收箱3之间设置有第三截止阀18与加压泵19，废液回收箱3内部设置有ph测定仪20，废液回收箱3内实现ph实时检测，并根据ph值对后续的废液回收进行判断。
24.多级喷淋装置包括至少三组的喷淋泵21与喷淋头22以及进液管23，喷淋头22通过进液管23与喷淋泵21、废液回收箱3连通，喷淋头22分别设置于旋转导向风扇6与第二旋流板14之间、集流锥板15与第一旋流板16之间以及第一旋流板16与填料层17之间，进液管23总端设置有第四截止阀24，喷淋头22的输出端向上设置，当液体喷洒到填料上时便形成液膜，该液膜使气液两相接触面积增大，使之充分接触，在此接触的过程中液相与气相之间发生物理溶解和化学反应过程，从而尾气中的有害成份得以去除，改善生产尾气排放质量。
25.一种电子级多晶硅生产中尾气处理方法，包括如下步骤：（1）先将第一截止阀11与第四截止阀24关闭，其余截止阀开启，将生产尾气经过文丘里管25导入至集尘装置1内，生产尾气内尘粒通过集尘袋8进行截断收取，并通过集尘装置1的顶部排气口进入吸收塔2内。
26.（2）生产尾气进入吸收塔2后先经过填料层17，填料层17与吸收塔2上部的处理液接触形成液膜，充分与生产尾气接触，在通过上方多级喷淋装置与旋流板实现充分反应完成脱水后，通过旋转导向风扇6排出。
27.（3）吸收塔2底部的将反应后的液体通过加压泵导入至废液回收箱3内，再由喷淋泵21与喷淋头22实现废液回收，废液回收箱3内实现ph实时检测，若发现废液回收箱3内废液趋于中性后关闭第三截止阀18与加压泵19，由外部的洗手液导入至进液管23。
28.（4）待集尘装置1工作一定时间后，停止生产尾气进气，关闭第二截止阀12，并开启第一截止阀11与加压泵19，将集尘袋8上的尘粒吹下，并通过超声除尘器13实现尘粒的震落，尘粒从集尘装置1的底部排渣口排出，发生堵塞后开启旋转疏导扇10实现疏导及时排尘。
29.以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，不用于限制本发明，本领域技术人员可以在本发明的实质和保护范围内，对本发明做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本发明技术方案的保护范围内。