一种半导体制造用阀门密封连接装置的制作方法

1.本实用新型属于阀门领域，特别涉及一种半导体制造用阀门密封连接装置。


背景技术：

2.目前，阀门是流体输送系统中的控制部件，具有截止、调节、导流、防止逆流、稳压、分流或溢流泄压等功能,用于流体控制系统的阀门，从最简单的截止阀到极为复杂的自控系统中所用的各种阀门，其品种和规格相当繁多，阀门可用于控制空气、水、蒸汽、各种腐蚀性介质、泥浆、油品、液态金属和放射性介质等各种类型流体的流动。
3.但是，现有的阀门管道连接密封结构比较简单，在使用一段时间后管道还是会有出现侧漏的情况，并且一旦出现侧漏就需要直接更换掉旧的连接装置，成本较高，因此，现在亟需一种半导体制造用阀门密封连接装置。


技术实现要素：

4.针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种半导体制造用阀门密封连接装置，通过增加阀体、第一连接法兰、密封环以及密封连接圈，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.本实用新型的技术方案是这样实现的：一种半导体制造用阀门密封连接装置，包括阀体、第一连接法兰、密封环以及密封连接圈，所述阀体左侧表面设置有第二连接法兰，所述第一连接法兰贴在第二连接法兰左侧表面，所述第一连接法兰左侧表面设置有第一连接管，所述阀体右侧表面设置有第三连接法兰，所述第三连接法兰右侧表面贴有第四连接法兰，所述密封环设置有两个，两个所述密封环内侧表面边缘处均设置有边缘密封圈，两个所述密封环内侧表面中间均设置有锥形密封圈，所述密封连接圈设置有两个，两个所述密封连接圈上表面设置有第一内部密封圈，两个所述密封连接圈下表面设置有第二内部密封圈。
6.作为一优选的实施方式，多个所述紧固组件均由多个螺栓以及多个螺母组合构成，所述第二连接法兰与第一连接法兰之间通过紧固组件固定在一起，所述第四连接法兰与第三连接法兰之间通过紧固组件固定在一起，所述第二连接管设置在第四连接法兰右侧表面。
7.作为一优选的实施方式，所述第一连接法兰与第二连接法兰外部连接处开设有外部环形槽，所述第三连接法兰与第四连接法兰外部连接处开设有外部环形槽，两个所述外部环形槽内套有两个密封环，两个所述外部环形槽均由环形通槽以及锥形通槽构成。
8.作为一优选的实施方式，所述第一连接法兰与第二连接法兰内部连接处开设有内部环形槽，所述第三连接法兰与第四连接法兰内部连接处开设有内部环形槽，所述密封垫圈设置在两个内部环形槽内。
9.作为一优选的实施方式，所述第二内部密封圈、第一内部密封圈以及密封连接圈均位于内部环形槽内，并与密封垫圈相贴。
10.作为一优选的实施方式，所述第二内部密封圈直径比第一内部密封圈直径大。
11.采用了上述技术方案后，本实用新型的有益效果是：通过设置的密封垫圈、第一内部密封圈以及第二内部密封圈能对阀体与第一连接管以及第二连接管连接时进行初步密封，通过设置的密封环、锥形密封圈以及边缘密封圈能够对阀体与第一连接管以及第二连接管连接时进行再次密封，双层密封的设置能保证本装置内部不会产生泄露，便于其长时间工作。
附图说明
12.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
13.图1为本实用新型一种半导体制造用阀门密封连接装置的整体结构示意图。
14.图2为本实用新型一种半导体制造用阀门密封连接装置的内部环形槽位置示意图。
15.图3为本实用新型一种半导体制造用阀门密封连接装置的密封连接圈立体连接示意图。
16.图4为本实用新型一种半导体制造用阀门密封连接装置的密封环立体示意图。
17.图中，1
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阀体、2
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第一连接管、3
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第二连接管、4
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第一连接法兰、5
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第二连接法兰、6
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第三连接法兰、7
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第四连接法兰、8
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密封环、801
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锥形密封圈、802
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边缘密封圈、9
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外部环形槽、10
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紧固组件、11
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内部环形槽、12
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密封垫圈、13
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第一内部密封圈、14
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密封连接圈、15
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第二内部密封圈。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.请参阅图1至图4，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体制造用阀门密封连接装置，包括阀体1、第一连接法兰4、密封环8以及密封连接圈14，阀体1左侧表面设置有第二连接法兰5，第一连接法兰4贴在第二连接法兰5左侧表面，第一连接法兰4左侧表面设置有第一连接管2，阀体1右侧表面设置有第三连接法兰6，第三连接法兰6右侧表面贴有第四连接法兰7，密封环8设置有两个，两个密封环8内侧表面边缘处均设置有边缘密封圈802，两个密封环8内侧表面中间均设置有锥形密封圈801，密封连接圈14设置有两个，两个密封连接圈14上表面设置有第一内部密封圈13，两个密封连接圈14下表面设置有第二内部密封圈15。
20.多个紧固组件10均由多个螺栓以及多个螺母组合构成，第二连接法兰5与第一连接法兰4之间通过紧固组件10固定在一起，第四连接法兰7与第三连接法兰6之间通过紧固组件10固定在一起，第二连接管3设置在第四连接法兰7右侧表面，便于人们安装本装置。
21.第一连接法兰4与第二连接法兰5外部连接处开设有外部环形槽9，第三连接法兰6与第四连接法兰7外部连接处开设有外部环形槽9，两个外部环形槽9内套有两个密封环8，两个外部环形槽9均由环形通槽以及锥形通槽构成，能对本装置外部连接处进行密封。
22.第一连接法兰4与第二连接法兰5内部连接处开设有内部环形槽11，第三连接法兰6与第四连接法兰7内部连接处开设有内部环形槽11，密封垫圈12设置在两个内部环形槽11内，能对本装置内部部连接处进行密封。
23.第二内部密封圈15、第一内部密封圈13以及密封连接圈14均位于内部环形槽11内，并与密封垫圈12相贴，便于对第一连接法兰4与第二连接法兰5之间，以及第三连接法兰6与第四连接法兰7之间进行密封。
24.第二内部密封圈15直径比第一内部密封圈13直径大，便于人们的区分以及使用。
25.作为本实用新型的一个实施例：在实际使用时，将第一连接法兰4与第二连接法兰5连接在一起，使得第一连接法兰4与第二连接法兰5内部的密封垫圈12分别与一个第二内部密封圈15、一个第一内部密封圈13以及一个密封连接圈14贴在一起，再使用紧固组件10将第一连接法兰4与第二连接法兰5紧固在一起，然后在第一连接法兰4与第二连接法兰5外部连接处开设的外部环形槽9内套上一个密封环8，就能完成第一连接管2与阀体1之间的密封连接，阀体1与第二连接管3连接同上述步骤一样即可；通过设置的密封垫圈12、第一内部密封圈13以及第二内部密封圈15能对阀体1与第一连接管2以及第二连接管3连接时进行初步密封，通过设置的密封环8、锥形密封圈801以及边缘密封圈802能够对阀体1与第一连接管2以及第二连接管3连接时进行再次密封，双层密封的设置能保证本装置内部不会产生泄露，便于其长时间稳定工作。
26.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。