振动元件的制作方法

技术特征：
1.一种振动元件，其特征在于，包括：可动部；金属制的基板，包含各自具有第一端部及第二端部的一对支撑梁部、支撑所述一对支撑梁部各自的所述第一端部的支撑部、以及能摆动地支撑所述可动部的扭力梁部；驱动源，被设在所述支撑部，产生使所述可动部摆动的板波；以及保持构件，保持所述基板，在所述一对支撑梁部各自的所述第二端部，设有被固定于所述保持构件的固定部，所述固定部通过调整相对于所述保持构件的倾斜、沿着所述基板的表面的固定面内的相对于所述保持构件的固定位置、以及所述固定面内的固定的方向中的任一个，从而以所述一对支撑梁部各自在所述扭力梁部所延伸的第一方向上对所述扭力梁部朝远离所述可动部的方向施加有张力的状态而固定于所述保持构件。2.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，所述固定部是以如下的状态被固定：通过彼此朝相反方向扭曲，调整了相对于所述保持构件的倾斜的状态，或者，通过所述一对支撑梁部彼此朝相反方向弯曲，调整了所述固定面内的相对于所述保持构件的固定位置的状态。3.根据权利要求2所述的振动元件，其特征在于，所述固定部是以如下的状态固定于所述保持构件：所述固定部的所述第一方向上的部分中的靠近所述可动部一侧的第一部分以朝从所述可动部的背面侧朝向表面侧的方向旋转的方式而扭曲的状态，或者所述固定部的所述第一方向上的部分中的远离所述可动部一侧的第二部分以朝从所述可动部的表面侧朝向背面侧的方向旋转方式而扭曲的状态，或者所述一对支撑梁部以所述一对支撑梁部的所述第二端部彼此之间的距离比所述一对支撑梁部的所述第一端部彼此之间的距离大的方式弯曲的状态。4.根据权利要求3所述的振动元件，其特征在于，在所述固定部以扭曲的状态固定于所述保持构件的情况下，所述保持构件包含抵接部，所述抵接部具有与所述固定部抵接的抵接面，所述抵接面以下述方式而倾斜，即，第一抵接部分与第二抵接部分在与所述可动部的表面正交的第二方向上处于互不相同的位置，所述第一抵接部分在所述第一方向上靠近所述可动部的一侧，所述第二抵接部分在所述第一方向上远离所述可动部的一侧。5.根据权利要求4所述的振动元件，其特征在于，所述抵接部包含抵接构件，所述抵接构件与所述保持构件独立地设置，所述振动元件还包括固定角度调整机构，所述固定角度调整机构能对所述抵接面的倾斜角度进行调整。6.根据权利要求3所述的振动元件，其特征在于，在所述固定部以扭曲的状态固定于所述保持构件的情况下，所述保持构件包含抵接部，所述抵接部具有与所述固定部抵接的抵接面，所述振动元件还包括第一分隔部构件，所述第一分隔部构件在与所述可动部的表面正交的第二方向上，设在所述固定部与所述抵接面之间的位置，所述固定部以通过所述第一分隔部构件调整了相对于所述保持构件的倾斜的状态，而
固定于所述保持构件。7.根据权利要求4至6中任一项所述的振动元件，其特征在于，所述固定部以所述支撑梁部朝使所述扭力梁部中的连接于所述可动部的端部突出至所述可动部的表面侧的方向扭曲的状态，而固定于所述保持构件。8.根据权利要求4至7中任一项所述的振动元件，其特征在于，还包括：第二分隔部构件，在所述支撑梁部所延伸的方向上，配置在所述抵接部与所述保持构件之间，所述抵接部构成为，通过所述第二分隔部构件，能调整所述支撑梁部所延伸的方向上的所述固定部的固定位置。9.根据权利要求3所述的振动元件，其特征在于，在以所述支撑梁部弯曲的状态固定于所述保持构件的情况下，所述固定部具有固定位置调整部，所述固定位置调整部在所述固定部的厚度方向上贯穿所述固定部，并且沿着所述第一方向延伸，所述固定部以通过插通所述固定位置调整部的固定构件进行了所述固定面内的位置调整的状态，而固定于所述保持构件。10.根据权利要求3所述的振动元件，其特征在于，所述振动元件包含：对一对所述固定部的其中一个进行固定的第一螺丝构件、以及对一对所述固定部的另一个进行固定的第二螺丝构件，在所述保持构件，设有供所述第一螺丝构件紧固的第一螺丝孔、以及供所述第二螺丝构件紧固的第二螺丝孔，所述第一螺丝孔以及所述第二螺丝孔构成为，紧固所述第一螺丝构件时经由所述其中一个固定部而施加至所述一对支撑梁部的其中一个的力、以及紧固所述第二螺丝构件时经由所述另一个固定部而施加至所述一对支撑梁部的另一个的力各自成为在所述第一方向上远离所述可动部的方向。

技术总结
本发明提供一种振动元件，既能抑制制造工序复杂化，又能抑制可动部产生摆动以外的位移。所述振动元件包括：可动部；金属制的基板，包含各自具有第一端部及第二端部的一对支撑梁部、支撑第一端部的支撑部、以及可摆动地支撑可动部的扭力梁部；驱动源；以及保持构件，保持基板，在一对支撑梁部各自的第二端部，设有被固定于保持构件的固定部，固定部通过调整相对于保持构件的倾斜，从而以一对支撑梁部各自在扭力梁部所延伸的第一方向上对扭力梁部朝远离可动部的方向施加有张力的状态而固定于保持构件。保持构件。保持构件。


技术研发人员：藤田健一 种桥健治 田中史记
受保护的技术使用者：船井电机株式会社
技术研发日：2021.05.26
技术公布日：2021/12/7