一种防水结构及包含其的机械手的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种防水结构及包含其的机械手。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶中，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
3.本技术人发现现有技术至少存在以下技术问题：
4.半导体行业中常用到晶圆搬运机器人，其中robot连接件和robot手臂之间存在连接间隙，该连接间隙处容易深入水渍，水渍进而进入到二者的工艺槽内，工艺槽内的水渍会流向机械手本体内，水流进入机械手本体后严重影响机械手内部件寿命，甚至烧毁电路板，造成机械手瘫痪。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种防水结构及包含其的机械手，以解决现有技术中存在的水渍容易从机械手臂和连接件之间的连接间隙处进入而导致寿命降低的技术问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供了以下技术方案：
7.本实用新型提供的一种防水结构，包括设置在连接件与手臂的连接间隙处的防水本体，所述防水本体为迷宫型结构，在连接间隙到手臂本体内部之间形成迷宫式通路，从而阻止水渍从连接间隙处进入到手臂本体内。
8.作为本实用新型的进一步改进，所述防水本体为环形结构，且截面为t形，包括呈直线设置的上环和下环、以及垂直连接在所述上环和所述下环连接处的凸环，所述上环插设在连接件的第一凹槽内；所述下环插设在手臂的第二凹槽内，所述凸环插设在连接间隙内。
9.作为本实用新型的进一步改进，所述上环宽度小于所述第一凹槽宽度，以间隙配合方式插接；所述上环内侧和外侧与所述第一凹槽侧壁之间均具有间隔。
10.作为本实用新型的进一步改进，所述上环高度不小于所述第一凹槽深度的3/4。
11.作为本实用新型的进一步改进，所述下环宽度大于所述第二凹槽宽度以过盈配合方式插接。
12.作为本实用新型的进一步改进，所述下环高度大于所述第二凹槽深度的1/3。
13.作为本实用新型的进一步改进，所述凸环沿竖直方向的厚度不大于连接间隙高度的1/2，所述凸环顶端与手臂外端面平齐或位于手臂外端面内部。
14.作为本实用新型的进一步改进，所述防水本体采用耐腐防锈的金属材料制成，所述下环内外表面上均涂抹有密封胶层。
15.作为本实用新型的进一步改进，所述防水本体采用5052铝材制成。
16.本实用新型提供的一种机械手，包括连接件、手臂以及设置在所述连接件和所述
手臂之间连接间隙处的所述防水结构。
17.本实用新型与现有技术相比具有如下有益效果：
18.本实用新型提供的防水结构，设置在连接件和手臂的连接间隙处，并通过形成迷宫式通道使得水渍无法或很难进入到手臂内部，从而提高了手臂的防水性能，提高产品使用寿命。
附图说明
19.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1是本实用新型机械手的局部结构示意图；
21.图2是本实用新型机械手局部剖开后的结构示意图；
22.图3是本实用新型防水结构的立体结构示意图。
23.图中1、防水本体；11、上环；12、下环；13、凸环；100、连接件；101、第一凹槽；200、手臂；201、第二凹槽；300、连接间隙。
具体实施方式
24.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。
25.实施例1：
26.如图1和图3所示，本实用新型提供了一种防水结构，包括设置在连接件100与手臂200的连接间隙处的防水本体1，防水本体1为迷宫型结构，在连接间隙到手臂本体内部之间形成迷宫式通路，从而阻止水渍从连接间隙处进入到手臂本体内。
27.此处需要说明的是，连接件100上连接夹具或运动关节，从而进行抓取夹持动作或其他动作；连接件100会相对于手臂200进行转动，二者之间具有相对运动；此处所指的迷宫型结构以及迷宫式通路是指路径并未直线，而是有弯折或折弯的路径，也就是说水渍即使进入到防水本体1处，由于迷宫式通路的存在增加了水渍行走路径，以及行走时的阻力，更优的方式是对水渍行进进行了阻挡，将水渍挡在手臂本体外部，以形成防水结构，提高手臂的防水效果。
