掩模检查设备和使用掩模检查设备的掩模检查方法与流程

掩模检查设备和使用掩模检查设备的掩模检查方法
1.相关申请的交叉引用
2.本技术要求2020年5月11日提交的韩国专利申请第10
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2020
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0056141号的优先权及权益，为了所有目的通过引用将该韩国专利申请合并于此，如同在本文中充分地阐述一样。
技术领域
3.本发明的示例性实施方式总体涉及掩模检查设备，并且更具体地，涉及用于检查具有多个开口的掩模的掩模检查设备以及使用该掩模检查设备检查掩模的方法。


背景技术：

4.通常，有机发光显示装置包括通过真空沉积法形成的有机层和/或电极。各种掩模被用于为制造有机发光显示装置而执行的沉积工艺。开口狭缝形成在每个掩模中，并且有机发光显示装置的可靠性取决于开口狭缝的状态。
5.在该背景技术部中公开的上述信息仅用于理解本发明构思的背景，并且因此可能包含不构成现有技术的信息。


技术实现要素：

6.申请人认识到，有必要开发一种检查用于诸如制造有机发光显示装置的沉积工艺的掩模中的开口狭缝的状态的方法。
7.根据本发明的原理和示例性实现方式构造的掩模检查设备以及使用该掩模检查设备检查掩模的方法通过分开检查具有包含不同开口的多个区域的掩模，能够容易地检测掩模中的不良，并提高掩模检查测试的可靠性。例如，掩模可以包括具有多个第一开口的第一区域以及具有多个第二开口的第二区域。
8.本发明构思的附加特征将在下面的描述中阐述，并且将部分地从描述中明白，或者可以通过本发明构思的实践来学习。
9.根据本发明的一个方面，掩模检查方法可以包括步骤：获取掩模的图像，掩模包括其中限定有多个第一开口的第一区域以及具有多个第二开口的第二区域；将图像划分成与第一区域相对应的第一局部图像以及与第二区域相对应的第二局部图像；基于第一局部图像检查掩模的第一区域；以及基于第二局部图像检查掩模的第二区域。
10.检查第一区域的步骤可以包括：将第一局部图像中的多个第一图案彼此进行比较的步骤，第一图案与第一开口相对应；并且检查第二区域的步骤可以包括将第二局部图像中的多个第二图案彼此进行比较的步骤，第二图案与第二开口相对应。
11.将多个第一图案彼此进行比较的步骤可以包括：将第一目标图案与第一相邻图案中的每个进行比较的步骤，第一目标图案为多个第一图案中的一个第一图案，第一相邻图案为多个第一图案中的邻近第一目标图案的其他第一图案；并且将多个第二图案彼此进行比较的步骤可以包括：将第二目标图案与第二相邻图案中的每个进行比较的步骤，第二目
标图案为多个第二图案中的一个第二图案，第二相邻图案为多个第二图案中的邻近第二目标图案的其他第二图案。
12.将第一目标图案与第一相邻图案中的每个进行比较的步骤可以被执行为：将第一目标图案的形状与第一相邻图案中的每个的形状进行比较，并在第一目标图案的形状与第一相邻图案中的每个的形状基本相同时确定第一区域是正常的。将第二目标图案与第二相邻图案中的每个进行比较的步骤可以被执行为：将第二目标图案的形状与第二相邻图案中的每个的形状进行比较，并在第二目标图案的形状与第二相邻图案中的每个的形状基本相同时确定第二区域是正常的。
13.将第一目标图案与第一相邻图案中的每个进行比较的步骤可以被执行为：将第一目标图案的尺寸与第一相邻图案中的每个的尺寸进行比较，并在第一目标图案的尺寸与第一相邻图案中的每个的尺寸基本相同时确定第一区域是正常的。将第二目标图案与第二相邻图案中的每个进行比较的步骤可以被执行为：将第二目标图案的尺寸与第二相邻图案中的每个的尺寸进行比较，并在第二目标图案的尺寸与第二相邻图案中的每个的尺寸基本相同时确定第二区域是正常的。
14.将图像划分成第一局部图像和第二局部图像的步骤可以包括：设置第一局部图像与第二局部图像之间的边界的步骤。
15.设置第一局部图像与第二局部图像之间的边界的步骤可以被执行为：将其中图像中的图案之间的节距从多个第一图案之间的第一节距改变为多个第二图案之间的第二节距的区域设置为边界，第二节距与第一节距不同。
16.多个第一图案中的每个可以具有第一形状，并且多个第二图案中的每个可以具有与第一形状基本相同的第二形状。
17.多个第一图案中的每个可以具有第一尺寸，并且多个第二图案中的每个可以具有与第一尺寸基本相同的第二尺寸。
18.设置第一局部图像与第二局部图像之间的边界的步骤可以被执行为：将其中图像中的图案的形状从多个第一图案中的每个的第一形状改变为多个第二图案中的每个的第二形状的区域设置为边界，第二形状与第一形状不同。
19.设置第一局部图像与第二局部图像之间的边界的步骤可以被执行为：将其中图像中的图案的尺寸从多个第一图案中的每个的第一尺寸改变为多个第二图案中的每个的第二尺寸的区域设置为边界，第二尺寸与第一尺寸不同。
20.第一局部图像可以包括限定在其中的多个第一组，多个第一组中的每组包括是多个第一图案中的一些的n个第一图案，其中数量n为2或更大的整数，并且第二局部图像可以包括限定在其中的多个第二组，多个第二组中的每组包括是多个第二图案中的一些的m个第二图案，其中数量m为2或更大的整数。检查第一区域的步骤可以包括将多个第一组彼此进行比较的步骤。检查第二区域的步骤可以包括将多个第二组彼此进行比较的步骤。
21.数量n和数量m可以彼此不同。
22.多个第一组中的每组可以具有第一尺寸，并且多个第二组中的每组可以具有与第一尺寸不同的第二尺寸。
23.将多个第一组彼此进行比较的步骤可以包括：将第一目标组与第一相邻组中的每组进行比较的步骤，第一目标组为多个第一组中的一组，第一相邻组为多个第一组中的邻
近第一目标组的一些组；并且将多个第二组彼此进行比较的步骤可以包括：将第二目标组与第二相邻组中的每组进行比较的步骤，第二目标组为多个第二组中的一组，第二相邻组为多个第二组中的邻近第二目标组的一些组。
24.获取图像的步骤可以包括获取掩模的整个区域的图像的步骤。
25.根据本发明的另一方面，掩模检查设备包括：用于获取掩模的图像的相机，掩模包括具有多个第一开口的第一区域以及具有多个第二开口的第二区域；用于将图像划分成与第一区域相对应的第一局部图像以及与第二区域相对应的第二局部图像的划分部；用于基于第一局部图像检查掩模的第一区域的第一检查部；以及用于基于第二局部图像检查掩模的第二区域的第二检查部。
26.第一检查部可以被配置为将第一局部图像中的多个第一图案彼此进行比较，第一图案与第一开口相对应，并且第二检查部可以被配置为将第二局部图像中的多个第二图案彼此进行比较，第二图案与第二开口相对应。
