一种SF6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置的制作方法

一种sf6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置
技术领域
1.本实用新型涉及金属蒸镀装置领域，特别涉及一种sf6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置。


背景技术：

2.电子束顶锅金属蒸镀技术在半导体芯片制造工艺中被广泛应用，是现在大部分芯片生产加工用的主要金属蒸镀手段之一，现有的金属蒸镀装置在使用行星锅时通常采用齿轮传动的方式带动其自转，这种结构的行星锅不稳定，从而导致装置整体稳定性差，甚至会影响装置的使用寿命，因此，发明一种sf6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置来解决上述问题很有必要。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种sf6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种sf6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置，包括箱体，所述箱体的一端设置有活动门，所述箱体的内部顶端设置有圆盘，所述圆盘的顶端中部通过转轴和轴承与箱体的顶端内壁活动连接，所述圆盘的下方设置有第一环形板，所述第一环形板的上表面两侧均固定连接有第二环形板，所述第二环形板设置为倾斜状，两个所述第二环形板远离第一环形板的一端分别与圆盘的下表面两侧固定连接，所述箱体的上表面中部固定连接有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端与圆盘顶端固定的转轴固定连接，所述第二环形板内部设置有行星锅，所述行星锅的外弧侧边缘处固定连接有第一环形挡板，所述第二环形板的内壁开设有与第一环形挡板相适配的第一环形槽，所述第一环形挡板位于第一环形槽内部，所述行星锅的外弧侧中部固定连接有固定板，所述固定板远离行星锅的一侧设置有安装板。
5.优选的，所述固定板的一侧通过转轴和轴承与安装板的一侧表面活动连接，所述安装板的另一侧表面固定连接有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端与固定板一侧固定的转轴固定连接。
6.优选的，所述安装板的两端均固定连接有支撑柱，两个所述支撑柱远离安装板的一端分别与圆盘的一端和第一环形板的上表面固定连接。
7.优选的，所述第一环形挡板的外侧开设有多个呈环形阵列分布的第一滚珠槽，所述第一滚珠槽内部设置有与其相适配的第一滚珠，所述第一滚珠的外侧与第一环形槽的槽壁贴合。
8.优选的，所述第一环形板的外侧固定连接有第二环形挡板，所述箱体的内侧壁开设有与第二环形挡板相适配的第二环形槽，所述第二环形挡板位于第二环形槽内部
9.优选的，所述第二环形挡板的底端开设有多个呈环形阵列分布的第二滚珠槽，所述第二滚珠槽内部设置有与其相适配的第二滚珠，所述第二滚珠的底端与第二环形槽的槽
底贴合。
10.优选的，所述箱体的底端内壁中部固定连接有支撑块，所述支撑块的顶端中部开设有放置槽，所述放置槽内部设置有坩埚，所述坩埚内部设置有源。
11.本实用新型的技术效果和优点：
12.1、本实用新型通过设置两个有第二环形板，第二环形板的两端分别与圆盘和第一环形板固定连接，行星锅位于第二环形板内部，通过第一伺服电机带动圆盘转动，进而使第二环形板随之转动，使第二环形板内部的行星锅做公转运动，通过在行星锅的一端设置有固定板和安装板，安装板两端通过支撑柱与圆盘和第一环形板固定，通过第二伺服电机带动行星锅在第二环形板内部自转，大大的提高了本装置运行时行星锅的稳定性；
13.2、本实用新型通过设置有第一滚珠槽和第一滚珠，减小了第一环形挡板在第一环形槽内转动时的摩擦力，便于行星锅的自转，通过设置有第二环形挡板和第二环形槽，将第一环形板的位置固定，提高了本装置的稳定性，通过设置有第二滚珠槽和第二滚珠，减小了第二环形挡板在第二环形槽内部转动时的摩擦力，便于第一环形板的转动，进而便于行星锅公转，提高了本装置的实用性。
附图说明
14.图1为本实用新型的整体结构剖面示意图。
15.图2为本实用新型的第二环形板结构剖面示意图。
16.图3为本实用新型的图1中a处结构放大示意图。
17.图4为本实用新型的图2中b处结构放大示意图。
18.图5为本实用新型的行星锅立体示意图。