28.实施例2：
29.如图1和图3所示，本实用新型提供了一种防水结构，包括设置在连接件100与手臂200的连接间隙处的防水本体1，防水本体1为迷宫型结构，在连接间隙到手臂本体内部之间形成迷宫式通路，从而阻止水渍从连接间隙处进入到手臂本体内。
30.此处需要说明的是，连接件100上连接夹具或运动关节，从而进行抓取夹持动作或其他动作；连接件100会相对于手臂200进行转动，二者之间具有相对运动；此处所指的迷宫型结构以及迷宫式通路是指路径并未直线，而是有弯折或折弯的路径，也就是说水渍即使
进入到防水本体1处，由于迷宫式通路的存在增加了水渍行走路径，以及行走时的阻力，更优的方式是对水渍行进进行了阻挡，将水渍挡在手臂本体外部，以形成防水结构，提高手臂的防水效果。
31.如图2所示，防水本体1为环形结构，且截面为t形，包括呈直线设置的上环11和下环12、以及垂直连接在上环11和下环12连接处的凸环13，上环11插设在连接件100的第一凹槽101内；下环12插设在手臂200的第二凹槽201内，凸环13插设在连接间隙300内。
32.具体的，在连接件100顶部设置有环形第一凹槽101，在手臂200顶部设置有环形的第二凹槽201，且连接件100与手臂200连接在一起时，第一凹槽101和第二凹槽201正对设置，连接间隙在连接件100底部和手臂200顶部之间形成，且该连接间隙与第一凹槽101和第二凹槽201连通。
33.实施例3：
34.如图1和图3所示，本实用新型提供了一种防水结构，包括设置在连接件100与手臂200的连接间隙处的防水本体1，防水本体1为迷宫型结构，在连接间隙到手臂本体内部之间形成迷宫式通路，从而阻止水渍从连接间隙处进入到手臂本体内。
35.此处需要说明的是，连接件100上连接夹具或运动关节，从而进行抓取夹持动作或其他动作；连接件100会相对于手臂200进行转动，二者之间具有相对运动；此处所指的迷宫型结构以及迷宫式通路是指路径并未直线，而是有弯折或折弯的路径，也就是说水渍即使进入到防水本体1处，由于迷宫式通路的存在增加了水渍行走路径，以及行走时的阻力，更优的方式是对水渍行进进行了阻挡，将水渍挡在手臂本体外部，以形成防水结构，提高手臂的防水效果。
36.如图2和图3所示，防水本体1为环形结构，且截面为t形，包括呈直线设置的上环11和下环12、以及垂直连接在上环11和下环12连接处的凸环13，上环11插设在连接件100的第一凹槽101内；下环12插设在手臂200的第二凹槽201内，凸环13插设在连接间隙300内。
37.如图2所示，具体的，在连接件100顶部设置有环形第一凹槽101，在手臂200顶部设置有环形的第二凹槽201，且连接件100与手臂200连接在一起时，第一凹槽101和第二凹槽201正对设置，连接间隙在连接件100底部和手臂200顶部之间形成，且该连接间隙与第一凹槽101和第二凹槽201连通。
38.作为本实用新型的一种可选实施方式，上环11宽度小于第一凹槽101宽度，以间隙配合方式插接；
39.更进一步的，该间隙配合方式是指上环11内侧和外侧与第一凹槽101侧壁之间均具有间隔；通过此种结构设置，可在连接件100运动时不会与上环11之间有接触，不会增加运动阻力。实际上，上环11的设置是形成一道墙，以阻碍水渍直接进入到第二凹槽201内。
40.上环11的高度要高于连接间隙300，从而能够形成一定的阻挡作用，最优的高度时，上环11高度不小于第一凹槽101深度的3/4。由此，保证作为第一道墙的上环11对水渍的阻挡效果。
41.作为本实用新型的一种可选实施方式，下环12宽度大于第二凹槽201宽度以过盈配合方式插接。
42.通过过盈配合方式将第二凹槽201全部塞满，以避免水渍进入。
43.更进一步的，下环12高度大于第二凹槽201深度的1/3。
44.作为本实用新型的一种可选实施方式，凸环13沿竖直方向的厚度不大于连接间隙300高度的1/2，凸环13顶端与手臂200外端面平齐或位于手臂200外端面内部。通过以上结构设置，可在连接间隙300内设置具有水渍阻挡结构的凸环13，且凸环13厚度小于连接间隙300高度，从而保证连接件100运动时的自由顺滑，不会增加运动阻力。
45.实施例4：
46.本实用新型提供了一种防水结构，包括设置在连接件100与手臂200的连接间隙处的防水本体1，防水本体1为迷宫型结构，在连接间隙到手臂本体内部之间形成迷宫式通路，从而阻止水渍从连接间隙处进入到手臂本体内。
