振动元件的制作方法

1.本发明涉及一种振动元件。


背景技术：

2.以往，已知有一种振动元件(例如参照专利文献1)。
3.所述专利文献1中公开了一种微镜元件(micro mirror device)，包括：微镜；扭杆(torsion bar)，可旋转地支撑微镜；以及驱动电极，驱动微镜。
4.此处，所述专利文献1所公开的微镜元件中，为了在低电压下加大镜的旋转角度，扭杆构成得柔软。但是，在扭杆上，不仅施加有使微镜旋转(摆动)时产生的旋转扭矩，还因微镜的重量等而施加有上下方向的力。因此，若使扭杆柔软，则扭杆会因上下方向的力而产生挠曲，从而对于微镜容易产生镜旋转(镜部的摆动)以外的位移。而且，尽管在所述专利文献1中未作明确记载，但认为会由于因使微镜摆动时产生的热的影响等导致扭杆产生挠曲，而对微镜产生镜旋转以外的位移。
5.因此，所述专利文献1所公开的微镜元件中，公开了一种结构：为了抑制镜的摆动以外的位移，对扭杆施加张力，由此，与旋转方向相比较，提高上下左右方向的刚性。具体而言，所述专利文献1所公开的结构公开了下述结构：对扭杆进行成膜以使其具备拉伸应力，由此，与旋转方向相比较，提高上下左右方向的刚性。因此，所述专利文献1所公开的结构中，通过对扭杆形成氧化膜，从而提高了扭杆的上下左右方向的刚性。
6.[现有技术文献]
[0007]
[专利文献]
[0008]
专利文献1：日本专利特开2005
‑
321663号公报


技术实现要素：

[0009]
[发明所要解决的问题]
[0010]
但是，所述专利文献1所记载的微镜元件(振动元件)中，为了抑制微镜(可动部)的摆动以外的位移，采用了对扭杆(扭力梁部)进行成膜的结构。成膜的工序包含掩模的形成、抗蚀剂的涂布、薄膜的形成、抗蚀剂的去除等多个工序，因此存在制造工序复杂化的问题。
[0011]
本发明是为了解决如上所述的问题而完成，本发明的一个目的在于，提供一种振动元件，既能抑制制造工序复杂化，又能抑制可动部产生摆动以外的位移。
[0012]
[解决问题的技术手段]
[0013]
本发明的第一方面的振动元件包括：可动部；金属制的基板，包含各自具有第一端部及第二端部的一对支撑梁部、支撑一对支撑梁部各自的第一端部的支撑部、以及能摆动地支撑可动部的扭力梁部；驱动源，被设在支撑部，产生使可动部摆动的板波；以及保持构件，保持基板，在一对支撑梁部各自的第二端部，设有被固定于保持构件的固定部，固定部通过调整相对于保持构件的倾斜、沿着基板的表面的固定面内的相对于保持构件的固定位置、以及固定面内的固定的方向中的任一个，从而以一对支撑梁部各自在扭力梁部所延伸
的第一方向上对扭力梁部朝远离可动部的方向施加有张力的状态而固定于保持构件。
[0014]
本发明的一方面的振动元件中，如上所述，固定部通过调整相对于保持构件的倾斜、沿着基板的表面的固定面内的相对于保持构件的固定位置、以及固定面内的固定的方向中的任一个，从而以一对支撑梁部各自在扭力梁部所延伸的第一方向上对扭力梁部朝远离可动部的方向施加有张力的状态而固定于保持构件。由此，通过调整固定部相对于保持构件的固定方式，从而无须通过成膜而在支撑梁部设置用于对扭力梁部施加张力的构件，便能够在第一方向上对扭力梁部朝远离可动部的方向施加(赋予)张力。其结果，无须在扭力梁部进行成膜，便能够对扭力梁部施加张力，因此与通过制造工序复杂化的成膜来对扭力梁部形成施加张力的构件的结构相比较，既能抑制制造工序复杂化，又能抑制可动部发生位移。
[0015]
所述一方面的振动元件中，优选的是，固定部是以如下的状态被固定：通过彼此朝相反方向扭曲，调整了相对于保持构件的倾斜的状态，或者通过一对支撑梁部彼此朝相反方向弯曲，调整了固定面内的相对于保持构件的固定位置的状态。若像这样构成，则在固定部以通过使固定部彼此朝相反方向扭曲来调整了相对于保持构件的倾斜的状态而固定的情况下，通过固定部彼此朝相反方向扭曲，从而支撑梁部彼此朝相反方向扭曲，因此能够容易地经由支撑梁部来对扭力梁部朝远离可动部的方向施加张力。而且，在固定部以通过一对支撑梁部彼此朝相反方向弯曲来调整了固定面内的相对于保持构件的固定位置的状态而固定的情况下，通过一对支撑梁部朝相反方向弯曲，从而能够容易地经由支撑梁部来对扭力梁部朝远离可动部的方向施加张力。它们的结果是，能够容易地经由支撑梁部来对扭力梁部朝远离可动部的方向施加张力，因此既能抑制制造工序复杂化，又能容易地抑制可动部产生摆动以外的位移。
[0016]
此时，优选的是，固定部是以如下的状态固定于所述保持构件：固定部的第一方向上的部分中的靠近可动部一侧的第一部分以朝从可动部的背面侧朝向表面侧的方向旋转的方式而扭曲的状态，或者固定部的第一方向上的部分中的远离可动部一侧的第二部分以朝从可动部的表面侧朝向背面侧的方向旋转方式而扭曲的状态，而固定于保持构件，或者，固定部是以一对支撑梁部以一对支撑梁部的第二端部彼此之间的距离比一对支撑梁部的第一端部彼此之间的距离大的方式弯曲的状态。若像这样构成，则通过使固定部的第一部分朝从可动部的背面侧朝向表面侧的方向扭曲，或者使第二部分朝从可动部的表面侧朝向背面侧的方向扭曲，从而能够容易且切实地在第一方向上对扭力梁部施加远离可动部的方向的张力。而且，通过使一对支撑梁部以第二端部彼此之间的距离比第一端部彼此之间的距离大的方式弯曲，从而能够容易且切实地在第一方向上对扭力梁部施加远离可动部的方向的张力。它们的结果是，能够容易且切实地经由支撑梁部来对扭力梁部朝远离可动部的方向施加张力，因此既能抑制制造工序复杂化，又能更容易地抑制可动部产生摆动以外的位移。
[0017]
在所述固定部以扭曲的状态固定于保持构件，或者固定部以一对支撑梁部弯曲的状态而固定于保持构件的结构中，优选的是，在固定部以扭曲的状态固定于保持构件的情况下，保持构件包含抵接部，所述抵接部具有与固定部抵接的抵接面，抵接面以下述方式而倾斜，即，第一抵接部分与第二抵接部分在与可动部的表面正交的第二方向上处于互不相同的位置，所述第一抵接部分在第一方向上靠近可动部的一侧，所述第二抵接部分在第一
方向上远离可动部的一侧。若像这样构成，则能够容易地使抵接面倾斜，因此通过使固定部以抵接于抵接面的状态而固定，从而能够容易地将固定部扭曲的方向设为相反方向。其结果，能够以成为在第一方向上由一对支撑梁部对扭力梁部朝远离可动部的方向施加有张力的状态的方式，而容易地将固定部固定至保持构件。
[0018]
