表面声波谐振器装置的制作方法

技术特征：
1.一种表面声波谐振器装置，包括：
‑
压电衬底(100)；
‑
表面声波谐振器(110)，包括被设置在所述压电衬底上的叉指式换能器(111，112)；
‑
沟槽(130)，被设置在所述压电衬底内，所述沟槽面向所述表面声波谐振器(110)。2.根据权利要求1所述的表面声波谐振器装置，其中所述沟槽(130)与所述表面声波谐振器的边缘(115)相对地延伸。3.根据权利要求1或2所述的表面声波谐振器装置，其中所述沟槽与所述表面声波谐振器的所述叉指式换能器(111，112)的边缘相对地延伸。4.根据权利要求1至3中任一项所述的表面声波谐振器装置，其中所述沟槽(130)被配置为将从所述表面声波谐振器的边缘(115)离开的声波(141，142)反射回所述表面声波谐振器，并且被配置为在所述表面声波谐振器的边缘处实现反射波的相位，而使得在所述表面声波谐振器的边缘处的累加相位为零或基本上为零。5.根据权利要求1至4中任一项所述的表面声波谐振器装置，其中所述沟槽(130)设置在距所述表面声波谐振器的边缘一定距离处，所述沟槽具有到所述表面声波谐振器的边缘的最大距离(132)和最小距离(134)，最大距离和最小距离之间的差值为至少1/2λ，其中λ是所述表面声波谐振器的工作频率的波长。6.根据权利要求5所述的表面声波谐振器装置，其中λ是所述表面声波谐振器的所述叉指式换能器(111，112)的叉指(1111，1121)的间距(114)的两倍。7.根据权利要求1至6中任一项所述的表面声波谐振器装置，其中所述沟槽(330)包括一个或多个沟槽部分(331，332)，每个沟槽部分沿着与所述表面声波谐振器的边缘(315)形成角度(α1，α2)的方向延伸。8.根据权利要求7所述的表面声波谐振器装置，其中级联的沟槽部分(331，332)的所述角度(α1，α2)彼此不同。9.根据权利要求1至8中任一项所述的表面声波谐振器装置，进一步包括至少一个其它表面声波谐振器(120)，所述沟槽被设置在所述表面声波谐振器(110)和所述至少一个其它表面声波谐振器(120)之间。10.根据权利要求1至9中任一项所述的表面声波谐振器装置，其中所述压电层被设置在载体衬底(240)上，所述载体衬底具有边缘(652)，其中所述载体衬底的所述边缘被设置在所述沟槽(630)之下。11.根据权利要求1至9中任一项所述的表面声波谐振器装置，其中所述压电层被设置在载体衬底(240)上，所述载体衬底具有边缘(552)，其中所述沟槽(530)被设置在所述载体衬底的所述边缘(552)和所述表面声谐振器(510，511)的边缘(515，516)之间。12.根据权利要求1至9中任一项所述的表面声波谐振器装置，进一步包括载体衬底(240)以及被设置在所述载体衬底上的电介质温度补偿层(220)，其中所述压电层(210)被设置在所述温度补偿层(220)上。13.根据权利要求12所述的表面声波谐振器装置，其中所述压电层(210)在所述沟槽(215)内被去除以暴露出所述温度补偿层(220)。14.根据权利要求12所述的表面声波谐振器装置，其中所述压电层(210)和所述温度补偿层(220)在所述沟槽(215)内被去除。
15.根据权利要求1至14中任一项所述的表面声波谐振器装置，进一步包括包含所述表面声波谐振器的多个表面声波谐振器(710，711，712)，所述多个表面声波谐振器形成rf滤波器(701)，所述沟槽(730)被设置在所述rf滤波器(701)的所述多个表面声波谐振器附近。16.根据权利要求1至14中任一项所述的表面声波谐振器装置，进一步包括多个第一表面声波谐振器(710，711，712)以及多个第二表面声波谐振器(720，721，722，723)，所述多个第一表面声波谐振器(710，711，712)包含所述表面声波谐振器，所述多个第一表面声波谐振器形成第一rf滤波器(701)并且所述多个第二表面声波谐振器形成第二rf滤波器(702)，所述沟槽(730)被设置在所述多个第一表面声波谐振器和所述多个第二表面声波谐振器之间。17.一种通信设备(910)，包括：
‑
信号处理单元(920)；
‑
用于发射和/或接收rf信号的天线(940)；
‑
耦合在所述信号处理单元和所述天线之间的rf前端单元(930)，其中所述rf前端单元包括至少一个rf滤波器(931)，并且所述rf滤波器包括至少一个根据权利要求1至14中任一项所述的表面声波谐振器装置(932)。

技术总结
一种表面声波谐振器装置，包括压电衬底(100)和表面声波谐振器(110)，后者包括设置在该压电衬底(100)上的叉指式换能器(111，112)。沟槽(130)被设置在该压电衬底(100)内面向该谐振器(110)。沟槽(130)响应于从该表面声波谐振器泄漏的波(141，142)而导致反射波(143，144)。沟槽(130)被配置为使得反射声波(143，144)在谐振器(110)的边缘(115)处实现相位，使得在边缘(115)处接收的所有反射波的累积相位为零或基本为零，由此避免反射波与在谐振器内谐振的声波的相长干涉。由此，在谐振器之间的不期望的声耦合或者在压电衬底的边缘或者切割线处反射的波的影响得以减少。割线处反射的波的影响得以减少。割线处反射的波的影响得以减少。


技术研发人员：C
受保护的技术使用者：RF360欧洲有限责任公司
技术研发日：2020.03.30
技术公布日：2021/11/21