27.划分部可以被配置为将其中图像中的图案之间的节距从多个第一图案之间的第一节距改变为多个第二图案之间的第二节距的区域设置为边界，第二节距与第一节距不同。
28.划分部可以被配置为将其中图像中的图案的形状从多个第一图案中的每个的第一形状改变为多个第二图案中的每个的第二形状的区域设置为边界，第二形状与第一形状不同。
29.应当理解，前述概括描述和下面的具体实施方式两者是示例性和说明性的，并且旨在提供所要求保护的发明的进一步说明。
附图说明
30.包含附图来提供本发明的进一步理解并且附图被并入本说明书中且构成本说明书的一部分，附图图示本发明的实施例并且与描述一起用来解释本发明构思。
31.图1是根据本发明的原理构造的掩模检查设备的实施例的透视图。
32.图2是图1的区域aa'的放大平面图。
33.图3是根据本发明的原理构造的掩模检查设备的实施例的框图。
34.图4是图示根据本发明的原理的掩模检查方法的流程图。
35.图5是由图3的掩模检查设备捕获的图像的实施例的平面图。
36.图6是图5的区域bb'的实施例的放大平面图。
37.图7、图8和图9是与图5的区域bb'相对应的区域的其他实施例的放大平面图。
38.图10和图11是图1的掩模的实施例的平面图。
具体实施方式
39.在下面的描述中，为了解释的目的，阐述了许多具体细节以便提供对本发明的各种示例性实施例或实施方式的透彻理解。如本文中使用的，“实施例”与“实现方式”是采用本文中公开的本发明构思中的一个或多个的装置或方法的非限制性示例的可互换词。然而，显而易见的是，可以在没有这些具体细节或具有一个或多个等同设置的情况下来实践各种实施例。在其他实例中，以框图形式示出了公知的结构和装置，以避免不必要地混淆各
种实施例。此外，各种实施例可以不同，但不必是排他性的。例如，在不脱离本发明构思的情况下，一个实施例的具体形状、配置和特性可以在另一实施例中加以使用或实现。
40.除非另有指定，否则图示的实施例应当被理解为提供本发明构思可以在实践中被实现的一些方式的不同细节的示例性特征。因此，除非另有指定，否则在不脱离本发明构思的情况下，各种实施例的特征、部件、模块、层、膜、面板、区域和/或方面等(下文分别或统称为“元件”)可以以其他方式组合、分离、互换和/或重新设置。
41.在附图中交叉影线和/或阴影的使用通常被提供用以使邻近元件之间的边界清晰。因此，除非规定，否则无论是交叉影线或阴影的存在还是不存在均不传达或者指示对特定材料、材料性质、尺寸、比例、示出元件之间的共性和/或元件的任何其他特征、属性、性质等的任何偏好或需求。此外，在附图中，为了清楚和/或描述性目的，元件的尺寸和相对尺寸可能被夸大。当实施例可以以不同方式实现时，具体的工艺可以以与所描述的顺序不同的顺序来执行。例如，两个连续描述的工艺可以被大致上同时地执行或者以与所描述的顺序相反的顺序来执行。此外，相同的附图标记指代相同的元件。
42.当元件或层被称为在另一元件或层“上”、“连接到”或“耦接到”另一元件或层时，该元件或层可以直接在另一元件或层上、直接连接到或耦接到另一元件或层，或者可以存在中间元件或层。然而，当元件或层被称为“直接”在另一元件或层“上”、“直接连接到”或“直接耦接到”另一元件或层时，不存在中间元件或层。为此，术语“连接”可以指使用或不使用中间元件的物理连接、电气连接和/或流体连接。此外，dr1轴、dr2轴和dr3轴不限于直角坐标系的三个轴(诸如，x轴、y轴和z轴)，而是可以以更广泛的意义解释。例如，dr1轴、dr2轴和dr3轴可以是相互垂直的，或者可表示相互不垂直的不同方向。为了本公开的目的，“x、y和z中的至少一个”和“从由x、y和z构成的组中选择出的至少一个”可以被解释为仅x、仅y、仅z、或x、y和z中的两个或更多个的任意组合，诸如，例如，xyz、xyy、yz和zz。如本文所使用的，术语“和/或”包括相关联的所列项目中的一个或多个的任意和所有的组合。
43.尽管在本文中可以使用术语“第一”、“第二”等来描述各种类型的元件，但是这些元件不应受这些术语的限制。这些术语用于将一个元件与另一元件区分开。因此，以下所讨论的第一元件可以被称为第二元件，而不脱离本公开的教导。
44.为了描述性目的，在本文中可以使用诸如“下面”、“下方”、“之下”、“下”、“上方”、“上”、“之上”、“高于”、“侧”(例如，如在“侧壁”中)等空间相对术语，并且由此来描述如图中所示的一个元件与另一个(些)元件的关系。除了图中所描绘的方位之外，空间相对术语旨在涵盖设备在使用、操作和/或制造中的不同方位。例如，如果图中的设备被翻转，则被描述为在其他元件或特征“下方”或“下面”的元件随之将会被定向为在其他元件或特征“上方”。因此，示例性术语“下方”可以涵盖上方和下方两种方位。此外，设备可以被另外定向(例如，旋转90度或以其他方位)，并且因此，本文所使用的空间相对描述符应被相应地解释。
45.本文所使用的术语仅是用于描述特定实施例的目的，而并不旨在进行限制。除非上下文另有明确指示，否则如本文所使用的单数形式的“一”、“该(所述)”也旨在包括复数形式。此外，当在此说明书中使用时，术语“包括”和/或“包含”表明存在所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或它们的组，但并不排除存在或添加一个或多个其他的特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或它们的组。还应注意的是，如本文所使用的，术语“大致上”、“约”和其他类似的术语被用作近似的术语而不作为程度的术语，并且因此被用于包含
本领域的普通技术人员公认的在测量的、计算的和/或提供的值中的固有偏差。
46.如本领域中的惯例，从功能块、单元和/或模块的角度描述并在附图中图示一些实施例。本领域技术人员将理解，这些块、单元和/或模块由可使用基于半导体的制造技术或其他制造技术形成的电子(或光学)电路(例如逻辑电路、分立部件、微处理器、硬布线电路、存储器元件和布线连接等)物理地实现。在块、单元和/或模块由微处理器或其他类似硬件实现的情况下，它们可以使用软件(例如，微代码)被编程和控制为执行本文讨论的各种功能，并且可以可选地由固件和/或软件驱动。还应预期每个块、单元和/或模块可以由专用硬件实现，或者被实现为执行某些功能的专用硬件和处理器(例如，一个或多个编程的微处理器和相关电路)的组合以执行其他功能。此外，一些实施例中的每个块、单元和/或模块可以被物理地分成两个或更多个交互且离散的块、单元和/或模块，而不脱离本发明构思的范围。进一步，一些实施例的块、单元和/或模块可以物理地合并为更加复杂的块、单元和/或模块，而不脱离本发明构思的范围。