此时，优选的是，抵接部包含抵接构件，所述抵接构件与保持构件独立地设置，振动元件还包括固定角度调整机构，所述固定角度调整机构能对抵接面的倾斜角度进行调整。若像这样构成，则通过调整抵接面的倾斜角度，能够容易地调整固定部相对于保持构件的倾斜。其结果，能够容易地调整对扭力梁部施加的张力的大小。
[0019]
在所述固定部以扭曲的状态固定于保持构件，或者固定部以一对支撑梁部弯曲的状态而固定于保持构件的结构中，优选的是，在固定部以扭曲的状态固定于保持构件的情况下，保持构件包含抵接部，所述抵接部具有与固定部抵接的抵接面，振动元件还包括第一分隔部构件，所述第一分隔部构件在与可动部的表面正交的第二方向上，设在固定部与抵接面之间的位置，固定部以通过第一分隔部构件调整了相对于保持构件的倾斜的状态，而固定于保持构件。若像这样构成，则能够通过第一分隔部构件来使固定部相对于保持构件而倾斜。其结果，无须使抵接面倾斜，便能够容易地使固定部相对于保持构件而倾斜。
[0020]
在所述固定部以扭曲的状态固定于保持构件的结构中，优选的是，固定部以支撑梁部朝使扭力梁部中的连接于可动部的端部突出至可动部的表面侧的方向扭曲的状态，而固定于保持构件。若像这样构成，则除了能够在第一方向上对扭力梁部施加远离可动部的方向的张力以外，还能够对可动部的表面侧施加张力。其结果，例如在将可动部的表面朝垂直方向的上方向配置的情况下，通过对可动部的表面侧施加的张力，能够抑制因可动部的自重产生的可动部的下沉，因此能够进一步抑制可动部的摆动以外的位移。
[0021]
在所述固定部以扭曲的状态固定于保持构件的结构中，优选的是，还包括第二分隔部构件，所述第二分隔部构件在支撑梁部所延伸的方向上，配置在抵接部与保持构件之间，抵接部构成为，通过第二分隔部构件，能调整支撑梁部所延伸的方向上的固定部的固定位置。若像这样构成，则能够在支撑梁部所延伸的方向上调整固定部的固定位置，因此即使在产生了基板以及保持构件中产生的制造时的公差的情况下，也能够降低装配时的固定部的固定位置的误差。其结果，能够容易地制造振动元件。
[0022]
在所述固定部以扭曲的状态固定于保持构件，或者固定部以一对支撑梁部弯曲的状态而固定于保持构件的结构中，优选的是，在以支撑梁部弯曲的状态固定于保持构件的情况下，固定部具有固定位置调整部，所述固定位置调整部在固定部的厚度方向上贯穿固定部，并且沿着第一方向延伸，固定部以通过插通固定位置调整部的固定构件进行了固定面内的位置调整的状态，而固定于保持构件。若像这样构成，则由于固定位置调整部沿第一方向延伸，因此能够容易地调整将固定部固定于保持构件时的第一方向上的第二端部彼此之间的距离。其结果，能够容易地调整经由支撑梁部对扭力梁部施加的张力的大小。
[0023]
在所述固定部以扭曲的状态固定于保持构件，或者固定部以一对支撑梁部弯曲的状态而固定于保持构件的结构中，优选的是，振动元件包含：对一对固定部的其中一个进行固定的第一螺丝构件、以及对一对固定部的另一个进行固定的第二螺丝构件，在保持构件，设有供第一螺丝构件紧固的第一螺丝孔、以及供第二螺丝构件紧固的第二螺丝孔，第一螺丝孔以及第二螺丝孔构成为，紧固第一螺丝构件时经由其中一个固定部而施加至一对支撑
梁部的其中一个的力、以及紧固第二螺丝构件时经由另一个固定部而施加至一对支撑梁部的另一个的力各自成为在第一方向上远离可动部的方向。
[0024]
若像这样构成，则通过利用第一螺丝构件以及第二螺丝构件来固定一对固定部的各个，从而在第一方向上对一对支撑梁部分别施加远离可动部的方向的力，因此能够容易地使一对支撑梁部各自位置在第一方向上朝远离可动部的位置变化。其结果，能够容易地经由支撑梁部来对扭力梁部施加在第一方向上远离可动部的方向的张力。而且，通过调整第一螺丝构件以及第二螺丝构件的紧固情况(螺丝构件的角度)，从而能够容易地调整固定面内的固定部所固定的方向。其结果，通过调整固定面内的固定部所固定的方向，能够使固定面内的一对支撑梁部的位置容易地变化，因此能够容易地调整经由支撑梁部对扭力梁部施加的张力。
[0025]
[发明的效果]
[0026]
根据本发明，如上所述，能够提供一种振动元件以及光扫描装置，既能抑制制造工序复杂化，又能抑制可动部产生摆动以外的位移。
附图说明
[0027]
图1是表示第一实施方式的光扫描装置的整体结构的框图。
[0028]
图2是第一实施方式的振动元件的立体图。
[0029]
图3是表示第一实施方式的一对支撑梁部、扭力梁部以及镜的平面图。
[0030]
图4是第一实施方式的从支撑梁部所延伸的方向观察基板的示意图。
[0031]
图5是第一实施方式的保持构件的平面图。
[0032]
图6是第一实施方式的从支撑梁部所延伸的方向观察保持构件的示意图。
[0033]
图7是用于说明第一实施方式的将固定部固定至抵接部的结构的示意图。
[0034]
图8是用于说明第二实施方式的固定角度调整机构以及保持构件的平面图。
[0035]
图9是用于说明第二实施方式的通过固定角度调整机构来调整抵接面的倾斜角度的结构的立体图。
[0036]
图10是用于说明第三实施方式的对固定部进行固定的结构的示意图。
[0037]
图11是将图10的一部分放大的示意图。
[0038]
图12是用于说明第四实施方式的第一端部彼此之间的距离以及第二端部彼此之间的距离的示意图。
[0039]
图13是用于说明第五实施方式的设于保持构件的第一螺丝孔以及第二螺丝孔的示意图。
[0040]
图14是用于说明第五实施方式的第一螺丝构件以及第二螺丝构件的紧固方向的示意图。
[0041]
图15是用于说明第二实施方式的变形例的第二分隔部构件的安装位置的示意图。
[0042]
图16是用于说明第二实施方式的变形例的第二分隔部构件的示意图。
[0043]
图17是用于说明第四实施方式的变形例的固定位置调整部的示意图。
[0044]
图18是用于说明第四实施方式的变形例的对固定部进行固定的结构的示意图。
[0045]
[符号的说明]
[0046]
1、101、102、201、301、302、401：振动元件
[0047]
2：光源
[0048]
11：基板
[0049]
11a：一对支撑梁部
[0050]
11b：支撑部
[0051]
11c：扭力梁部
[0052]
11d：固定部
[0053]
12：驱动源
[0054]
13、130、230、330：保持构件
[0055]
14：可动部
[0056]
14a：可动部的表面
[0057]
14b：可动部的背面
[0058]
15：抵接部
[0059]
15a、150a、250a：抵接面
[0060]
16：固定角度调整机构
[0061]
17：第一分隔部构件
[0062]
