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一种用于测试片连续抓取机械手的制作方法

2021-12-04 02:41:00 来源:中国专利 TAG:


1.本发明涉及测试片领域,具体是一种用于测试片连续抓取机械手。


背景技术:

2.测试片是指用于加工工艺检测、区域和加工洁净度检测的硅片。等级比机械测试片高,比正片低。
3.现有技术中,能够快速的安装拆卸框型测试片,同时能够对框型测试片进行锁紧限位,防止框型测试片移动,整体结构通过安装轴便于更换拆卸,但是现有技术不能够起到对测试片进行转移的目的,同时不能够对转移的行程和行程初始位置和末端位置进行控制,所以现有技术有较大的改进空间。


技术实现要素:

4.本发明提供一种用于测试片连续抓取机械手,解决了上述背景技术中所提出的问题。
5.为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种用于测试片连续抓取机械手,包括安装座,所述安装座固定连接连接机构;安装座固定连接换位组件,所述换位组件包括位移机构、连杆机构和换位杆机构,位移机构和换位杆机构均设在安装座上,连杆机构设置在位移机构和换位杆机构之间,位移机构用以调整连杆机构的位置,连杆机构用以驱动换位杆机构摆动;换位杆机构固定连接第一电机;第一电机输出轴固定连接电动推杆;电动推杆固定连接抓取箱机构;抓取箱机构固定连接压紧机构;压紧机构固定连接抓取轮机构。
6.作为本发明的一种优选技术方案,所述连接机构包括固定于安装座上的连接套,连接套螺纹连接连接螺栓。
7.作为本发明的一种优选技术方案,所述位移机构包括固定于安装座上的第二电机,第二电机输出轴固定连接第一螺纹杆,第一螺纹杆转动连接位移固定座,位移固定座和安装座固定连接,第一螺纹杆螺纹连接位移块,位移块和安装座滑动连接。
8.作为本发明的一种优选技术方案,所述连杆机构包括固定于位移块上的第三电机,第三电机输出轴固定连接第一转轴,第一转轴固定连接第一连杆,第一连杆转动连接第二转轴,第二转轴转动连接第二连杆,第二连杆转动连接第三转轴。
9.作为本发明的一种优选技术方案,所述换位杆机构包括和安装座转动连接的第四转轴,第四转轴固定连接换位杆,换位杆内固定连接第四电机,第四电机输出轴固定连接第二螺纹杆,第二螺纹杆和换位杆转动连接,第二螺纹杆螺纹连接移动块,移动块和换位杆滑
动连接,移动块和第三转轴转动连接。
10.作为本发明的一种优选技术方案,所述抓取箱机构包括固定于电动推杆上的箱体,箱体敞口处固定连接斜板,箱体内侧底部内嵌有若干个滚珠。
11.作为本发明的一种优选技术方案,所述压紧机构包括固定于箱体上的压紧套筒,压紧套筒内固定连接弹簧,弹簧远离压紧套筒的一端固定连接压紧块,压紧块和压紧套筒滑动连接,压紧块远离弹簧的一侧固定连接压紧杆,压紧杆穿过压紧套筒,并与压紧套筒滑动连接。
12.作为本发明的一种优选技术方案,所述抓取轮机构包括固定于压紧杆上的抓取轮座,抓取轮座固定连接第五电机支架,第五电机支架固定连接第五电机,第五电机输出轴固定连接抓取轮,抓取轮和抓取轮座转动连接。
13.本发明具有以下有益之处:本发明通过设置连接机构能够实现整体装置与其它部件的快速连接,通过设置连杆机构能够实现带动换位杆机构摆动,完成对测试片进行转移,结合位移机构和换位杆机构能够实现对摆动行程进行调节,通过设置压紧机构能够保证抓取轮机构贴合测试片抓取,增加了测试片抓取移动的效率,同时丰富了整体装置的功能。
附图说明
14.图1为一种用于测试片连续抓取机械手的结构示意图。
15.图2为用于测试片连续抓取机械手第二视角的结构示意图。
16.图3为用于测试片连续抓取机械手中压紧机构的剖视图。
17.图中:1、安装座;2、连接机构;201、连接套;202、连接螺栓;3、位移机构;301、第二电机;302、第一螺纹杆;303、位移固定座;304、位移块;4、连杆机构;401、第三电机;402、第一转轴;403、第一连杆;404、第二转轴;405、第二连杆;406、第三转轴;5、换位杆机构;501、第四转轴;502、换位杆;503、第四电机;504、第二螺纹杆;505、移动块;6、第一电机;7、电动推杆;8、抓取箱机构;801、箱体;802、斜板;803、滚珠;9、压紧机构;901、压紧套筒;902、弹簧;903、压紧块;904、压紧杆;10、抓取轮机构;1001、抓取轮座;1002、第五电机支架;1003、第五电机;1004、抓取轮;11、换位组件。
具体实施方式
18.以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明,并不用于限定本发明。
19.实施例1请参阅图1