47.除非另有定义，否则本文所使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有与本公开是其一部分的本领域的普通技术人员通常所理解的含义相同的含义。诸如那些在常用词典中所定义的术语应被解释为具有与它们在相关领域的背景中的含义一致的含义，并且不应以理想化或过度正式的意义来解释，除非本文中明确地如此定义。
48.图1是根据本发明的原理构造的掩模检查设备的实施例的透视图。
49.参考图1，掩模检查设备mia可以被配置为检查掩模mk。可以使用薄板来制造掩模mk。不锈钢、因瓦合金、镍、钴、镍合金或镍钴合金等可以用作掩模mk的材料。然而，掩模mk的材料并不限于这些示例，并且各种其他材料可以用于掩模mk。
50.掩模mk可以被限定为平行于由第一方向dr1和第二方向dr2限定的平面。例如，掩模mk可以是其侧边平行于第一方向dr1或第二方向dr2的矩形形状。然而，本发明构思并不限于该示例，并且在实施例中，掩模mk的形状可以进行各种改变。垂直于掩模mk的方向可以与掩模mk的厚度方向dr3(在下文中，第三方向)相对应。
51.第三方向dr3可以是与第一方向dr1和第二方向dr2两者交叉的方向。例如，第一方向dr1、第二方向dr2和第三方向dr3可以彼此正交。在本说明书中，由第一方向dr1和第二方向dr2限定的平坦表面可以被称为“平面”，并且“当在平面图中观看时”的表述可意味着在第三方向dr3上观看那里要描述的物体。
52.掩模mk可以包括第一区域ar1和第二区域ar2。第一区域ar1可以包围第二区域ar2。然而，第一区域ar1和第二区域ar2的布置并不限于该示例。例如，第二区域ar2可以包围第一区域ar1。
53.多个第一开口可以被限定在第一区域ar1中。多个第二开口可以被限定在第二区域ar2中。第一开口和第二开口可以在形状、尺寸或设置方面彼此不同。
54.掩模检查设备mia可以包括相机cm和检查单元cc。相机cm可以被布置在掩模mk上。相机cm可以用于获取掩模mk的图像。例如，相机cm可以用于获取掩模mk的整个区域的图像。
55.检查单元cc可以接收由相机cm获取的掩模mk的图像。检查单元cc可以通过通信电缆连接到相机cm。然而，实施例并不限于检查单元cc与相机cm之间的这种连接结构。例如，检查单元cc可以以无线通信的方式从相机cm接收图像。检查单元cc可以是包括用于与相机cm通信的通信接口以及处理器的计算机，但实施例并不限于该示例。
56.图2是图1的区域aa'的放大平面图。
57.参考图2，多个第一开口op1和多个第二开口op2可以被称为开口狭缝。第一开口op1中的每个的尺寸可以小于第二开口op2中的每个的尺寸。第一开口op1中的相邻第一开口op1之间的第一距离ds1可以小于第二开口op2中的相邻第二开口op2之间的第二距离ds2。
58.第一开口op1和第二开口op2可以提供允许沉积材料穿过的路径。可以提供第一开口op1和第二开口op2以暴露基板的沉积目标区域。第一开口op1和第二开口op2可以暴露基板的期望区域作为沉积目标区域。
59.第一开口op1可以在第一方向dr1和第二方向dr2上设置。第一开口op1可以根据预定规则设置。第一开口op1可以包括被提供为具有第一形状的多个第一开口图案op1a以及被提供为具有与第一形状不同的第二形状的多个第二开口图案op1b。第一形状和第二形状可以彼此对称。
60.第一开口图案op1a和第二开口图案op1b可以在第一方向dr1上交替设置。第一开口图案op1a和第二开口图案op1b可以在第二方向dr2上交替设置。
61.多个第一组g1可以被限定在第一区域ar1中。第一组g1可以被限定为根据预定规则重复设置并且其中的每一个包括根据预定规则以最少程度设置的第一开口op1的区域。第一组g1中的每个可以包括四个第一开口op1。例如，第一组g1中的每个可以包括一对第一开口图案op1a和一对第二开口图案op1b。然而，实施例并不限于该示例，并且在实施例中，第一组g1中的每组中的第一开口op1的数量可以进行各种改变。
62.第一组g1可以在第一方向dr1和第二方向dr2上设置。
63.第二开口op2可以在第一方向dr1、第二方向dr2以及与第一方向dr1和第二方向dr2两者交叉的方向上设置。第二开口op2可以根据预定规则设置。
64.多个第二组g2可以被限定在第二区域ar2中。第二组g2可以被限定为根据预定规则重复设置并且其中的每一个包括根据预定规则以最少程度设置的第二开口op2的区域。第二组g2中的每个可以包括一对第二开口op2。然而，实施例并不限于该示例，并且在实施例中，第二组g2中的每组中的第二开口op2的数量可以进行各种改变。例如，第二组g2可以包括至少一个第二开口op2。
65.然而，实施例并不限于第一开口op1和第二开口op2中的每个的该形状或尺寸，并且第一开口op1和第二开口op2的形状或尺寸可以进行各种改变。
66.图3是根据本发明的原理构造的掩模检查设备的实施例的框图。
67.参考图3，检查单元cc可以包括划分部ard、第一检查部dt1和第二检查部dt2。例如，检查单元cc可以被实现为具有执行特定功能(诸如由划分部ard执行划分功能、由第一检查部dt1执行第一检查功能以及由第二检查部dt2执行第二检查功能)的任意数量的硬件和/或软件配置的处理器。处理器可以指嵌入在硬件中的、具有用于执行由程序内包含的代码或指令表示的功能的物理结构化电路的数据处理器件。
68.划分部ard可以接收由相机cm获取的图像数据。划分部ard可以用于将由相机cm获取的掩模mk(例如，参见图1)的图像划分成多个局部图像。划分部ard可以将划分的图像数据提供到第一检查部dt1和第二检查部dt2。
69.第一检查部dt1可以基于由划分部ard划分的图像的局部图像，来检查掩模mk(例
如，参见图1)的第一区域ar1中存在或不存在缺陷。
70.第二检查部dt2可以基于由划分部ard划分的图像的另一局部图像，来检查掩模mk(例如，参见图1)的第二区域ar2中存在或不存在缺陷。
71.图3图示了其中第一检查部dt1被提供为与第二检查部dt2不同的元件的示例，但在实施例中，第一检查部dt1和第二检查部dt2可以被提供为单个元件。在此情况下，第一检查部dt1和第二检查部dt2可以顺序地检查图像的两个不同的局部图像，以检查掩模mk(例如，参见图1)中存在或不存在缺陷。然而，根据实施例的图像检查顺序并不限于该示例。例如，第一检查部dt1和第二检查部dt2可以同时检查图像的两个不同的局部图像，以检查掩模mk(例如，参见图1)中存在或不存在缺陷。