21a：第一螺丝孔
[0063]
21b：第二螺丝孔
[0064]
22a：第一螺丝构件
[0065]
22b：第二螺丝构件
[0066]
23：第二分隔部构件
[0067]
24：固定位置调整部
[0068]
25、150：抵接构件
[0069]
26：固定构件
[0070]
110a：第一部分
[0071]
110b：第二部分
[0072]
111a：第一端部
[0073]
111b：第二端部
具体实施方式
[0074]
以下，基于附图来说明本发明的实施方式。
[0075]
[第一实施方式]
[0076]
参照图1至图7来说明第一实施方式的振动元件1的结构、以及包括振动元件1的光扫描装置100的结构。
[0077]
(光扫描装置的结构)
[0078]
本实施方式的光扫描装置100如图1所示，包括振动元件1、光源2及控制部3。光扫描装置100构成为，对投影面60照射光。
[0079]
振动元件1构成为，一边通过驱动源12所产生的板波来使可动部14(参照图2)摆动，一边通过设于可动部14的镜10来反射从光源2照射的光以使其投影至投影面60。关于振动元件1的详细结构将后述。
[0080]
光源2构成为输出光。具体而言，光源2构成为，经由透镜等而照射至振动元件1所包括的镜10。光源2例如包含发光二极管(light emitting diode，led)或激光二极管(laser diode，ld)等。本实施方式中，光源2为led。
[0081]
控制部3构成为，控制光源2对光的照射。而且，控制部3构成为，控制振动元件1。控制部3例如包含中央处理器(central processing unit，cpu)等处理器。
[0082]
(振动元件的结构)
[0083]
如图2所示，振动元件1包括可动部14、基板11、驱动源12及保持构件13。另外，本说明书中，将与可动部14的表面14a正交的方向设为z方向，将上方向设为z1方向，将下方向设为z2方向。而且，将在与z方向正交的面内彼此正交的两方向分别设为x方向以及y方向。将x方向中的其中一侧设为x1方向，将另一侧设为x2方向。而且，将y方向中的其中一侧设为y1方向，将另一侧设为y2方向。另外，x方向是权利要求的“第一方向”的一例。而且，z方向是权利要求的“第二方向”的一例。
[0084]
基板11包含一对支撑梁部11a、支撑部11b以及扭力梁部11c。而且，基板11包含配置镜10的可动部14。基板11例如包含平板形状的不锈钢材。
[0085]
一对支撑梁部11a各自具有第一端部111a以及第二端部111b。而且，第一端部111a各自被支撑部11b予以支撑。而且，第一实施方式中，在一对支撑梁部11a各自的第二端部111b，设有被固定于保持构件13的固定部11d。另外，固定部11d是一对支撑梁部11a的一部分。
[0086]
图2所示的示例中，通过加大一对支撑梁部11a的第二端部111b侧的x方向的宽度，从而形成固定部11d。而且，固定部11d例如通过螺固而保持于保持构件13。因此，在固定部11d，设有沿z方向贯穿的贯穿孔30。
[0087]
支撑部11b构成为，对一对支撑梁部11a各自的第一端部111a进行支撑。而且，在支撑部11b设有驱动源12。具体而言，支撑部11b具有支撑驱动源12的驱动源支撑部11e，驱动源12被配置于驱动源支撑部11e。驱动源支撑部11e与驱动源12同样，具有半圆形状。而且，支撑部11b在支撑梁部11a所延伸的方向(y方向)上未支撑一对支撑梁部11a的一侧的端部，具有保持部11f。支撑部11b例如通过螺固而保持于保持构件13。为此，在保持部11f，设有沿z方向贯穿的贯穿孔31。
[0088]
扭力梁部11c可摆动地支撑可动部14。扭力梁部11c沿第一方向(x方向)延伸。而且，扭力梁部11c具有柱状形状。而且，扭力梁部11c设有一对。一对扭力梁部11c的其中一个与一对支撑梁部11a的其中一个连接，另一个扭力梁部11c连接于另一个支撑梁部11a。而且，一对扭力梁部11c各自连接于可动部14。
[0089]
可动部14具有矩形形状。而且，可动部14是与基板11一体地形成。而且，可动部14经由扭力梁部11c而连接于一对支撑梁部11a。而且，本实施方式中，在可动部14的表面14a侧设有镜10。另外，图2所示的示例中，为了方便，对镜10标注影线而图示。
[0090]
驱动源12构成为，产生使可动部14摆动的板波。驱动源12例如包含压电元件。压电元件例如包含锆钛酸铅(lead zirconate titanate，pzt)以及用于对pzt施加电压的电极。图2所示的示例中，作为驱动源12，在基板11设有具有半圆形状的pzt。
[0091]
保持构件13构成为，保持支撑部11b。如图2所示，保持构件13保持支撑部11b中的、设在y方向上未支撑一对支撑梁部11a的一侧的端部的保持部11f。而且，保持构件13构成
为，分别保持一对支撑梁部11a。如图2所示，保持构件13构成为，保持一对支撑梁部11a中的固定部11d。关于保持构件13保持固定部11d的结构的详细将后述。
[0092]
(第一部分以及第二部分)
[0093]
如图3所示，固定部11d包含第一部分110a以及第二部分110b。固定部11d中的、在第一方向(x方向)上靠近可动部14一侧的部分为第一部分110a。而且，固定部11d中的、在第一方向上远离可动部14一侧的部分为第二部分110b。
[0094]
固定部11d通过调整相对于保持构件13的倾斜、沿着基板11的表面的固定面内的相对于保持构件13的固定位置、以及固定面内的固定的方向中的任一者，从而以一对支撑梁部11a各自在扭力梁部11c所延伸的第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态而固定于保持构件13。另外，固定部11d的固定面内的固定的方向是指固定面内的固定部11d的旋转方向。第一实施方式中，固定部11d通过调整相对于保持构件13的倾斜，从而以一对支撑梁部11a各自在扭力梁部11c所延伸的第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态而固定于保持构件13。
[0095]
(固定部的倾斜)
[0096]
