一种加热区温度防逸散的气相沉积车床的制作方法

1.本实用新型涉及气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种加热区温度防逸散的气相沉积车床。


背景技术：

2.化学气相沉积法(以下简称mcvd)玻璃车床是一种用来生产光纤预制棒的车床，利用mcvd法制造光纤预制棒的原理是以石英玻璃管作为基管，通过把首管和尾管分别与沉积管两端熔接，将它们固定在mcvd车床的两端，一端与原料进气口相通，一端通过较大外径的排废管与废处理系统相连。反应原料包含有多种氯化物，如sicl4、gecl4,pocl3等，还含有各种单质气体，如氧气，氯气，氦气等。反应沉积管下方装有氢氧喷灯，当反应气体流经把手管到达沉积管时，喷灯以一定流速从左往右匀速移动，反应物在高温的作用下通过热泳原理发生气相沉积。每次移动到最右端时快速返回，重复上面的操作，完成新一层的沉积。用mcvd工艺进行多层沉积后再经过缩棒就完成芯棒制作，芯棒再经过特殊的外包技术处理就形成光纤预制棒。
3.目前，利用mcvd玻璃车床料柜系统采用的内柜体无保温隔热措施，这就使得环境温度影响沉积箱内部的反应温度，可能导致反应物三氯化硼凝结堵管，同时也损耗了大量的热量。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种加热区温度防逸散的气相沉积车床。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种加热区温度防逸散的气相沉积车床，包括气相沉积外箱，所述气相沉积外箱的底部固定连接有第一支撑杆，所述气相沉积外箱的顶部一侧连接有合页，所述合页连接有外箱顶盖，气相沉积外箱的内部底面固定连接有第二支撑杆，所述第二支撑杆的顶部固定给链接有气相沉积内箱，所述气相沉积内箱的顶部活动连接有内箱顶盖，所述气相沉积内箱的外侧壁固定连接有加热装置，所述加热装置的外侧壁固定连接有支架，所述支架的顶部固定连接有排气管。
6.优选的，所述外箱顶盖的顶部固定连接有第一把手，所述内箱顶盖的顶部固定连接有第二把手。
7.优选的，所述支架与排气管均为螺旋形。
8.优选的，所述排气管的顶部固定连接有出气管，所述气相沉积内箱的底部固定连接有进气管，且进气管贯穿气相沉积外箱的底部。
9.优选的，所述且出气管与气相沉积外箱的侧壁固定连接，所述排气管的底部一端与气相沉积内箱的侧壁连接。
10.优选的，所述出气管与气相沉积外箱之间固定连接有抽气器，所述排气管与气相沉积内箱的侧壁固定连接有排气阀。
11.优选的，所述气相沉积外箱为中空的结构，且气相沉积外箱的内部填充有玻璃纤维，气相沉积外箱的内壁贴附有铝箔。
12.有益效果
13.本实用新型中，通过设置气相沉积内箱与气相沉积外箱之间设置隔离层，减少了热量的散失，同时设置螺旋状的排气管，将反应后的带有温度的废气在气相沉积内箱与气相沉积外箱之间进行热量再利用，提高了气相沉积内箱与气相沉积外箱之间隔离层的温度，利用废气的温度对气相沉积内箱的温度进行维持，避免了外部温度对气相沉积内箱内部的影响，减少了加热装置的二次工作时间，同时降低了热量逸散造成的损耗。
附图说明
14.图1为本实用新型的前侧结构图；
15.图2为本实用新型的后侧结构图；
16.图3为本实用新型气相沉积外箱的内部结构图；
17.图4为本实用新型气相沉积内箱的结构图。
18.图例说明：
19.1、气相沉积外箱；2、进气管；3、第一支撑杆；4、第一把手；5、外箱顶盖；6、气相沉积内箱；7、排气管；8、支架；9、排气阀；10、加热装置；11、内箱顶盖；12、第二把手；13、抽气器；14、出气管；15、合页；16、第二支撑杆。
具体实施方式
20.为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例和附图，进一步阐述本实用新型，但下述实施例仅仅为本实用新型的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本实用新型的保护范围。
21.下面结合附图描述本实用新型的具体实施例。
22.具体实施例：
23.参照图1
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4，一种加热区温度防逸散的气相沉积车床，包括气相沉积外箱1，气相沉积外箱1的底部固定连接有第一支撑杆3，气相沉积外箱1的顶部一侧连接有合页15，合页15连接有外箱顶盖5，气相沉积外箱1的内部底面固定连接有第二支撑杆16，第二支撑杆16的顶部固定给链接有气相沉积内箱6，气相沉积内箱6的顶部活动连接有内箱顶盖11，气相沉积内箱6的外侧壁固定连接有加热装置10，加热装置10的内部均匀分布有电加热丝，加热装置10的外侧壁固定连接有支架8，支架8的顶部固定连接有排气管7，外箱顶盖5的顶部固定连接有第一把手4，内箱顶盖11的顶部固定连接有第二把手12，支架8与排气管7均为螺旋形，排气管7的顶部固定连接有出气管14，气相沉积内箱6的底部固定连接有进气管2，且进气管2贯穿气相沉积外箱1的底部，且出气管14与气相沉积外箱1的侧壁固定连接，排气管7的底部一端与气相沉积内箱6的侧壁连接，出气管14与气相沉积外箱1之间固定连接有抽气器13，排气管7与气相沉积内箱6的侧壁固定连接有排气阀9，气相沉积外箱1为中空的结构，且气相沉积外箱1的内部填充有玻璃纤维，气相沉积外箱1的内壁贴附有铝箔，玻璃纤维填充层以及铝箔具有良好的隔热保温的作用。
24.本实用新型的工作原理：使用时先将待处理的产品置于气相沉积内箱6的内部，通过加热装置10对气相沉积内箱6的内部进行加热，当气相沉积内箱6的温度达到指定温度时，接着通过进气管2对气相沉积内箱6的内部通入反应气体，反应气体对待处理产品进行镀层，由于气相沉积外箱1与气相沉积内箱6之间设有中空的隔离层，对加热装置10和气相沉积内箱6的温度具有良好的隔热作用，且气相沉积外箱1的内部填充有玻璃纤维，气相沉积外箱1的内壁贴附有铝箔，玻璃纤维填充层以及铝箔具有良好的隔热保温的作用，初次待处理产品镀层结束时，打开排气阀9和抽气器13对气相沉积内箱6内部的温度较高的废气进行抽取，将废气抽取至排气管7的内部时，将高温废气保留在排气管7的内部，维持气相沉积外箱1内部的温度，利用废气的温度维持设备内部的温度，减少热量的散失，当利用加热装置10再次进行加热工作时，减少了加热装置10的加热时间，同时排气管7设置为螺旋状，将反应后的带有温度的废气在气相沉积内箱6与气相沉积外箱1之间进行热量再利用，提高了气相沉积内箱6与气相沉积外箱1之间隔离层的温度，利用废气的温度对气相沉积内箱6的温度进行维持，避免了外部温度对气相沉积内箱6内部的影响，同时降低了热量逸散造成的损耗。
25.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
26.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。