72.根据实施例，彼此不同的多个开口可以被限定在掩模mk(例如，参见图1)中。这里，“开口彼此不同”的表述可意味着开口的形状、尺寸或设置存在区别。划分部ard可以基于不同的开口将由相机cm获取的图像划分成分别与第一区域ar1和第二区域ar2相对应的多个局部图像。第一检查部dt1可以基于划分的局部图像中的一个来检查第一区域ar1中存在或不存在缺陷，并且第二检查部dt2可以基于划分的局部图像中的另一个来检查第二区域ar2中存在或不存在缺陷。因此，可能可以提供能够检查其中限定有多个不同开口的掩模mk(例如，参见图1)的掩模检查设备mia以及使用该掩模检查设备mia的掩模检查方法。
73.图4是图示根据本发明的原理的掩模检查方法的流程图，并且图5是由图3的掩模检查设备捕获的图像的实施例的平面图。
74.参考图4和图5，相机cm可以获取掩模mk(例如，参见图1)的图像im(s100)。
75.分别与掩模mk(例如，参见图1)的第一区域ar1和第二区域ar2相对应的第一局部图像im
‑
1和第二局部图像im
‑
2可以被限定在图像im中。
76.划分部ard可以将图像im划分成第一局部图像im
‑
1和第二局部图像im
‑
2(s200)。划分部ard可以设置第一局部图像im
‑
1与第二局部图像im
‑
2之间的边界。
77.第一检查部dt1可以基于第一局部图像im
‑
1来检查掩模mk(例如，参见图1)的第一区域ar1中存在或不存在缺陷(s300)。第一检查部dt1可以将包含在第一局部图像im
‑
1中的与第一开口op1(例如，参见图2)相对应的图案彼此进行比较。
78.第二检查部dt2可以基于第二局部图像im
‑
2来检查掩模mk(例如，参见图1)的第二区域ar2中存在或不存在缺陷(s400)。第二检查部dt2可以将包含在第二局部图像im
‑
2中的与第二开口op2(例如，参见图2)相对应的图案彼此进行比较。
79.图4图示了其中对第一区域ar1(例如，参见图1)的缺陷检查步骤(s300)和对第二区域ar2(例如，参见图1)的缺陷检查步骤(s400)被顺序地执行的示例，但掩模检查方法并不限于该顺序。在实施例中，掩模检查方法可以被执行为顺序地执行对第二区域ar2(例如，参见图1)的缺陷检查步骤(s400)和对第一区域ar1(例如，参见图1)的缺陷检查步骤(s300)，或同时执行对第一区域ar1和第二区域ar2(例如，参见图1)的缺陷检查步骤(s300和s400)。
80.图6是图5的区域bb'的实施例的放大平面图。
81.参考图2、图3和图6，图5的区域bb'可以是由相机cm获取的图2的区域aa'的图像。第一局部图像im
‑
1可以包括与第一区域ar1的第一开口op1相对应的多个第一图案pt1。第二局部图像im
‑
2可以包括与第二区域ar2的第二开口op2相对应的多个第二图案pt2。
82.第一图案pt1可以在第一方向dr1和第二方向dr2上设置。第一图案pt1可以根据预定规则设置。
83.多个第一组gp1可以被限定在第一局部图像im
‑
1中。第一组gp1可以被限定为根据预定规则被重复设置并且其中的每一个包括根据预定规则以最少程度设置的第一图案pt1的组。第一组gp1可以与第一区域ar1的第一组g1相对应。
84.第一组gp1中的每组可以包括是第一图案pt1中的一些的n个第一图案pt1。数量n可以是2或更大的整数。例如，数量n可以是4。然而，实施例并不限于该示例，并且第一组gp1中的每组中的第一图案pt1的数量可以进行各种改变。
85.第一组gp1可以在第一方向dr1和第二方向dr2上设置。第二图案pt2可以在第一方向dr1、第二方向dr2以及与第一方向dr1和第二方向dr2两者交叉的方向上设置。第二图案pt2可以根据预定规则设置。
86.多个第二组gp2可以被限定在第二局部图像im
‑
2中。第二组gp2可以被限定为根据预定规则被重复设置并且其中的每一个包括根据预定规则以最少程度设置的第二图案pt2的组。第二组gp2可以与第二区域ar2的第二组g2相对应。
87.第二组gp2中的每组可以包括是第二图案pt2中的一些的m个第二图案pt2。数量m可以是2或更大的整数。例如，数量m可以是2。然而，实施例并不限于该示例，并且第二组gp2中的每组中的第二图案pt2的数量可以进行各种改变。
88.数量n和m可以彼此不同。例如，数量n可以大于数量m。第一组gp1中的每组的第一尺寸可以与第二组gp2中的每组的第二尺寸不同。例如，第一组gp1中的每组的第一尺寸可以小于第二组gp2中的每组的第二尺寸。
89.划分部ard可以设置第一局部图像im
‑
1与第二局部图像im
‑
2之间的边界bl1。第一局部图像im
‑
1和第二局部图像im
‑
2可以通过边界bl1彼此区分开。划分部ard可以将其中图像im(例如，参见图5)中的图案的形状从第一图案pt1中的每个的第一形状改变为第二图案pt2中的每个的第二形状的区域设置为边界bl1。
90.第一形状可以与第二形状不同。例如，第一形状可以是倾斜的矩形，并且第二形状可以是四边形。
91.划分部ard可以将其中图像im(例如，参见图5)中的图案的尺寸从第一图案pt1中的每个的第一尺寸改变为第二图案pt2中的每个的第二尺寸的区域设置为边界bl1。
92.第一尺寸可以与第二尺寸不同。例如，第一尺寸可以小于第二尺寸。
93.根据实施例，掩模检查设备mia可以包括划分部ard。划分部ard可以设置分别与掩模mk(例如，参见图1)的第一区域ar1和第二区域ar2相对应的第一局部图像im
‑
1与第二局部图像im
‑
2之间的边界bl1。掩模检查设备mia可以被配置为基于边界bl1将掩模mk(例如，参见图1)划分成第一区域ar1和第二区域ar2，并且然后对第一区域ar1和第二区域ar2中的每个执行检查处理。因此，可能可以提供能够检查其中限定有多个不同开口op1和op2的掩模mk(例如，参见图1)的掩模检查设备mia以及使用该掩模检查设备mia的掩模检查方法。
94.第一检查部dt1可以将是第一图案pt1中的一个的目标图案pt1a与是第一图案pt1中的其他并且与目标图案pt1a邻近的相邻图案pt1b进行比较。图6中图示了在第二方向dr2上彼此邻近的目标图案pt1a和相邻图案pt1b，但相邻图案pt1b可以不限于该示例。例如，相邻图案pt1b可以是在第一方向dr1上与目标图案pt1a邻近的图案。
95.第一检查部dt1可以将目标图案pt1a与相邻图案pt1b进行比较。例如，目标图案pt1a可以与在第二方向dr2上与其邻近的相邻图案pt1b以及第一图案pt1中的在第一方向dr1上与目标图案pt1a邻近的另一个(未示出)进行比较。示例性地例示了其中两个相邻图案与目标图案pt1a进行比较的示例，但实施例并不限于该示例。例如，目标图案pt1a可以与三个或四个其他相邻的第一图案进行比较。