如图4所示，固定部11d以通过彼此朝相反方向扭曲来调整了相对于保持构件13的倾斜的状态而固定。具体而言，固定部11d是以固定部11d中的、在第一方向(x方向)上靠近可动部14一侧的第一部分110a以朝从可动部14的背面14b侧朝向表面14a侧的方向(z1方向)旋转的方式而扭曲的状态，或者以固定部11d中的、在第一方向上远离可动部14一侧的第二部分110b以朝从可动部14的表面14a侧朝向背面14b侧的方向(z2方向)旋转的方式而扭曲的状态，而固定于保持构件13。图4所示的示例中，固定部11d以第一部分110a以朝从可动部14的背面14b侧朝向表面14a侧的方向旋转的方式而扭曲的状态固定于保持构件13。即，固定部11d在以绕y方向旋转的方式而扭曲的状态下固定于保持构件13。
[0097]
具体而言，x1方向侧的固定部11d以x1方向侧的第一部分110a朝沿着箭头40a的方向扭曲的状态而固定于保持构件13。由此，x1方向侧的支撑梁部11a(参照图3)朝沿着箭头40a的方向扭曲。因此，对于x1方向侧的支撑梁部11a，产生箭头41a所示的方向的力，因此对于扭力梁部11c，在第一方向上朝远离可动部14的方向(x1方向)施加张力。
[0098]
而且，x2方向侧的固定部11d以x2方向侧的第一部分110a朝沿着箭头40b的方向扭曲的状态而固定于保持构件13。由此，x2方向侧的支撑梁部11a(参照图3)朝沿着箭头40b的方向扭曲。因此，对于x2方向侧的支撑梁部11a，产生箭头41b所示的方向的力，因此对于扭力梁部11c，在第一方向上朝远离可动部14的方向(x2方向)施加张力。
[0099]
而且，第一实施方式中，固定部11d以支撑梁部11a朝使扭力梁部11c中的连接于可动部14的端部突出至可动部14的表面14a侧的方向扭曲的状态而固定于保持构件13。另外，图4所示的示例中，突出至表面14a侧的方向为z1方向。
[0100]
(抵接部的结构)
[0101]
接下来，参照图5以及图6来说明第一实施方式的抵接部15的结构。
[0102]
如图5所示，保持构件13包含基台13a以及抵接部15。抵接部15以从基台13a突出至可动部14的表面14a侧(z1方向侧)的方式而形成。抵接部15被设在保持构件13中的、y2方向侧的端部。而且，抵接部15被设在保持构件13的y2方向侧的端部中的、x1方向侧以及x2方向侧的两处。图5所示的示例中，抵接部15是与保持构件13一体地形成。而且，抵接部15具有与
固定部11d抵接的抵接面15a。而且，抵接面15a包含第一抵接部分15b与第二抵接部分15c。抵接面15a中的在第一方向(x方向)上靠近可动部14一侧的部分为第一抵接部分15b。而且，抵接面15a中的在第一方向上远离可动部14一侧的部分为第二抵接部分15c。
[0103]
如图6所示，抵接面15a倾斜。具体而言，抵接面15a以下述方式倾斜，即，第一抵接部分15b与第二抵接部分15c在与可动部14的表面14a正交的第二方向(z方向)上处于互不相同的位置。第一实施方式中，抵接面15a以第一抵接部分15b较第二抵接部分15c处于z1方向侧的位置的方式而倾斜。而且，第一实施方式中，抵接面15a以倾斜角度为角度θ1的方式而倾斜。所谓倾斜角度，是指沿着可动部14的表面14a的面与抵接面15a之间的角度。
[0104]
(固定部相对于保持构件的倾斜)
[0105]
如图7所示，固定部11d是以相对于基台13a倾斜的状态而固定。具体而言，固定部11d以抵接于抵接面15a的状态而固定。
[0106]
由于抵接面15a以第一抵接部分15b较第二抵接部分15c处于z1方向侧的位置的方式而倾斜，因此通过使固定部11d以抵接于抵接面15a的状态而固定，从而使固定部11d以第一部分110a较第二部分110b处于z1方向侧的位置的方式而倾斜。另外，第一实施方式中，抵接面15a的倾斜角度以角度θ1而倾斜，因此固定部11d的倾斜角度也以角度θ1而倾斜。另外，所谓固定部11d的倾斜角度，是指沿着可动部14的表面14a的面与固定部11d的表面110c之间的角度。
[0107]
(第一实施方式的效果)
[0108]
第一实施方式中，能够获得如下所述的效果。
[0109]
第一实施方式中，如上所述，振动元件1包括：可动部14；金属制的基板11，包含各自具有第一端部111a及第二端部111b的一对支撑梁部11a、支持一对支撑梁部11a各自的第一端部111a的支撑部11b、以及可摆动地支撑可动部14的扭力梁部11c；驱动源12，设于支撑部11b，产生使可动部14摆动的板波；以及保持构件13，保持基板11，在一对支撑梁部11a各自的第二端部111b，设有被固定于保持构件13的固定部11d，固定部11d通过调整相对于保持构件13的倾斜，从而以一对支撑梁部11a各自在扭力梁部11c所延伸的第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态而固定于保持构件13。
[0110]
由此，通过调整固定部11d相对于保持构件13的固定方式，从而无须通过成膜而在支撑梁部11a设置用于对扭力梁部11c施加张力的构件，便能够在第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加(赋予)张力。其结果，无须在扭力梁部11c进行成膜，便能够对扭力梁部施加张力，因此与通过制造工序复杂化的成膜来对扭力梁部11c形成施加张力的构件的结构相比较，既能抑制制造工序复杂化，又能抑制可动部14产生摆动以外的位移。
[0111]
而且，第一实施方式中，如上所述，固定部11d以彼此朝相反方向扭曲来调整了相对于保持构件13的倾斜的状态而固定，或者以通过一对支撑梁部11a彼此朝相反方向弯曲来调整了固定面内的相对于保持构件13的固定位置的状态而固定。由此，通过固定部11d彼此朝相反方向扭曲，从而支撑梁部11a彼此朝相反方向扭曲，因此能够容易地经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加张力。其结果，能够容易地经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加张力，因此既能抑制制造工序复杂化，又能容易地抑制可动部14产生摆动以外的位移。
[0112]
而且，第一实施方式中，如上所述，固定部11d是以固定部11d中的在第一方向(x方
向)上靠近可动部14一侧的第一部分110a以朝从可动部14的背面14b侧朝向表面14a侧的方向(z1方向)旋转的方式而扭曲的状态，而固定于保持构件13。由此，通过使固定部11d的第一部分110a朝从可动部14的背面14b侧朝向表面14a侧的方向扭曲，从而能够容易且切实地在第一方向上对扭力梁部11c施加远离可动部14的方向的张力。其结果，能够容易且切实地经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加张力，因此既能抑制制造工序复杂化，又能更容易地抑制可动部14产生摆动以外的位移。
