一种籽晶切割用夹具的制作方法

1.本实用新型涉及籽晶加工设备技术领域，尤其涉及一种籽晶切割用夹具。


背景技术：

2.单晶硅是制造半导体硅器件的主要原料，广泛应用于制造大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等，但由于单晶硅晶体生长中成核是比较困难的一步，在单晶硅晶体生长过程中需要采用籽晶进行引导，籽晶实际上就是提供一个晶体比较容易继续生长的中心，籽晶要求选材要好，要选用晶向一致、无位错、无损伤、无应力的部分，一般取材部位与尾部要有足够距离，切割过程中不能有切割损伤，以免影响单晶硅晶体的生长，目前还没有专业的籽晶切割夹具，籽晶切割技术含量高，切割难度大，切割过程中一旦出现损伤，在晶体的生长过程就容易出现断裂，就会造成较大的经济损失。为此，我们提出一种籽晶切割用夹具。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种籽晶切割用夹具。
4.为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：
5.一种籽晶切割用夹具，包括底座，所述底座的顶部位于其中心处开设有放置槽，所述放置槽的表面活动设有两块通过若干夹紧弹簧与底座相连接的夹板，所述底座的一端设有限位器，底座的另一端设有由驱动器驱动的调节限位夹紧组件，所述调节限位夹紧组件包括活动安装于底座底部的且与驱动器相连接的滑移座，所述滑移座的一端通过连接杆固定连接有限位夹紧板，所述底座的底部固定设有罩设于驱动器外部的保护罩。
6.进一步的，所述夹板包括板体，所述板体的底部靠近其两端处设有与其一体成型的且与放置槽上的滑槽相配合的滑块，所述滑块的两侧设有与其一体成型的且与滑槽内壁的限位槽相配合的限位条。
7.进一步的，所述限位器包括固定于底座一端的托板，所述托板的顶部靠近其端部处固定设有挡块。
8.进一步的，所述滑移座包括两块与连接杆相固定的滑移板，两块所述滑移板之间通过与其一体成型的连接板相连接，所述连接板的顶部设有与其一体成型的且与底座底部的滑轨相配合的滑条，所述滑条的两侧设有与其一体成型的且与滑轨内部的卡槽相配合的卡条，所述连接板的底部位于其中心处设有与驱动器相螺接的连接挂耳a，所述连接挂耳a的两侧设有与驱动器活动连接的连接挂耳b。
9.进一步的，所述限位夹紧板为与底座相配合的且与连接杆相连接的“凹”型限位板。
10.进一步的，所述驱动器包括由电机驱动的且通过支座a安装于底座底部的螺杆，所述螺杆的两侧设有通过支座b安装于底座底部的光杆。
11.进一步的，所述保护罩的顶部位于其两侧处设有与连接板相配合的让位槽。
12.本实用新型使用时将待切割的籽晶置于放置槽内且位于两块夹板之间，使籽晶的一端抵接于限位器处，在夹紧弹簧的作用下将籽晶进行夹紧，驱动器驱动滑移座移动进而使限位夹紧板将籽晶的另一端进行夹紧固定，从四面将籽晶进行夹紧，从而达到固定籽晶的目的，避免在切割的过程中籽晶发生偏移而造成籽晶损伤的问题。
附图说明
13.此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本技术的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
14.图1是本实用新型使用时的整体结构示意图；
15.图2是本实用新型的整体结构示意图；
16.图3是本实用新型图2的部分结构示意图；
17.图4是本实用新型底座的结构示意图；
18.图5是本实用新型图4的另一个角度的结构示意图；
19.图6是本实用新型滑移座和限位夹紧板的结构示意图；
20.图7是本实用新型夹板的结构示意图。
21.图中标号说明：1
‑
保护罩、2
‑
让位槽、3
‑
滑移板、4
‑
连接板、5
‑
底座、6
‑
放置槽、7
‑
托板、8
‑
挡块、9
‑
籽晶、10
‑
板体、11
‑
夹紧弹簧、12
‑“
凹”型限位板、13
‑
连接杆、14
‑
支座a、15
‑
电机、16
‑
连接挂耳a、17
‑
滑轨、18
‑
卡槽、19
‑
支座b、20
‑
连接挂耳b、21
‑
光杆、22
‑
螺杆、23
‑
滑槽、24
‑
限位槽、25
‑
滑条、26
‑
卡条、27
‑
限位条、28
‑
滑块。
具体实施方式
22.下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本实用新型。
23.如图1至7所示，本实施例提供一种籽晶切割用夹具，包括底座5，所述底座5的顶部位于其中心处开设有放置槽6，所述放置槽6的表面活动设有两块通过若干夹紧弹簧11与底座5相连接的夹板，所述底座5的一端设有限位器，底座5的另一端设有由驱动器驱动的调节限位夹紧组件，所述调节限位夹紧组件包括活动安装于底座5底部的且与驱动器相连接的滑移座，所述滑移座的一端通过连接杆13固定连接有限位夹紧板，所述底座5的底部固定设有罩设于驱动器外部的保护罩1。
24.将待切割的籽晶9置于放置槽6内且位于两块夹板之间，使籽晶9的一端抵接于限位器处，在夹紧弹簧11的作用下将籽晶9进行夹紧，驱动器驱动滑移座移动进而使限位夹紧板将籽晶9的另一端进行夹紧固定，从四面将籽晶9进行夹紧，从而达到固定籽晶9的目的，避免在切割的过程中籽晶9发生偏移而造成籽晶9损伤的问题。
25.优选的，所述夹板包括板体10，所述板体10的底部靠近其两端处设有与其一体成型的且与放置槽6上的滑槽23相配合的滑块28，所述滑块28的两侧设有与其一体成型的且与滑槽23内壁的限位槽24相配合的限位条27。
26.在夹紧弹簧11的作用下板体10沿着滑槽23移动，将籽晶9进行夹紧，限位条27与限位槽24互相配合，避免板体10在移动的过程中发生偏移。
27.优选的，所述限位器包括固定于底座5一端的托板7，所述托板7的顶部靠近其端部处固定设有挡块8。
28.优选的，所述滑移座包括两块与连接杆13相固定的滑移板3，两块所述滑移板3之间通过与其一体成型的连接板4相连接，所述连接板4的顶部设有与其一体成型的且与底座5底部的滑轨17相配合的滑条25，所述滑条25的两侧设有与其一体成型的且与滑轨17内部的卡槽18相配合的卡条26，所述连接板4的底部位于其中心处设有与驱动器相螺接的连接挂耳a16，所述连接挂耳a16的两侧设有与驱动器活动连接的连接挂耳b20。
29.滑移板3通过连接杆4与限位夹紧板连接，在驱动器的驱动作用下带动限位夹紧板移动。
30.优选的，所述限位夹紧板为与底座5相配合的且与连接杆13相连接的“凹”型限位板12。
31.优选的，所述驱动器包括由电机15驱动的且通过支座a14安装于底座5底部的螺杆22，所述螺杆22的两侧设有通过支座b19安装于底座5底部的光杆21。
32.电机15驱动螺杆22转动，从而驱动连接板4沿着光杆21移动，达到带动“凹”型限位板12进行移动，将籽晶9进行夹紧。
33.优选的，所述保护罩1的顶部位于其两侧处设有与连接板4相配合的让位槽2。
34.让位槽2的设置可以避免妨碍连接板4移动。
35.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。