96.作为比较的结果，在目标图案pt1a的形状被评估为与相邻图案pt1b中的每个的形状基本相同的情况下，第一检查部dt1可以确定掩模mk(例如，参见图1)的第一区域ar1是正常的。这里，表述“基本相同”可意味着形状的差异在可以被评估为正常的公差裕度内。可以根据期望设计值给出公差裕度。作为比较的结果，在目标图案pt1a的形状被评估为与相邻图案pt1b中的每个的形状不同的情况下，第一检查部dt1可以确定在掩模mk(例如，参见图1)的第一区域ar1中存在不良。
97.作为比较的结果，在目标图案pt1a的尺寸被评估为与相邻图案pt1b中的每个的尺寸基本相同的情况下，第一检查部dt1可以确定掩模mk(例如，参见图1)的第一区域ar1是正常的。这里，表述“基本相同”可意味着尺寸的差异在可以被评估为正常的公差裕度内。作为比较的结果，在目标图案pt1a的尺寸被评估为与相邻图案pt1b中的每个的尺寸不同的情况下，第一检查部dt1可以确定在掩模mk(例如，参见图1)的第一区域ar1中存在不良。
98.第一检查部dt1可以将第一组gp1彼此进行比较。第一组gp1可以与掩模mk(例如，参见图1)的第一组g1相对应。第一检查部dt1可以将是第一组gp1中的一组的目标组gp1a与是第一组gp1中的与目标组gp1a邻近的另一组的相邻组gp1b进行比较。图6中图示了在第二方向dr2上彼此邻近的目标组gp1a和相邻组gp1b，但相邻组gp1b可以不限于该示例。例如，相邻组gp1b可以是在第一方向dr1上与目标组gp1a邻近的组。
99.第一检查部dt1可以将目标组gp1a与邻近目标组gp1a的相邻组gp1b进行比较。例如，目标组gp1a可以与在第二方向dr2上与其邻近的相邻组gp1b以及第一组gp1中的在第一方向dr1上与目标组gp1a邻近的另一组(未示出)进行比较。示例性地例示了其中两个相邻组与目标组gp1a进行比较的示例，但实施例并不限于该示例。例如，目标组gp1a可以与三个或四个其他相邻组进行比较。
100.作为比较的结果，在布置在目标组gp1a中的图案的形状被评估为与布置在相邻组gp1b中的每组中的图案的形状基本相同的情况下，第一检查部dt1可以确定掩模mk(例如，参见图1)的第一区域ar1是正常的。在布置在目标组gp1a中的图案的形状被评估为与布置在相邻组gp1b中的每组中的图案的形状不同的情况下，第一检查部dt1可以确定在掩模mk(例如，参见图1)的第一区域ar1中存在不良。
101.第二检查部dt2可以将是第二图案pt2中的一个的目标图案pt2a与是第二图案pt2中的与目标图案pt2a邻近的另一个的相邻图案pt2b进行比较。图6中图示了在第一方向dr1上彼此邻近的目标图案pt2a和相邻图案pt2b，但相邻图案pt2b可以不限于该示例。例如，相邻图案pt2b可以是在第二方向dr2上与目标图案pt2a邻近的图案。
102.第二检查部dt2可以将目标图案pt2a与邻近目标图案pt2a的相邻图案pt2b进行比较。例如，目标图案pt2a可以与在第一方向dr1上与其邻近的相邻图案pt2b以及第二图案pt2中的在第二方向dr2上与目标图案pt2a邻近的另一个(未示出)进行比较。示例性地例示了其中两个相邻图案与目标图案pt2a进行比较的示例，但实施例并不限于该示例。例如，目
标图案pt2a可以与三个或四个邻近的相邻图案进行比较。
103.作为比较的结果，在目标图案pt2a的形状被评估为与相邻图案pt2b中的每个的形状基本相同的情况下，第二检查部dt2可以确定掩模mk(例如，参见图1)的第二区域ar2是正常的。作为比较的结果，在目标图案pt2a的形状被评估为与相邻图案pt2b中的每个的形状不同的情况下，第二检查部dt2可以确定在掩模mk(例如，参见图1)的第二区域ar2中存在不良。
104.作为比较的结果，在目标图案pt2a的尺寸被评估为与相邻图案pt2b中的每个的尺寸基本相同的情况下，第二检查部dt2可以确定掩模mk(例如，参见图1)的第二区域ar2是正常的。作为比较的结果，在目标图案pt2a的尺寸被评估为与相邻图案pt2b中的每个的尺寸不同的情况下，第二检查部dt2可以确定在掩模mk(例如，参见图1)的第二区域ar2中存在不良。
105.第二检查部dt2可以将第二组gp2彼此进行比较。第二组gp2可以与掩模mk(例如，参见图1)的第二组g2相对应。第二检查部dt2可以将是第二组gp2中的一组的目标组gp2a与是第二组gp2中的与目标组gp2a邻近的另一组的相邻组gp2b进行比较。图6中图示了在第一方向dr1上彼此邻近的目标组gp2a和相邻组gp2b，但相邻组gp2b可以不限于该示例。例如，相邻组gp2b可以是在第二方向dr2上与目标组gp2a邻近的组。
106.第二检查部dt2可以将目标组gp2a与邻近目标组gp2a的相邻组gp2b进行比较。例如，目标组gp2a可以与在第一方向dr1上与其邻近的相邻组gp2b以及第二组gp2中的在第二方向dr2上与目标组gp2a邻近的另一组(未示出)进行比较。示例性地例示了其中两个相邻组与目标组gp2a进行比较的示例，但实施例并不限于该示例。例如，目标组gp2a可以与三个或四个其他相邻组进行比较。
107.作为比较的结果，在布置在目标组gp2a中的图案的形状被评估为与布置在相邻组gp2b中的每个中的图案的形状基本相同的情况下，第二检查部dt2可以确定掩模mk(例如，参见图1)的第二区域ar2是正常的。在目标组gp2a中的图案的形状被评估为与相邻组gp2b中的每个中的图案的形状不同的情况下，第二检查部dt2可以确定在掩模mk(例如，参见图1)的第二区域ar2中存在不良。
108.在第一检查部dt1确定第一区域ar1是正常的并且第二检查部dt2确定第二区域ar2是正常的情况下，掩模检查设备mia可以确定掩模mk(例如，参见图1)是正常的。
109.根据实施例，划分部ard可以基于边界bl1将第一局部图像im
‑
1和第二局部图像im
‑
2彼此区分开。第一检查部dt1可以基于第一局部图像im
‑
1检查第一区域ar1中存在或不存在缺陷，并且第二检查部dt2可以基于第二局部图像im
‑
2检查第二区域ar2中存在或不存在缺陷。因此，可能可以提供被配置为以基于开口的划分方式检查其中限定有多个不同开口op1和op2的掩模mk(例如，参见图1)的掩模检查设备mia以及使用该掩模检查设备mia的掩模检查方法。此外，掩模检查设备mia的使用可以使能够容易检测掩模mk(例如，参考图1)中的不良以及提高掩模mk或掩模检查测试的可靠性。
110.图7是与图5的区域bb'相对应的区域的另一实施例的放大平面图。
111.参考图1、图3和图7，第一局部图像im
‑
1可以包括多个第一图案pt11。限定在掩模mk的第一区域ar1中的多个第一开口可以与第一图案pt11相对应。第二局部图像im