47.此处需要说明的是，连接件100上连接夹具或运动关节，从而进行抓取夹持动作或其他动作；连接件100会相对于手臂200进行转动，二者之间具有相对运动；此处所指的迷宫型结构以及迷宫式通路是指路径并未直线，而是有弯折或折弯的路径，也就是说水渍即使进入到防水本体1处，由于迷宫式通路的存在增加了水渍行走路径，以及行走时的阻力，更优的方式是对水渍行进进行了阻挡，将水渍挡在手臂本体外部，以形成防水结构，提高手臂的防水效果。
48.防水本体1为环形结构，且截面为t形，包括呈直线设置的上环11和下环12、以及垂直连接在上环11和下环12连接处的凸环13，上环11插设在连接件100的第一凹槽101内；下环12插设在手臂200的第二凹槽201内，凸环13插设在连接间隙300内。
49.具体的，在连接件100顶部设置有环形第一凹槽101，在手臂200顶部设置有环形的第二凹槽201，且连接件100与手臂200连接在一起时，第一凹槽101和第二凹槽201正对设置，连接间隙在连接件100底部和手臂200顶部之间形成，且该连接间隙与第一凹槽101和第二凹槽201连通。
50.作为本实用新型的一种可选实施方式，上环11宽度小于第一凹槽101宽度，以间隙配合方式插接；
51.更进一步的，该间隙配合方式是指上环11内侧和外侧与第一凹槽101侧壁之间均具有间隔；通过此种结构设置，可在连接件100运动时不会与上环11之间有接触，不会增加运动阻力。实际上，上环11的设置是形成一道墙，以阻碍水渍直接进入到第二凹槽201内。
52.上环11的高度要高于连接间隙300，从而能够形成一定的阻挡作用，最优的高度时，上环11高度不小于第一凹槽101深度的3/4。由此，保证作为第一道墙的上环11对水渍的阻挡效果。
53.作为本实用新型的一种可选实施方式，下环12宽度大于第二凹槽201宽度以过盈配合方式插接。
54.通过过盈配合方式将第二凹槽201全部塞满，以避免水渍进入。
55.更进一步的，下环12高度大于第二凹槽201深度的1/3。
56.作为本实用新型的一种可选实施方式，凸环13沿竖直方向的厚度不大于连接间隙300高度的1/2，凸环13顶端与手臂200外端面平齐或位于手臂200外端面内部。通过以上结构设置，可在连接间隙300内设置具有水渍阻挡结构的凸环13，且凸环13厚度小于连接间隙300高度，从而保证连接件100运动时的自由顺滑，不会增加运动阻力。
57.更进一步的，在本实施例中，防水本体1采用耐腐防锈的金属材料制成，下环12内外表面上均涂抹有密封胶层。
58.在此需要说明的是，作为一种最优实施例，防水本体1采用5052铝材制成。
59.本实用新型提供了一种机械手，包括连接件100、手臂200以及设置在连接件100和手臂200之间连接间隙300处的防水结构。
60.进一步的，机械手安装在晶圆搬运机器人上。
61.此处需要说明的是，连接件100、手臂200结构在本实用新型中均未作改进，故不做具体赘述，为现有技术产品。
62.本实用新型提供的防水结构，设置在连接件和手臂的连接间隙处，并通过形成迷宫式通道使得水渍无法或很难进入到手臂内部，从而提高了手臂的防水性能，提高产品使用寿命。
63.这里首先需要说明的是，“向内”是朝向容置空间中央的方向，“向外”是远离容置空间中央的方向。
64.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图1所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
65.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
66.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
67.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
68.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
69.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限
于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。