19.图中：1、箱体；2、圆盘；3、第一环形板；4、第二环形板；5、第一伺服电机；6、行星锅；7、第一环形挡板；8、第一环形槽；9、固定板；10、安装板；11、第二伺服电机；12、支撑柱；13、第一滚珠槽；14、第一滚珠；15、第二环形挡板；16、第二环形槽；17、第二滚珠槽；18、第二滚珠；19、支撑块；20、放置槽；21、坩埚；22、源。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.本实用新型提供了如图1
‑
5所示的一种sf6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置，如图1、图3和图5所示，包括箱体1，箱体1的一端设置有活动门，箱体1的内部顶端设置有圆盘2，圆盘2的顶端中部通过转轴和轴承与箱体1的顶端内壁活动连接，圆盘2的下方设置有第一环形板3，第一环形板3的上表面两侧均固定连接有第二环形板4，第二环形板4设置为倾斜状，两个第二环形板4远离第一环形板3的一端分别与圆盘2的下表面两侧固定连接，圆盘2转动时带动两个第二环形板4转动，进而通过第二环形板4带动第一伺服电机5转动，箱体1的上表面中部固定连接有第一伺服电机5，第一伺服电机5的输出端与圆盘2顶端固定的转轴固定连接，通过第一伺服电机5带动圆盘2转动，进而使第一环形板3和第二环形板4转动，
从而实现行星锅6的公转，第一环形板3的外侧固定连接有第二环形挡板15，箱体1的内侧壁开设有与第二环形挡板15相适配的第二环形槽16，第二环形挡板15位于第二环形槽16内部，第二环形挡板15和第二环形槽16配合将第一环形板3的位置固定，提高了第一环形板3转动时的稳定性，进而提高了行星锅6公转的稳定性，第二环形挡板15的底端开设有多个呈环形阵列分布的第二滚珠槽17，第二滚珠槽17内部设置有与其相适配的第二滚珠18，第二滚珠18的底端与第二环形槽16的槽底贴合，第二滚珠槽17和第二滚珠18配合减小了第二环形挡板15在第二环形槽16内部转动时受到的摩擦力，便于第一环形板3随圆盘2转动，箱体1的底端内壁中部固定连接有支撑块19，支撑块19的顶端中部开设有放置槽20，用于放置坩埚21，放置槽20内部设置有坩埚21，坩埚21内部设置有源22，通过电子束轰击坩埚21内的源22，源22内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅6内，从而均匀蒸发到固定在行星锅6内侧的硅晶圆上，实现金属的蒸镀。
22.如图2和图4所示，第二环形板4内部设置有行星锅6，行星锅6的外弧侧边缘处固定连接有第一环形挡板7，第二环形板4的内壁开设有与第一环形挡板7相适配的第一环形槽8，第一环形挡板7位于第一环形槽8内部，第一环形挡板7和第一环形槽8配合将行星锅6限位与第二环形板4内部，保证行星锅6在自转时的稳定性，行星锅6的外弧侧中部固定连接有固定板9，固定板9远离行星锅6的一侧设置有安装板10，固定板9的一侧通过转轴和轴承与安装板10的一侧表面活动连接，安装板10的另一侧表面固定连接有第二伺服电机11，第二伺服电机11的输出端与固定板9一侧固定的转轴固定连接，通过第二伺服电机11带动行星锅6转动，从而实现行星锅6的自转，安装板10的两端均固定连接有支撑柱12，两个支撑柱12远离安装板10的一端分别与圆盘2的一端和第一环形板3的上表面固定连接，通过两个支撑柱12将安装板10固定在圆盘2和第一环形板3之间，提高了本装置的稳定性，第一环形挡板7的外侧开设有多个呈环形阵列分布的第一滚珠槽13，第一滚珠槽13内部设置有与其相适配的第一滚珠14，第一滚珠14的外侧与第一环形槽8的槽壁贴合，第一滚珠槽13和第一滚珠14配合减小了第一环形挡板7在第一环形槽8内部转动时受到的摩擦力，从而便于第一环形挡板7转动，进而便于行星锅6的自转。
23.本实用新型工作原理：
24.本装置在使用时，首先打开位于箱体1一端设置的活动门，将源22放入坩埚21内部，然后将坩埚21放置于支撑块19上开设的放置槽20内部，关上箱门，通过第一伺服电机5带动圆盘2在箱体1内部转动，进而通过圆盘2带动第二环形板4和第一环形板3在箱体1内部转动，第一环形板3外侧设置的第二环形挡板15在第二环形槽16内部转动，实现行星锅6的公转，通过第二伺服电机11带动行星锅6在第二环形板4内部转动，实现行星锅6的自转，电子束轰击坩埚21内的源22，源22内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅6内，从而均匀蒸发到固定在行星锅6内侧的硅晶圆上，实现金属的蒸镀。
25.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。