[0113]
而且，第一实施方式中，如上所述，在固定部11d以扭曲的状态固定于保持构件13的情况下，保持构件13包含具有与固定部11d抵接的抵接面15a的抵接部15，抵接面15a以下述方式而倾斜，即，在第一方向(x方向)上靠近可动部14一侧的第一抵接部分15b、与在第一方向上远离可动部14一侧的第二抵接部分15c在与可动部14的表面正交的第二方向(z方向)上处于互不相同的位置。由此，能够容易地使抵接面15a倾斜，因此通过使固定部11d以抵接于抵接面15a的状态而固定，从而能够容易地将固定部11d扭曲的方向设为相反方向。其结果，能够以成为在第一方向上由一对支撑梁部11a对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态的方式，而容易地将固定部11d固定至保持构件13。
[0114]
而且，第一实施方式中，如上所述，固定部11d以支撑梁部11a朝使扭力梁部11c中的连接于可动部14的端部突出至可动部14的表面14a侧的方向扭曲的状态而固定于保持构件13。由此，除了能够在第一方向上对扭力梁部11c施加远离可动部14的方向的张力以外，还能够对可动部14的表面14a侧施加张力。其结果，例如在将可动部14的表面14a朝垂直方向的上方向配置的情况下，通过对可动部14的表面14a侧施加的张力，能够抑制因可动部14的自重产生的可动部14的下沉，因此能够进一步抑制可动部14的摆动以外的位移。
[0115]
[第二实施方式]
[0116]
参照图8以及图9来说明第二实施方式。第二实施方式的振动元件101(参照图8)与所述第一实施方式的振动元件1的不同之处在于，取代保持构件13而包括保持构件130。另外，图中，对于与所述第一实施方式同样的结构的部分标注了同一符号。
[0117]
如图8所示，第二实施方式的振动元件101包括保持构件130。保持构件130取代所述第一实施方式的抵接部15而包含与保持构件130独立地设置的抵接构件150。抵接构件150是金属制或树脂制的具有柱状形状的构件。第二实施方式中，抵接构件150为金属制。抵接构件150具有与固定部11d抵接的抵接面150a。
[0118]
而且，第二实施方式中，振动元件101包括能够对抵接面150a的倾斜角度进行调整的固定角度调整机构16。另外，如图8所示，第二实施方式中，抵接构件150以及固定角度调整机构16是在保持构件130的y2方向侧且x1方向侧设有一个，且在x2方向侧设有一个，合计设有两个。
[0119]
固定角度调整机构16包含螺丝构件16a。固定角度调整机构16构成为，通过松开螺丝构件16a，从而能够使抵接构件150朝绕轴线ax的旋转方向旋转。而且，固定角度调整机构16构成为，在使抵接构件150朝绕轴线ax的旋转方向旋转后，通过紧固螺丝构件16a，从而能够固定抵接面150a的倾斜角度。
[0120]
图9是从y2方向侧观察抵接构件150的示意图。如图9所示，第二实施方式中，以通过固定角度调整机构16来使抵接构件150的倾斜角度以角度θ2倾斜的状态而固定。具体而言，抵接面150a以第一抵接部分150b较第二抵接部分150c位于z1方向侧的方式而倾斜。另
外，图9所示的示例中，图示了x2方向侧的抵接构件150以及固定角度调整机构16，但x1方向侧的抵接构件150以及固定角度调整机构16也为同样的结构。
[0121]
另外，第二实施方式的振动元件101的其他结构与所述第一实施方式同样。
[0122]
(第二实施方式的效果)
[0123]
第二实施方式中，如上所述，抵接部包含与保持构件130独立地设置的抵接构件150，且振动元件还包括能够对抵接面150a的倾斜角度进行调整的固定角度调整机构16。由此，通过调整抵接面150a的倾斜角度，从而能够容易地调整固定部11d相对于保持构件130的倾斜。其结果，能够容易地调整对扭力梁部11c施加的张力的大小。
[0124]
另外，第二实施方式的其他效果与所述第一实施方式同样。
[0125]
[第三实施方式]
[0126]
参照图10以及图11来说明第三实施方式。第三实施方式的振动元件201(参照图10)与所述第一实施方式的振动元件1的不同之处在于，取代保持构件13而包括保持构件230，以及还包括第一分隔部构件17。另外，图中，对于与所述第一实施方式同样的结构的部分标注同一符号。
[0127]
如图10所示，振动元件201包括第一分隔部构件17、辅助分隔部构件18、螺丝构件19、垫圈构件20以及保持构件230。保持构件230包括抵接部250。抵接部250具有抵接面250a。与抵接面15a倾斜的所述第一实施方式的抵接部15不同，第三实施方式的抵接面250a不倾斜。
[0128]
图11是将x1方向侧以及x2方向侧的抵接部250中的x2方向侧的抵接部250放大的示意图。如图11所示，第一分隔部构件17是在与可动部14的表面14a正交的第二方向(z方向)上，设在固定部11d与抵接面250a之间的位置。图11所示的示例中，第一分隔部构件17设在第一方向(x方向)中的靠近可动部14一侧(x1方向侧)。
[0129]
而且，辅助分隔部构件18是在第一方向上与第一分隔部构件17设在相反侧。而且，辅助分隔部构件18在第二方向(z方向)上，在z2方向侧与固定部11d抵接，在z1方向侧与垫圈构件20抵接。
[0130]
螺丝构件19构成为，紧固至设于抵接部250的螺丝孔(未图示)，以对固定部11d进行固定。具体而言，螺丝构件19以通过垫圈构件20、第一分隔部构件17以及辅助分隔部构件18来使固定部11d倾斜的状态，而将固定部11d固定至保持构件230。
[0131]
垫圈构件20是在第二方向(z方向)上，设在辅助分隔部构件18与螺丝构件19之间。
[0132]
图11所示的示例是被固定于x1方向侧及x2方向侧的抵接部250中的x2方向侧的抵接部250的固定部11d，但被固定于x1方向侧的抵接部250的固定部11d也是与被固定于x2方向侧的抵接部250的固定部11d同样的结构。即，x1方向侧的第一分隔部构件17在x2方向侧且z方向上，设在固定部11d与抵接面250a之间的位置。由此，在以固定部11d的第一部分110a与第二部分110b在第二方向(z方向)上处于互不相同的位置的方式而倾斜的状态下，固定部11d固定于保持构件230(抵接部250)。第三实施方式中，与所述第一实施方式同样地，固定部11d在以第一部分110a较第二部分110b处于z1方向侧的方式而倾斜的状态下，固定于保持构件230。