‑
2可以包括多个第二图案pt21。限定在掩模mk的第二区域ar2中的多个第二开口可以与第二图案
pt21相对应。
112.第一图案pt11可以在第一方向dr1和第二方向dr2上设置。第二图案pt21可以在第一方向dr1和第二方向dr2上设置。第一图案pt11在第一局部图像im
‑
1中的占据面积的比率可以大于第二图案pt21在第二局部图像im
‑
2中的占据面积的比率。
113.划分部ard可以设置第一局部图像im
‑
1与第二局部图像im
‑
2之间的边界bl2。第一局部图像im
‑
1和第二局部图像im
‑
2可以通过边界bl2彼此区分开。
114.划分部ard可以将其中图像im(例如，参见图5)中的图案的尺寸从第一图案pt11中的每个的第一尺寸改变为第二图案pt21中的每个的第二尺寸的区域设置为边界bl2。
115.第一尺寸可以与第二尺寸不同。例如，第一尺寸可以大于第二尺寸。
116.第一图案pt11之间的第一节距pi11可以等于第二图案pt21之间的第二节距pi21。
117.第一图案pt11中的每个可以在第二方向dr2上具有第一宽度wd1。第二图案pt21中的每个可以在第二方向dr2上具有第二宽度wd2。第一宽度wd1可以大于第二宽度wd2。例如，第一宽度wd1可以是第二宽度wd2的两倍。
118.根据实施例，掩模检查设备mia可以包括划分部ard。划分部ard可以设置分别与掩模mk的第一区域ar1和第二区域ar2相对应的第一局部图像im
‑
1与第二局部图像im
‑
2之间的边界bl2。掩模检查设备mia可以被配置为基于边界bl2将掩模mk划分成第一区域ar1和第二区域ar2，并且然后对第一区域ar1和第二区域ar2中的每个执行检查处理。因此，可能可以提供能够检查其中限定有多个不同开口的掩模mk的掩模检查设备mia以及使用该掩模检查设备mia的掩模检查方法。
119.第一检查部dt1可以将是第一图案pt11中的一个的目标图案pt11a与是第一图案pt11中的与目标图案pt11a邻近的另一个的相邻图案pt11b进行比较。图7中图示了在第二方向dr2上彼此邻近的目标图案pt11a和相邻图案pt11b，但相邻图案pt11b可以不限于该示例。例如，相邻图案pt11b可以是在第一方向dr1上与目标图案pt11a邻近的图案。
120.第一检查部dt1可以将目标图案pt11a与邻近目标图案pt11a的相邻图案pt11b进行比较。例如，目标图案pt11a可以与在第二方向dr2上与其邻近的相邻图案pt11b以及第一图案pt11中的在第一方向dr1上与目标图案pt11a邻近的另一个(未示出)进行比较。示例性地例示了其中两个相邻图案与目标图案pt11a进行比较的示例，但实施例并不限于该示例。例如，目标图案pt11a可以与三个或四个其他相邻图案进行比较。
121.作为比较的结果，在目标图案pt11a的形状被评估为与相邻图案pt11b中的每个的形状基本相同的情况下，第一检查部dt1可以确定掩模mk的第一区域ar1是正常的。在目标图案pt11a的形状被评估为与相邻图案pt11b中的每个的形状不同的情况下，第一检查部dt1可以确定在掩模mk的第一区域ar1中存在不良。
122.作为比较的结果，在目标图案pt11a的尺寸被评估为与相邻图案pt11b中的每个的尺寸基本相同的情况下，第一检查部dt1可以确定掩模mk的第一区域ar1是正常的。在目标图案pt11a的尺寸被评估为与相邻图案pt11b中的每个的尺寸不同的情况下，第一检查部dt1可以确定在掩模mk的第一区域ar1中存在不良。
123.第二检查部dt2可以将是第二图案pt21中的一个的目标图案pt21a与是第二图案pt21中的与目标图案pt21a邻近的另一个的相邻图案pt21b进行比较。图7中图示了在第二方向dr2上彼此邻近的目标图案pt21a和相邻图案pt21b，但相邻图案pt21b可以不限于该示
例。例如，相邻图案pt21b可以是在第一方向dr1上与目标图案pt21a邻近的图案。
124.第二检查部dt2可以将目标图案pt21a与邻近目标图案pt21a的相邻图案pt21b进行比较。例如，目标图案pt21a可以与在第二方向dr2上与其邻近的相邻图案pt21b以及第二图案pt21中的在第一方向dr1上与目标图案pt21a邻近的另一个(未示出)进行比较。示例性地例示了其中两个相邻图案与目标图案pt21a进行比较的示例，但实施例并不限于该示例。例如，目标图案pt21a可以与三个或四个其他相邻图案进行比较。
125.作为比较的结果，在目标图案pt21a的形状被评估为与相邻图案pt21b中的每个的形状基本相同的情况下，第二检查部dt2可以确定掩模mk的第二区域ar2是正常的。在目标图案pt21a的形状被评估为与相邻图案pt21b中的每个的形状不同的情况下，第二检查部dt2可以确定在掩模mk的第二区域ar2中存在不良。
126.作为比较的结果，在目标图案pt21a的尺寸被评估为与相邻图案pt21b中的每个的尺寸基本相同的情况下，第二检查部dt2可以确定掩模mk的第二区域ar2是正常的。在目标图案pt21a的尺寸被评估为与相邻图案pt21b中的每个的尺寸不同的情况下，第二检查部dt2可以确定在掩模mk的第二区域ar2中存在不良。
127.在第一检查部dt1确定第一区域ar1是正常的并且第二检查部dt2确定第二区域ar2是正常的情况下，掩模检查设备mia可以确定掩模mk是正常的。
128.根据实施例，划分部ard可以基于边界bl2将第一局部图像im
‑
1和第二局部图像im
‑
2彼此区分开。第一检查部dt1可以基于第一局部图像im
‑
1检查第一区域ar1中存在或不存在缺陷，并且第二检查部dt2可以基于第二局部图像im
‑
2检查第二区域ar2中存在或不存在缺陷。因此，可能可以提供被配置为以基于开口的划分方式检查其中限定有多个不同开口的掩模mk的掩模检查设备mia以及使用该掩模检查设备mia的掩模检查方法。此外，掩模检查设备mia的使用可以使能够容易检测掩模mk中的不良以及提高掩模mk的可靠性。
129.图8是与图5的区域bb'相对应的区域的又一实施例的放大平面图。
130.参考图1、图3和图8，第一局部图像im
‑
1可以包括多个第一图案pt12。限定在掩模mk的第一区域ar1中的第一开口可以与第一图案pt12相对应。第二局部图像im
‑
2可以包括多个第二图案pt22。限定在掩模mk的第二区域ar2中的第二开口可以与第二图案pt22相对应。
131.第一图案pt12可以在第一方向dr1和第二方向dr2上设置。第二图案pt22可以在第一方向dr1和第二方向dr2上设置。第一图案pt12在第一局部图像im
‑
1中的占据面积的比率可以大于第二图案pt22在第二局部图像im