3,一种用于测试片连续抓取机械手,包括安装座1,所述安装座1固定连接连接机构2;安装座1固定连接换位组件11,所述换位组件11包括位移机构3、连杆机构4和换位杆机构5,位移机构3和换位杆机构5均设在安装座1上,连杆机构4设置在位移机构3和换位杆机构5之间,位移机构3用以调整连杆机构4的位置,连杆机构4用以驱动换位杆机构5摆动;换位杆机构5固定连接第一电机6;第一电机6输出轴固定连接电动推杆7;
电动推杆7固定连接抓取箱机构8;抓取箱机构8固定连接压紧机构9;压紧机构9固定连接抓取轮机构10。
20.所述连接机构2包括固定于安装座1上的连接套201,连接套201螺纹连接连接螺栓202。
21.所述位移机构3包括固定于安装座1上的第二电机301,第二电机301输出轴固定连接第一螺纹杆302,第一螺纹杆302转动连接位移固定座303,位移固定座303和安装座1固定连接,第一螺纹杆302螺纹连接位移块304,位移块304和安装座1滑动连接。
22.具体的,开启第二电机301,此时带动第一螺纹杆302转动,使得位移块304沿安装座1滑动,用以改变换位杆机构5的初始位置和末端位置,以及对摆动行程进行调节。
23.所述连杆机构4包括固定于位移块304上的第三电机401,第三电机401输出轴固定连接第一转轴402,第一转轴402固定连接第一连杆403,第一连杆403转动连接第二转轴404,第二转轴404转动连接第二连杆405,第二连杆405转动连接第三转轴406。
24.具体的,开启第三电机401,第三电机401输出轴转动会带动第一转轴402转动,进而实现第一连杆403转动,此时通过第二转轴404实现带动第二连杆405摆动。
25.所述换位杆机构5包括和安装座1转动连接的第四转轴501,第四转轴501固定连接换位杆502,换位杆502内固定连接第四电机503,第四电机503输出轴固定连接第二螺纹杆504,第二螺纹杆504和换位杆502转动连接,第二螺纹杆504螺纹连接移动块505,移动块505和换位杆502滑动连接,移动块505和第三转轴406转动连接。
26.具体的,开启第四电机503,此时带动第二螺纹杆504转动,实现移动块505沿换位杆502移动,从而改变第三转轴406的位置,进而改变换位杆502的摆动角度。
27.所述抓取箱机构8包括固定于电动推杆7上的箱体801,箱体801敞口处固定连接斜板802,箱体801内侧底部内嵌有若干个滚珠803。
28.具体的,在抓取轮机构10的作用下,此时通过斜板802能够将测试片移至箱体801内,滚珠803的设置能够避免测试片移动过程中摩擦导致损坏。
29.所述抓取轮机构10包括固定于压紧杆904上的抓取轮座1001,抓取轮座1001固定连接第五电机支架1002,第五电机支架1002固定连接第五电机1003,第五电机1003输出轴固定连接抓取轮1004,抓取轮1004和抓取轮座1001转动连接。
30.实施例2请参阅图1

3,本实施例的其它内容与实施例1相同,不同之处在于:所述压紧机构9包括固定于箱体801上的压紧套筒901,压紧套筒901内固定连接弹簧902,弹簧902远离压紧套筒901的一端固定连接压紧块903,压紧块903和压紧套筒901滑动连接,压紧块903远离弹簧902的一侧固定连接压紧杆904,压紧杆904穿过压紧套筒901,并与压紧套筒901滑动连接。
31.本发明在实施过程中,首先通过连接机构2将整体机械手与其它部件连接,接下来当需要对抓取的行程进行调节时,此时开启位移机构3,从而实现对连杆机构4的位置进行调节,同时可以开启换位杆机构5,实现对连杆机构4的末端位置进行调节,控制换位杆机构5的行程以及初始位置和末端位置,当需要抓取时,此时开启连杆机构4,带动换位杆机构5摆动,进而带动抓取箱机构8摆动,摆动到测试片位置时,此时开启第一电机6和电动推杆7,
实现对抓取箱机构8的方位和高度进行调节,此时在压紧机构9的作用下,抓取轮机构10贴合在测试片上方,将测试片移至抓取箱机构8内。
32.本发明通过设置连接机构2能够实现整体装置与其它部件的快速连接,通过设置连杆机构4能够实现带动换位杆机构5摆动,完成对测试片进行转移,结合位移机构3和换位杆机构5能够实现对摆动行程进行调节,通过设置压紧机构9能够保证抓取轮机构10贴合测试片抓取,增加了测试片抓取移动的效率,同时丰富了整体装置的功能。
33.最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
再多了解一些

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