[0133]
另外，第三实施方式的振动元件201的其他结构与所述第一实施方式同样。
[0134]
(第三实施方式的效果)
[0135]
第三实施方式中，如上所述，在固定部11d以扭曲的状态固定于保持构件230的情况下，保持构件230包含具有与固定部11d抵接的抵接面250a的抵接部250，振动元件还包括第一分隔部构件17，所述第一分隔部构件17在与可动部14的表面14a正交的第二方向(z方向)上，设在固定部11d与抵接面250a之间的位置，固定部11d以通过第一分隔部构件17来调整了相对于保持构件230的倾斜的状态而固定于保持构件230。由此，能够通过第一分隔部构件17来使固定部11d相对于保持构件230而倾斜。其结果，无须使抵接面250a倾斜，便能够容易地使固定部11d相对于保持构件230而倾斜。
[0136]
另外，第三实施方式的其他效果与所述第一实施方式同样。
[0137]
[第四实施方式]
[0138]
参照图12来说明第四实施方式。与以对固定部11d相对于保持构件13的倾斜进行了调整的状态而将固定部11d固定至保持构件13的所述第一实施方式不同，第四实施方式的振动元件301中，固定部11d是以沿着基板11的表面的固定面内的相对于保持构件13的固定位置经调整的状态而固定于保持构件13。另外，图中，对于与所述第一实施方式同样的结构的部分标注同一符号。
[0139]
第四实施方式中，固定部11d通过对沿着基板11的表面的固定面内的相对于保持构件13的固定位置进行调整，从而以一对支撑梁部11a各自在扭力梁部11c所延伸的第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态而固定于保持构件13。具体而言，固定部11d以下述状态而固定于保持构件13，即，一对支撑梁部11a以一对支撑梁部11a的第二端部111b彼此之间的距离d2比一对支撑梁部11a的第一端部111a彼此之间的距离d1大的方式而弯曲。
[0140]
如图12所示，第四实施方式中，固定部11d以下述状态固定于保持构件13，即，一对支撑梁部11a以一对支撑梁部11a的第二端部111b彼此之间的距离d2比一对支撑梁部11a的第一端部111a彼此之间的距离d1大的方式而弯曲，因此是以一对支撑梁部11a各自朝外侧张开的状态而固定。另外，图12所示的示例中，为了便于说明，强调了距离d1与距离d2的差异而示意性地图示。
[0141]
具体而言，x1方向侧的支撑梁部11a朝箭头42a所示的方向张开。因此，经由x1方向侧的支撑梁部11a，对扭力梁部11c施加箭头42a的方向的张力。而且，x2方向侧的支撑梁部11a朝箭头42b所示的方向张开。因此，经由x2方向侧的支撑梁部11a，对扭力梁部11c施加箭头42b的方向的张力。
[0142]
另外，第四实施方式的振动元件301的其他结构与所述第一实施方式同样。
[0143]
(第四实施方式的效果)
[0144]
第四实施方式中，如上所述，振动元件301包括：可动部14，反射光；金属制的基板11，包含各自具有第一端部111a及第二端部111b的一对支撑梁部11a、对一对支撑梁部11a各自的第一端部111a进行支撑的支撑部11b、以及可摆动地支撑可动部14的扭力梁部11c；驱动源12，设于支撑部11b，产生使可动部14摆动的板波；以及保持构件13，保持基板11，在一对支撑梁部11a各自的第二端部111b，设有被固定于保持构件13的固定部11d，固定部11d通过对沿着基板11的表面的固定面内的相对于保持构件13的固定位置进行调整，从而以一对支撑梁部11a各自在扭力梁部11c所延伸的第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态而固定于保持构件13。由此，通过一对支撑梁部11a朝相反方向弯
曲，从而能够容易地经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向(第一方向)施加张力。其结果，能够容易地经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加张力，因此既能抑制制造工序复杂化，又能抑制可动部14发生位移。
[0145]
而且，第四实施方式中，如上所述，固定部11d以通过一对支撑梁部11a彼此朝相反方向弯曲来调整了固定面内的相对于保持构件13的固定位置的状态而固定。由此，与所述第一实施方式的振动元件1同样地，能够容易地经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加张力，因此既能抑制制造工序复杂化，又能抑制可动部14发生位移。
[0146]
而且，第四实施方式中，如上所述，固定部11d以下述状态固定于保持构件13，即，一对支撑梁部11a以一对支撑梁部11a的第二端部111b彼此之间的距离d2比一对支撑梁部11a的第一端部111a彼此之间的距离d1大的方式而弯曲。由此，与所述第一实施方式的振动元件1同样地，能够容易且切实地经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加张力，因此既能抑制制造工序复杂化，又能更容易地抑制可动部14发生位移。
[0147]
另外，第四实施方式的其他效果与所述第一实施方式同样。
[0148]
[第五实施方式]
[0149]
参照图13以及图14来说明第五实施方式。第五实施方式的振动元件401(参照图13)与所述第一实施方式的振动元件1的不同之处在于，取代保持构件13而包括保持构件330。另外，图中，对于与所述第一实施方式同样的结构的部分标注同一符号。
[0150]
第五实施方式中，振动元件401包括保持构件330。而且，第五实施方式中，固定部11d通过调整固定面内的固定的方向，从而以一对支撑梁部11a各自在扭力梁部11c所延伸的第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态而固定于保持构件13。而且，第五实施方式中，包含对一对固定部11d的其中一个进行固定的第一螺丝构件22a、以及对一对固定部11d的另一个进行固定的第二螺丝构件22b。
[0151]