‑
2中的占据面积的比率。
132.划分部ard可以设置第一局部图像im
‑
1与第二局部图像im
‑
2之间的边界bl3。第一局部图像im
‑
1和第二局部图像im
‑
2可以通过边界bl3彼此区分开。
133.划分部ard可以将其中图像im(例如，参见图5)中的图案之间的节距从第一图案pt12之间的第一节距pi1改变为第二图案pt22之间的第二节距pi2的区域设置为边界bl3。
134.第一节距pi1可以与第二节距pi2不同。第一节距pi1可以小于第二节距pi2。例如，第二节距pi2可以是第一节距pi1的两倍。
135.第一图案pt12中的每个的第一形状可以与第二图案pt22中的每个的第二形状相同。第一图案pt12中的每个的第一尺寸可以与第二图案pt22中的每个的第二尺寸相同。
136.根据实施例，掩模检查设备mia可以包括划分部ard。划分部ard可以设置分别与掩
模mk的第一区域ar1和第二区域ar2相对应的第一局部图像im
‑
1与第二局部图像im
‑
2之间的边界bl3。掩模检查设备mia可以被配置为基于边界bl3将掩模mk划分成第一区域ar1和第二区域ar2，并且然后对第一区域ar1和第二区域ar2执行检查处理。因此，可能可以提供能够检查其中限定有多个不同开口的掩模mk的掩模检查设备mia以及使用该掩模检查设备mia的掩模检查方法。
137.第一检查部dt1可以将是第一图案pt12中的一个的目标图案pt12a与是第一图案pt12中的与目标图案pt12a邻近的另一个的相邻图案pt12b进行比较。图8中图示了在第二方向dr2上彼此邻近的目标图案pt12a和相邻图案pt12b，但相邻图案pt12b可以不限于该示例。例如，相邻图案pt12b可以是在第一方向dr1上与目标图案pt12a邻近的图案。
138.第一检查部dt1可以将目标图案pt12a与邻近目标图案pt12a的相邻图案pt12b进行比较。例如，目标图案pt12a可以与在第二方向dr2上与其邻近的相邻图案pt12b以及第一图案pt12中的在第一方向dr1上与目标图案pt12a邻近的另一个(未示出)进行比较。示例性地例示了其中两个相邻图案与目标图案pt12a进行比较的示例，但实施例并不限于该示例。例如，目标图案pt12a可以与三个或四个其他相邻图案进行比较。
139.作为比较的结果，在目标图案pt12a的形状被评估为与相邻图案pt12b中的每个的形状基本相同的情况下，第一检查部dt1可以确定掩模mk的第一区域ar1是正常的。在目标图案pt12a的形状被评估为与相邻图案pt12b中的每个的形状不同的情况下，第一检查部dt1可以确定在掩模mk的第一区域ar1中存在不良。
140.作为比较的结果，在目标图案pt12a的尺寸被评估为与相邻图案pt12b中的每个的尺寸基本相同的情况下，第一检查部dt1可以确定掩模mk的第一区域ar1是正常的。在目标图案pt12a的尺寸被评估为与相邻图案pt12b中的每个的尺寸不同的情况下，第一检查部dt1可以确定在掩模mk的第一区域ar1中存在不良。
141.第二检查部dt2可以将是第二图案pt22中的一个的目标图案pt22a与是第二图案pt22中的与目标图案pt22a邻近的另一个的相邻图案pt22b进行比较。图8中图示了在第二方向dr2上彼此邻近的目标图案pt22a和相邻图案pt22b，但相邻图案pt22b可以不限于该示例。例如，相邻图案pt22b可以是在第一方向dr1上与目标图案pt22a邻近的图案。
142.第二检查部dt2可以将目标图案pt22a与邻近目标图案pt22a的相邻图案pt22b进行比较。例如，目标图案pt22a可以与在第二方向dr2上与其邻近的相邻图案pt22b以及第二图案pt22中的在第一方向dr1上与目标图案pt22a邻近的另一个(未示出)进行比较。示例性地例示了其中两个相邻图案与目标图案pt22a进行比较的示例，但实施例并不限于该示例。例如，目标图案pt22a可以与三个或四个其他相邻图案进行比较。
143.作为比较的结果，在目标图案pt22a的形状被评估为与相邻图案pt22b中的每个的形状基本相同的情况下，第二检查部dt2可以确定掩模mk的第二区域ar2是正常的。在目标图案pt22a的形状被评估为与相邻图案pt22b中的每个的形状不同的情况下，第二检查部dt2可以确定在掩模mk的第二区域ar2中存在不良。
144.作为比较的结果，在目标图案pt22a的尺寸被评估为与相邻图案pt22b中的每个的尺寸基本相同的情况下，第二检查部dt2可以确定掩模mk的第二区域ar2是正常的。在目标图案pt22a的尺寸被评估为与相邻图案pt22b中的每个的尺寸不同的情况下，第二检查部dt2可以确定在掩模mk的第二区域ar2中存在不良。
145.在第一检查部dt1确定第一区域ar1是正常的并且第二检查部dt2确定第二区域ar2是正常的情况下，掩模检查设备mia可以确定掩模mk是正常的。
146.根据实施例，划分部ard可以基于边界bl3将第一局部图像im
‑
1和第二局部图像im
‑
2彼此区分开。第一检查部dt1可以基于第一局部图像im
‑
1检查第一区域ar1中存在或不存在缺陷，并且第二检查部dt2可以基于第二局部图像im
‑
2检查第二区域ar2中存在或不存在缺陷。因此，可能可以提供被配置为以基于开口的划分方式检查其中限定有多个不同开口的掩模mk的掩模检查设备mia以及使用该掩模检查设备mia的掩模检查方法。此外，掩模检查设备mia的使用可以使能够容易检测掩模mk中的不良以及提高掩模mk的可靠性。
147.图9是与图5的区域bb'相对应的区域的再一实施例的放大平面图。
148.参考图1、图3和图9，第一局部图像im
‑
1可以包括多个第一图案pt13。限定在掩模mk的第一区域ar1中的多个第一开口可以与第一图案pt13相对应。第二局部图像im
‑
2可以包括多个第二图案pt23。限定在掩模mk的第二区域ar2中的多个第二开口可以与第二图案pt23相对应。
149.第一图案pt13可以在第一方向dr1、第二方向dr2以及与第一方向dr1和第二方向dr2两者交叉的方向上设置。第二图案pt23可以在第一方向dr1、第二方向dr2以及与第一方向dr1和第二方向dr2两者交叉的方向上设置。第一图案pt13在第一局部图像im
‑
1中的占据面积的比率可以大于第二图案pt23在第二局部图像im
‑
2中的占据面积的比率。
150.划分部ard可以设置第一局部图像im
‑
1与第二局部图像im
‑
2之间的边界bl4。第一局部图像im
‑
1和第二局部图像im
‑
2可以通过边界bl4彼此区分开。
151.划分部ard可以将其中图像im(例如，参见图5)中的图案的形状从第一图案pt13中的每个的第一形状改变为第二图案pt23中的每个的第二形状的区域设置为边界bl4。
