一种丝杠洁净化装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种应用于半导体行业的丝杠洁净化装置。


背景技术：

2.在半导体器件晶圆的制造过程中，其易收到外来物、灰尘粒子、金属离子、油污的影响而破坏表面结构，电子特性等的产品决定了其制造过程必须有洁净度的要求。
3.本技术人发现现有技术至少存在以下技术问题：
4.现有的晶圆制造设备中使用的多为开放型升降模组，也就是说丝杠及滑块模组暴露在空气中，由于丝杠需要保持润滑状态需定期施加润滑油，导致丝杠在运行时无法对颗粒的产生及油污的挥发进行管控及处理，容易将灰尘颗粒或油污杂质在转动过程中抛甩出去，导致洁净度不够，进而污染半导体产品。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种应用于半导体行业的丝杠洁净化装置，以解决现有技术中存在的丝杠暴露在空气中易将油污甩出污染半导体产品的技术问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供了以下技术方案：
7.本实用新型提供的一种丝杠洁净化装置，包括挡罩和排风组件，所述挡罩设置在丝杠甩油路径内，以将甩出油污阻挡；所述排风组件设置在所述挡罩旁侧，且其抽风口正对所述挡罩的开口处。
8.作为本实用新型的进一步改进，所述挡罩为中空筒体结构，围设在丝杠周侧，且在远离丝杠的一端具有开口。
9.作为本实用新型的进一步改进，所述挡罩高度等于或大于丝杠长度。
10.作为本实用新型的进一步改进，所述排风组件包括导流罩、抽风口和风扇机组，所述导流罩为两端封闭的中空筒体结构，与所述挡罩平行；所述抽风口的数量为至少一个，沿所述导流罩轴向依次设置，每个所述抽风口上设置有一个所述风扇机组，所述导流罩底部设置有排气管，所述排气管上设置有排气法兰。
11.作为本实用新型的进一步改进，所述导流罩高度不小于所述挡罩的高度。
12.作为本实用新型的进一步改进，所述排风组件还包括设置在所述导流罩内腔底部以将其顶部的空气抽向底部的排气风扇。
13.作为本实用新型的进一步改进，所述排气风扇的数量为两个，并排设置。
14.作为本实用新型的进一步改进，相邻的两个所述抽风口之间的距离相等或不等。
15.作为本实用新型的进一步改进，所述挡罩采用金属钣金件制成。
16.作为本实用新型的进一步改进，所述导流罩截面为矩形结构。
17.作为本实用新型的进一步改进，所述丝杠为重载大行程升降丝杠。
18.本实用新型与现有技术相比具有如下有益效果：
19.本实用新型提供的丝杠洁净化装置，通过在丝杠的甩油路径内设置挡罩，能够将丝杠甩出的油污进行阻挡，以避免扩散到外部环境中而造成产品的污染；通过在挡罩开口侧设置排风组件，不仅能将油污随空气抽出，减少甩溅到挡罩内的油污量，减少顺挡罩滴落到底部的油污，而且还能进一步的将容易产生油污泄露而污染产品的薄弱点消除实现了重载大行程升降丝杠模组的洁净化设计，解决了丝杠及滑块模组在运动过程中产生的颗粒及油污的处理问题。
附图说明
20.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
21.图1是本实用新型丝杠洁净化装置的主视图；
22.图2是本实用新型丝杠洁净化装置的侧视图；
23.图3是本实用新型丝杠洁净化装置的俯视截面图。
24.图中1、挡罩；11、开口；2、排风组件；21、抽风口；22、导流罩；23、风扇机组；24、排气管；25、排气法兰；26、排气风扇；100、丝杠。
具体实施方式
25.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。
26.实施例1：
27.如图1所示，本实用新型提供了一种丝杠洁净化装置，包括挡罩1和排风组件2，挡罩1设置在丝杠100甩油路径内，以将甩出油污阻挡；排风组件2设置在挡罩1旁侧，且其抽风口21正对挡罩1的开口11处。
28.具体的，挡罩1立在丝杠100旁侧，能将丝杠100高速旋转时从切线方向甩出的油污阻挡后收集，由于丝杠100上的螺母与其他部件连接，无法将挡罩1设置成全封闭结构，存在开口11，该开口11仍旧成为油污外散的污染点，故在，挡罩1开口11处设置排风组件2，通过排风组件2不仅能够将挡罩1的开口11处的污染点去除，能将开口处外散的油污收集排出，而且还能进一步减少油污在挡罩1上聚集，提高挡油效果，延长挡罩1使用寿命，持续保证挡油效果，也减少油污滴落到挡罩1底部。
29.本实用新型提供的丝杠洁净化装置，通过在丝杠的甩油路径内设置挡罩，能够将丝杠甩出的油污进行阻挡，以避免扩散到外部环境中而造成产品的污染；通过在挡罩开口侧设置排风组件，不仅能将油污随空气抽出，减少甩溅到挡罩内的油污量，减少顺挡罩滴落到底部的油污，而且还能进一步的将容易产生油污泄露而污染产品的薄弱点消除实现了重载大行程升降丝杠模组的洁净化设计，解决了丝杠及滑块模组在运动过程中产生的颗粒及油污的处理问题。
30.实施例2：
31.如图1所示，本实用新型提供了一种丝杠洁净化装置，包括挡罩1和排风组件2，挡罩1设置在丝杠100甩油路径内，以将甩出油污阻挡；排风组件2设置在挡罩1旁侧，且其抽风口21正对挡罩1的开口11处。