如图13所示，在保持构件330，设有供第一螺丝构件22a紧固的第一螺丝孔21a、以及供第二螺丝构件22b紧固的第二螺丝孔21b。第一螺丝孔21a以及第二螺丝孔21b构成为，紧固第一螺丝构件22a时经由其中一个固定部11d而施加至一对支撑梁部11a的其中一个的力、以及紧固第二螺丝构件22b时经由另一个固定部11d而施加至一对支撑梁部11a的另一个的力各自成为在第一方向(x方向)上远离可动部14的方向。图13所示的示例中，第一螺丝孔21a以及第二螺丝孔21b构成为，第一螺丝构件22a的紧固方向以及第二螺丝构件22b的紧固方向互不相同。具体而言，对于第一螺丝孔21a，朝箭头43a所示的方向形成有螺丝孔。箭头43a所示的方向是在从可动部14的表面14a(参照图2)侧(z1方向侧)观察的情况下为顺时针的方向。而且，对于第二螺丝孔21b，朝箭头43b所示的方向形成有螺丝孔。箭头43b所示的方向是在朝向z2方向观察可动部14的表面14a(参照图2)侧(z1方向侧)的情况下为逆时针的方向。
[0152]
如图14所示，固定部11d各自通过第一螺丝构件22a以及第二螺丝构件22b而固定于保持构件330。第一螺丝构件22a被紧固至第一螺丝孔21a。因此，第一螺丝构件22a的紧固方向(紧固扭矩所作用的方向)成为箭头43a所示的方向。因此，x1方向侧的固定部11d以朝箭头43a所示的方向旋转的方向而固定于保持构件330。换言之，x1方向侧的固定部11d伴随第一螺丝构件22a的紧固，朝箭头43a所示的方向旋转并被固定于保持构件13。由于x1方向侧的固定部11d朝箭头43a所示的方向旋转并被固定于保持构件330，因此x1方向侧的支撑
梁部11a的位置朝x1方向侧偏离。由此，在x1方向侧的支撑梁部11a中，在箭头44a所示的方向上产生力。因此，对于x1方向侧的扭力梁部11c，朝箭头44a所示的方向施加张力。
[0153]
而且，第二螺丝构件22b被紧固至第二螺丝孔21b。因此，第二螺丝构件22b的紧固方向成为箭头43b所示的方向。因此，x2方向侧的固定部11d以朝箭头43b所示的方向旋转的方向而固定于保持构件330。换言之，x2方向侧的固定部11d伴随第二螺丝构件22b的紧固，而朝箭头43b所示的方向旋转并被固定于保持构件330。由于x2方向侧的固定部11d朝箭头43b所示的方向旋转并被固定于保持构件330，因此x2方向侧的支撑梁部11a的位置朝x2方向侧偏离。由此，在x2方向侧的支撑梁部11a中，在箭头44b所示的方向上产生力。因此，对于x2方向侧的扭力梁部11c，朝箭头44b所示的方向施加张力。
[0154]
另外，第五实施方式的振动元件401的其他结构与所述第一实施方式同样。
[0155]
(第五实施方式的效果)
[0156]
第五实施方式中，如上所述，振动元件401包括：可动部14，反射光；金属制的基板11，包含各自具有第一端部111a及第二端部111b的一对支撑梁部11a、对一对支撑梁部11a各自的第一端部111a进行支撑的支撑部11b、以及可摆动地支撑可动部14的扭力梁部11c；驱动源12，设于支撑部11b，产生使可动部14摆动的板波；以及保持构件330，保持基板11，在一对支撑梁部11a各自的第二端部111b，设有被固定于保持构件330的固定部11d，固定部11d通过调整固定面内的固定的方向，从而以一对支撑梁部11a各自在扭力梁部11c所延伸的第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态而固定于保持构件330。由此，与所述第一实施方式的振动元件1同样，在第五实施方式的振动元件401中，也既能抑制制造工序复杂化，又能抑制可动部14发生位移。
[0157]
而且，第五实施方式中，如上所述，包含对一对固定部11d的其中一个进行固定的第一螺丝构件22a、以及对一对固定部11d的另一个进行固定的第二螺丝构件22b，在保持构件330，设有供第一螺丝构件22a紧固的第一螺丝孔21a、以及供第二螺丝构件22b紧固的第二螺丝孔21b，第一螺丝孔21a以及第二螺丝孔21b构成为，紧固第一螺丝构件22a时经由其中一个固定部11d而对一对支撑梁部11a的其中一个施加的力、与紧固第二螺丝构件22b时经由另一个固定部11d而对一对支撑梁部11a的另一个施加的力成为在第一方向(x方向)上远离可动部14的方向。
[0158]
由此，通过第一螺丝构件22a以及第二螺丝构件22b来分别固定一对固定部11d，由此，在第一方向(x方向)上对一对支撑梁部11a分别施加远离可动部14的方向的力，因此能够容易地使一对支撑梁部11a各自的位置在第一方向(x方向)上朝远离可动部14的位置变化。其结果，能够容易地经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c施加在第一方向上远离可动部14的方向的张力。而且，通过调整第一螺丝构件22a以及第二螺丝构件22b的紧固情况(螺丝构件的角度)，从而能够容易地调整固定面内的固定部11d所固定的方向。其结果，通过调整固定部11d所固定的方向，能够使固定面内的一对支撑梁部11a的位置容易地变化，因此能够容易地调整经由支撑梁部11a对扭力梁部11c施加的张力。
[0159]
另外，第五实施方式的其他效果与所述第一实施方式同样。
[0160]
[变形例]
[0161]
另外，应认为，此次公开的实施方式在所有方面仅为例示而非限制者。本发明的范围是由权利要求而非所述实施方式的说明所示，还包含与权利要求均等的含义以及范围内
的所有变更(变形例)。
[0162]
例如，所述第二实施方式中，表示了通过固定角度调整机构16将抵接构件150直接设于保持构件130的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，也可像图15所示的第二实施方式的变形例的振动元件102那样，还包括第二分隔部构件23。
[0163]
第二实施方式的变形例中，抵接构件150构成为，通过第二分隔部构件23，能够调整支撑梁部11a所延伸的方向(y方向)上的固定部11d的固定位置。
[0164]
如图16所示，第二分隔部构件23具有平板形状。而且，在第二分隔部构件23，设有沿x方向延伸的切口23a。图16所示的第二分隔部构件23是设在x2方向侧的抵接构件150与保持构件130之间，因此切口23a设在x1方向侧。另外，虽未图示，但在设于x1方向侧的第二分隔部构件23，在x2方向侧设置切口23a。切口23a嵌至螺丝构件16a，从而设在抵接构件150与保持构件130之间。
