一种导电TeO的制作方法

技术特征：
1.一种导电teo
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旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：（1）将te粉末和teo2粉末混合均匀，得到混合料；（2）将石墨模具喷上脱模剂后再涂抹上一层氮化硼粉体，然后将步骤（1）得到的混合料装入石墨模具中进行热压，降温出炉，即得teo
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旋转靶材。2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，te粉末和teo2粉末的质量比为5～15%:85～95%。3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，te粉末和teo2粉末的粒度均为
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325目，纯度均为5n。4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，混合操作为装入球磨罐中进行球磨混合。5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，热压前还包括以下步骤：将装好料的石墨模具放入热压炉内。6.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，热压工艺为先将炉体抽真空至绝对真空度低于5 pa，然后升温到300～400℃，保温40～60min，继续升温到660～680℃，保温30～50min，然后开始加压，压力达到18～25mpa后，继续保温50～60 min。7.如权利要求6所述的制备方法，其特征在于，升温至300～400℃的升温速率为4~6℃/min，升温至660～680℃的升温速率为5~10℃/min，加压至18～25mpa的时间为30~50min。8.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，降温出炉操作为随炉降温至小于300℃时开始泄压，降温到室温后，出炉。9.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，还包括步骤（3），将步骤（2）所得的teo
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旋转靶材进行机械加工、研磨及抛光处理。10.一种导电teo
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旋转靶材，其特征在于，该靶材采用权利要求1
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9任一所述的teo
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旋转靶材的制备方法制备得到。

技术总结
本发明涉及一种导电TeO


技术研发人员：吴彩红 文崇斌
受保护的技术使用者：先导薄膜材料有限公司
技术研发日：2021.06.29
技术公布日：2021/11/19