三轴中空精密运动台的制作方法

技术特征：
1.三轴中空精密运动台，其特征在于，包括：基座，其上设置有放待检测物质的区域，所述基座沿水平方向设置；三轴运动平台，其设置在所述基座上，所述三轴运动平台包括可沿水平面内相互垂直的两个方向移动的xy轴运动平台和可沿竖直方向移动的z轴运动平台，其中，所述xy轴运动平台和z轴运动平台上均设置有贯通孔，所述贯通孔均允许检测设备通过并到达所述放待检测物质的区域的上方。2.如权利要求1所述的三轴中空精密运动台，其特征在于，还包括：xy轴组件，其沿水平方向设置在所述放待检测物质的区域的上方，所述xy轴组件构成所述xy轴运动平台，其在水平面内沿互相垂直的两个方向进行往复移动。3.如权利要求1所述的三轴中空精密运动台，其特征在于，还包括：z轴组件，其沿竖直方向设置在所述放待检测物质的区域的一侧，所述z轴组件构成所述z轴运动平台，其沿竖直方向进行往复移动。4.如权利要求2所述的三轴中空精密运动台，其特征在于，所述xy轴组件包括沿竖直方向由下而上设置的底层组件、中层组件和上层组件的三片式结构，各层结构之间通过滑块和滑轨进行滑动连接，所述中层组件相对于所述底层组件在第一方向上进行往复直线移动，所述上层组件相对于所述中层组件在第二方向上进行往复直线移动，且所述第一方向与所述第二方向相互垂直。5.如权利要求4所述的三轴中空精密运动台，其特征在于，所述xy轴组件中，所述底层组件、中层组件和上层组件依次分别包括底层底板、中板和上负载板，所述底层底板、中板和上负载板上均设置有贯通孔。6.如权利要求5所述的三轴中空精密运动台，其特征在于，底层光栅读数头通过底轴光栅读数头安装座固定于底层底板上，底层标尺光栅固定在所述中板的下部一侧边上，所述底层标尺光栅与所述底层光栅读数头相匹配设置；上层标尺光栅固定在所述中板的上部一侧边上，上层光栅读数头通过上层读数头安装座固定在上负载板上，所述上层标尺光栅与所述上层光栅读数头相匹配设置。7.如权利要求1所述的三轴中空精密运动台，其特征在于，所述xy轴运动平台通过电机驱动进行相互垂直的两个方向上的移动，所述z轴运动平台通过气缸驱动进行竖直方向上的移动。8.如权利要求1所述的三轴中空精密运动台，其特征在于，所述z轴运动平台的两侧通过气缸来平衡z轴运动部分的重量。9.如权利要求1所述的三轴中空精密运动台，其特征在于，还包括：三个立柱，所述三个立柱的一端均固定在所述基座上，所述xy轴组件固定在所述三个立柱的另一端。10.如权利要求1所述的三轴中空精密运动台，其特征在于，所述基座为石材基座，各个运动平台主体框架采用花岗石材料经过精密研磨加工制成。

技术总结
本实用新型公开了三轴中空精密运动台，包括：基座，其上设置有放待检测物质的区域，基座沿水平方向设置；三轴运动平台，其设置在基座上，三轴运动平台包括可沿水平面内相互垂直的两个方向移动的XY轴运动平台和可沿竖直方向移动的Z轴运动平台，其中，XY轴运动平台和Z轴运动平台上均设置有贯通孔，贯通孔均允许检测设备通过并到达放待检测物质的区域的上方。本实用新型通过XYZ方向的大中孔结构，能够为大尺寸工件的光学检测提供充足的安装和检测空间，并满足大负载和大加速度及高精度的要求。并满足大负载和大加速度及高精度的要求。并满足大负载和大加速度及高精度的要求。


技术研发人员：肖国丰 陈志强
受保护的技术使用者：北京瑞邦精控科技有限公司
技术研发日：2021.09.16
技术公布日：2021/11/24