一种基于光电检测的半导体研磨设备的制作方法

技术特征：
1.一种基于光电检测的半导体研磨设备，包括支撑架（2）和工具柜（4），其特征在于：所述支撑架（2）靠外侧底部位置安装有制动底座（1），支撑架（2）底部靠中部位置安装有固定盘组件（3），所述制动底座（1）一侧安装有所述工具柜（4），所述工具柜（4）顶部安装有检测机构（5）。2.根据权利要求1所述一种基于光电检测的半导体研磨设备，其特征在于：所述制动底座（1）包括内腔（11）、支撑座（12）、制动电机（13）、聚液环桶（14）和支撑板（15），所述支撑座（12）安装于所述内腔（11）内部靠中间位置，所述制动电机（13）安装于支撑座（12）顶部内仓，且制动电机（13）输出轴通过轴承穿过支撑座（12）顶部内仓顶板连接于所述支撑板（15）底部，所述聚液环桶（14）安装于内腔（11）靠中部位置，且与内腔（11）靠中部位置侧壁固定连接。3.根据权利要求1所述一种基于光电检测的半导体研磨设备，其特征在于：所述固定盘组件（3）包括方形液压杆（31）、储液桶（32）、连接软管（33）、研磨盘（34）、通道口（35）和连接板（36），所述方形液压杆（31）安装于所述连接板（36）底部，所述储液桶（32）安装于方形液压杆（31）外套杆外侧，所述研磨盘（34）安装高于方形液压杆（31）内滑动杆底部，所述连接软管（33）一端连接于储液桶（32）底部，连接软管（33）另一端连接于研磨盘（34）顶部，所述通道口（35）开设于研磨盘（34）一侧。4.根据权利要求1所述一种基于光电检测的半导体研磨设备，其特征在于：所述检测机构（5）包括支撑折板（51）、电光传感器（52）和工业平板电脑（53），所述电光传感器（52）安装于所述支撑折板（51）顶部一端，所述工业平板电脑（53）安装于支撑折板（51）一侧。5.根据权利要求3所述一种基于光电检测的半导体研磨设备，其特征在于：所述储液桶（32）包括储液腔（321）、方形连接筒（322）、过渡腔（323）和潜水泵（324），所述过渡腔（323）设于所述储液腔（321）底部，所述方形连接筒（322）设于储液腔（321）和过渡腔（323）中部，所述潜水泵（324）安装于储液腔（321）内侧。6.根据权利要求2所述一种基于光电检测的半导体研磨设备，其特征在于：所述支撑座（12）顶部安装有滚珠（121）。7.根据权利要求2所述一种基于光电检测的半导体研磨设备，其特征在于：所述支撑板（15）顶部开设有限位槽（151），所述聚液环桶（14）底部两侧设有漏液管（141）。

技术总结
本实用新型公开了一种基于光电检测的半导体研磨设备，涉及半导体研磨设备技术领域，包括支撑架和工具柜，支撑架靠外侧底部位置安装有制动底座，支撑架底部靠中部位置安装有固定盘组件，制动底座一侧安装有工具柜，工具柜顶部安装有检测机构；制动底座包括内腔、支撑座、制动电机、聚液环桶和支撑板，支撑座安装于内腔内部靠中间位置，制动电机安装于支撑座顶部内仓，且制动电机输出轴通过轴承穿过支撑座顶部内仓顶板连接于支撑板底部，聚液环桶安装于内腔靠中部位置，且与内腔靠中部位置侧壁固定连接；不但可以将研磨液方便的收集起来，避免污染研磨设备放置区；而且，研磨完半导体硅片后，不需要将半导体硅片取出，在一定程度上简化了检测程序。简化了检测程序。简化了检测程序。


技术研发人员：胡仕刚 贡凯伦 高龙 唐志军
受保护的技术使用者：湖南科技大学
技术研发日：2021.05.27
技术公布日：2021/11/21