32.具体的，挡罩1立在丝杠100旁侧，能将丝杠100高速旋转时从切线方向甩出的油污阻挡后收集，由于丝杠100上的螺母与其他部件连接，无法将挡罩1设置成全封闭结构，存在开口11，该开口11仍旧成为油污外散的污染点，故在，挡罩1开口11处设置排风组件2，通过排风组件2不仅能够将挡罩1的开口11处的污染点去除，能将开口处外散的油污收集排出，而且还能进一步减少油污在挡罩1上聚集，提高挡油效果，延长挡罩1使用寿命，持续保证挡油效果，也减少油污滴落到挡罩1底部。
33.本实用新型提供的丝杠洁净化装置，通过在丝杠的甩油路径内设置挡罩，能够将丝杠甩出的油污进行阻挡，以避免扩散到外部环境中而造成产品的污染；通过在挡罩开口侧设置排风组件，不仅能将油污随空气抽出，减少甩溅到挡罩内的油污量，减少顺挡罩滴落到底部的油污，而且还能进一步的将容易产生油污泄露而污染产品的薄弱点消除实现了重载大行程升降丝杠模组的洁净化设计，解决了丝杠及滑块模组在运动过程中产生的颗粒及油污的处理问题。
34.如图3所示，进一步的，挡罩1为中空筒体结构，围设在丝杠100周侧，且在远离丝杠100的一端具有开口11。
35.如图1和图3所示，具体的，挡罩1的筒体截面为圆形、方形或多边形结构，根据实际安装位置周侧的空间选择设置，在此并不做具体限定。
36.通过将丝杠100的周侧均进行围设，以保证挡油效果。
37.作为本实用新型的一种可选实施方式，挡罩1高度等于或大于丝杠100长度。
38.如图1和图2所示，具体的，在本实施例中，排风组件2包括导流罩22、抽风口21和风扇机组23，导流罩22为两端封闭的中空筒体结构，与挡罩1平行；抽风口21的数量为至少一个，沿导流罩22轴向依次设置，每个抽风口21上设置有一个风扇机组23，导流罩22底部设置有排气管24，排气管24上设置有排气法兰25。经风扇机组23抽回的空气经排气管24和排气法兰25排出到外部，排气法兰25上可以连接输出管路，以将污染空气排到对产品无影响的区域。
39.进一步的，导流罩22高度不小于挡罩1的高度。
40.进一步的，排风组件2还包括设置在导流罩22内腔底部以将其顶部的空气抽向底部的排气风扇26。排气风扇26设置的目的是用于将导流罩22上部的气体抽向下部，以便于快速排出。
41.在此需要说明是，作为做优的实施方式，排气风扇26的数量为两个，并排设置。
42.进一步的，相邻的两个抽风口21之间的距离相等或不等。可以根据实际需要选择使用，以或者最优的排风效果最好。
43.作为本实用新型的一种可选实施方式，挡罩1采用金属钣金件制成。
44.作为本实用新型的一种可选实施方式，导流罩22截面为矩形结构。
45.作为本实用新型的一种可选实施方式，丝杠100为重载大行程升降丝杠。
46.具体使用方法：
47.在升降丝杠模组运行时丝杠100高速转动，附着在丝杠100上方的油脂及颗粒会随着转速的变化不同程度地飞溅出来。此时钣金挡罩1从结构上挡住了飞溅出来的油脂或颗粒，使其附着在钣金挡罩1上。如果有些油脂或颗粒没有被钣金挡罩1阻拦而流出腔体，那么一直在工作的风扇机组23会将漏网的油脂或颗粒吸入导流罩22中。油脂或颗粒在空气导流罩22被送往排气管24和排气法兰25排出工艺腔体。
48.钣金挡罩1说明：钣金挡罩1主要是阻挡在丝杠100表面附着的油污或带油污的颗粒，这些油污会沿着丝杠100转动的切线方向甩出，钣金挡罩1就是在其甩出范围内进行拦截，使这些甩出的油污附着在钣金挡罩1上。
49.本实用新型提供的丝杠洁净化装置，通过在丝杠的甩油路径内设置挡罩，能够将丝杠甩出的油污进行阻挡，以避免扩散到外部环境中而造成产品的污染；通过在挡罩开口侧设置排风组件，不仅能将油污随空气抽出，减少甩溅到挡罩内的油污量，减少顺挡罩滴落到底部的油污，而且还能进一步的将容易产生油污泄露而污染产品的薄弱点消除实现了重载大行程升降丝杠模组的洁净化设计，解决了丝杠及滑块模组在运动过程中产生的颗粒及油污的处理问题。
50.这里首先需要说明的是，“向内”是朝向容置空间中央的方向，“向外”是远离容置空间中央的方向。
51.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图1所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
52.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
53.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
54.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
55.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表
述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
56.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。