[0165]
第二实施方式的变形例中，如上所述，还包括第二分隔部构件23，所述第二分隔部构件23在支撑梁部11a所延伸的方向上，配置在抵接部(抵接构件150)与保持构件130之间，抵接部构成为，通过第二分隔部构件23，能够对支撑梁部11a所延伸的方向(y方向)上的固定部11d的固定位置进行调整。由此，能够在支撑梁部11a所延伸的方向上对固定部11d的固定位置进行调整，因此即使在产生了基板11以及保持构件130中产生的制造时的公差的情况下，也能够降低装配时的固定部11d的固定位置的误差。其结果，能够容易地制造振动元件102。
[0166]
而且，所述第四实施方式中，表示了在固定部11d设有贯穿孔30的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，也可像图17所示的第四实施方式的变形例的振动元件302那样，在固定部11d取代贯穿孔30而设置固定位置调整部24。
[0167]
如图17所示，固定位置调整部24构成为，在固定部11d的厚度方向(z方向)上贯穿固定部11d，并且沿着第一方向(x方向)而延伸。而且，如图18所示，固定部11d以通过插通固定位置调整部24的固定构件26来进行了固定面内的位置调整的状态而固定于保持构件13。另外，固定构件26例如包含螺丝构件。
[0168]
第四实施方式的变形例中，如上所述，在以支撑梁部11a弯曲的状态固定于保持构件13的情况下，固定部11d具有固定位置调整部24，所述固定位置调整部24在固定部11d的厚度方向(z方向)上贯穿固定部11d，并且沿着第一方向(x方向)延伸，固定部11d以通过插通固定位置调整部24的固定构件26来进行了固定面内的位置调整的状态而固定于保持构件13。由此，固定位置调整部24沿第一方向延伸，因此能够容易地调整将固定部11d固定于保持构件13时的第一方向上的第二端部111b彼此之间的距离d2(参照图12)。其结果，能够容易地调整经由支撑梁部11a来对扭力梁部11c施加的张力的大小。
[0169]
而且，所述第一实施方式中，表示了下述结构的示例，即，固定部11d以在第一方向(x方向)上靠近可动部14一侧的第一部分110a以朝从可动部14的背面14b侧朝向表面14a侧的方向(z1方向)旋转的方式扭曲的状态而固定，但本发明并不限于此。例如，固定部11d也可以下述状态固定于保持构件13，即，固定部11d中的在第一方向上远离可动部14一侧的第二部分110b以朝从可动部14的表面14a侧朝向背面14b侧的方向(z2方向)旋转的方式而扭曲。
[0170]
而且，所述第一实施方式至第五实施方式中，表示了下述结构的示例，即，以支撑
梁部11a朝使扭力梁部11c的端部中的连接于可动部14的端部突出至可动部14的表面14a侧的方向扭曲的状态而固定于保持构件13，但本发明并不限于此。例如，支撑梁部11a也可不朝使连接于可动部14的端部突出至可动部14的表面14a侧的方向扭曲。
[0171]
而且，所述第一实施方式至第五实施方式中，表示了设有多个抵接部15或抵接构件150的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，抵接部15或抵接构件150只要一体地构成，且在保持构件的x1方向侧以及x2方向侧具有抵接面即可。
[0172]
而且，所述第一实施方式至第五实施方式中，表示了固定部11d通过螺丝构件而固定于保持构件13的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，固定部11d也可通过粘合剂等而固定于保持构件13。固定部11d只要通过调整相对于保持构件13的倾斜、沿着基板11的表面的固定面内相对于保持构件13的固定位置、以及固定面内的固定的方向中的任一个，从而以一对支撑梁部11a各自在扭力梁部11c所延伸的第一方向上对扭力梁部11c朝远离可动部14的方向施加有张力的状态而固定于保持构件13，则固定部11d的固定方法为任何方法皆可。
[0173]
而且，所述第一实施方式至第三实施方式中，表示了固定部11d的第一部分110a较第二部分110b配置在z1方向侧的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，也可构成为，第一部分110a较第二部分110b而配置在z2方向侧。
[0174]
而且，所述第三实施方式中，表示了第一分隔部构件17在第一方向(x方向)上较辅助分隔部构件18配置在靠近可动部14一侧的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，第一分隔部构件17也可在第一方向上较辅助分隔部构件18配置在远离可动部14的一侧。
[0175]
而且，所述第三实施方式中，表示了包括第一分隔部构件17与辅助分隔部构件18的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，也可不包括辅助分隔部构件18。但是，在未设置辅助分隔部构件18的结构的情况下，若利用螺丝构件来对固定部11d进行固定，则无法稳定地固定。因此，在利用螺丝构件来对固定部11d进行固定的情况下，优选设置辅助分隔部构件18。或者，在未设置辅助分隔部构件18的结构的情况下，优选通过粘合剂等来对固定部11d进行固定。
[0176]
而且，所述第一实施方式至第五实施方式中，作为配置于可动部14的构件，表示了使用镜10的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，也可在可动部14配置透镜。
[0177]
而且，所述第一实施方式至第五实施方式中，作为配置于可动部14的构件，表示了使用镜10的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，也可在可动部14配置发光元件。
[0178]
而且，所述第一实施方式至第五实施方式中，作为配置于可动部14的构件，表示了使用镜10的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，也可在可动部14配置受光元件。而且，也可在可动部14配置发光元件与受光元件这两者。
[0179]
而且，所述第一实施方式至第五实施方式中，作为配置于可动部14的构件，表示了使用镜10的结构的示例，但本发明并不限于此。例如，也可在可动部14配置气体或与气体发生反应的酶。