152.第一形状可以与第二形状不同。例如，第一形状可以是菱形，并且第二形状可以是正方形。
153.根据实施例，掩模检查设备mia可以包括划分部ard。划分部ard可以设置分别与掩模mk的第一区域ar1和第二区域ar2相对应的第一局部图像im
‑
1与第二局部图像im
‑
2之间的边界bl4。掩模检查设备mia可以被配置为基于边界bl4将掩模mk划分成第一区域ar1和第二区域ar2，并且然后对第一区域ar1和第二区域ar2执行检查处理。因此，掩模检查设备mia可以被配置为能够检查其中限定有不同开口的掩模mk，并且掩模检查设备mia可以被用于掩模检查方法。
154.第一检查部dt1可以将是第一图案pt13中的一个的目标图案pt13a与是第一图案pt13中的与目标图案pt13a邻近的另一个的相邻图案pt13b进行比较。图9中图示了在第二方向dr2上彼此邻近的目标图案pt13a和相邻图案pt13b，但相邻图案pt13b可以不限于该示例。例如，相邻图案pt13b可以是在第一方向dr1上或在第一方向dr1与第二方向dr2之间的对角线方向上与目标图案pt13a邻近的图案。
155.第一检查部dt1可以将目标图案pt13a与邻近目标图案pt13a的相邻图案pt13b进行比较。例如，目标图案pt13a可以与在第二方向dr2上与其邻近的相邻图案pt13b以及第一图案pt13中的在第一方向dr1上与目标图案pt13a邻近的另一个(未示出)进行比较。示例性地例示了其中两个相邻图案与目标图案pt13a进行比较的示例，但实施例并不限于该示例。例如，目标图案pt13a可以与三个或四个其他相邻图案进行比较。
156.作为比较的结果，在目标图案pt13a的形状被评估为与相邻图案pt13b中的每个的形状基本相同的情况下，第一检查部dt1可以确定掩模mk的第一区域ar1是正常的。在目标图案pt13a的形状被评估为与相邻图案pt13b中的每个的形状不同的情况下，第一检查部dt1可以确定在掩模mk的第一区域ar1中存在不良。
157.作为比较的结果，在目标图案pt13a的尺寸被评估为与相邻图案pt13b中的每个的尺寸基本相同的情况下，第一检查部dt1可以确定掩模mk的第一区域ar1是正常的。在目标图案pt13a的尺寸被评估为与相邻图案pt13b中的每个的尺寸不同的情况下，第一检查部dt1可以确定在掩模mk的第一区域ar1中存在不良。
158.第二检查部dt2可以将是第二图案pt23中的一个的目标图案pt23a与是第二图案pt23中的与目标图案pt23a邻近的另一个的相邻图案pt23b进行比较。图9中图示了在第一方向dr1上彼此邻近的目标图案pt23a和相邻图案pt23b，但相邻图案pt23b可以不限于该示例。例如，相邻图案pt23b可以是在第二方向dr2上或在第一方向dr1与第二方向dr2之间的对角线方向上与目标图案pt23a邻近的图案。
159.第二检查部dt2可以将目标图案pt23a与邻近目标图案pt23a的相邻图案pt23b进行比较。例如，目标图案pt23a可以与在第一方向dr1上与其邻近的相邻图案pt23b以及第二图案pt23中的在第二方向dr2上与目标图案pt23a邻近的另一个(未示出)进行比较。示例性地例示了其中两个相邻图案与目标图案pt23a进行比较的示例，但实施例并不限于该示例。例如，目标图案pt23a可以与三个或四个其他相邻图案进行比较。
160.作为比较的结果，在目标图案pt23a的形状被评估为与相邻图案pt23b中的每个的形状基本相同的情况下，第二检查部dt2可以确定掩模mk的第二区域ar2是正常的。在目标图案pt23a的形状被评估为与相邻图案pt23b中的每个的形状不同的情况下，第二检查部dt2可以确定在掩模mk的第二区域ar2中存在不良。
161.作为比较的结果，在目标图案pt23a的尺寸被评估为与相邻图案pt23b中的每个的尺寸基本相同的情况下，第二检查部dt2可以确定掩模mk的第二区域ar2是正常的。在目标图案pt23a的尺寸被评估为与相邻图案pt23b中的每个的尺寸不同的情况下，第二检查部dt2可以确定在掩模mk的第二区域ar2中存在不良。
162.在第一检查部dt1确定第一区域ar1是正常的并且第二检查部dt2确定第二区域ar2是正常的情况下，掩模检查设备mia可以确定掩模mk是正常的。
163.根据实施例，划分部ard可以基于边界bl4将第一局部图像im
‑
1和第二局部图像im
‑
2彼此区分开。第一检查部dt1可以基于第一局部图像im
‑
1检查第一区域ar1中存在或不存在缺陷，并且第二检查部dt2可以基于第二局部图像im
‑
2检查第二区域ar2中存在或不存在缺陷。因此，可能可以提供被配置为以基于开口的划分方式检查其中限定有多个不同开口的掩模mk的掩模检查设备mia以及使用该掩模检查设备mia的掩模检查方法。此外，掩模检查设备mia的使用可以使能够容易检测掩模mk中的不良以及提高掩模mk的可靠性。
164.图10是图1的掩模的实施例的平面图。
165.参考图3和图10，掩模mk1可以包括第一区域ar11以及在第一方向dr1上与第一区域ar11邻近的第二区域ar21。然而，实施例并不限于该示例，并且第一区域ar11和第二区域ar21的设置可以进行各种改变。
166.多个第一开口op11可以被限定在第一区域ar11中。多个第二开口op21可以被限定
在第二区域ar21中。第一开口op11可以在第一方向dr1和第二方向dr2上设置。第二开口op21可以在第一方向dr1和第二方向dr2上设置。
167.第一开口op11中的邻近的第一开口op11之间的距离可以小于第二开口op21中的邻近的第二开口op21之间的距离。布置在相同面积中的第一开口op11的数量可以大于第二开口op21的数量。第一开口op11在第一区域ar11中的占据面积的比率可以大于第二开口op21在第二区域ar21中的占据面积的比率。
168.根据实施例，相机cm可以被配置为获取掩模mk1的整个区域的图像。划分部ard可以将掩模mk1的整个图像划分成其中分别包括第一区域ar11和第二区域ar21的图像的第一局部图像和第二局部图像。例如，划分部ard可以将其中图案之间的距离变化的区域确定为第一局部图像与第二局部图像之间的边界。
169.掩模检查设备mia可以被配置为将掩模mk1划分成第一区域ar11和第二区域ar21，并且然后对第一区域ar11和第二区域ar21中的每个执行检查处理。由于对掩模mk1的每个区域分开执行不良检查测试，因此可能可以更容易检测掩模mk1中的不良并提高掩模检查测试的可靠性。
170.图11是图1的掩模的另一实施例的平面图。
171.参考图3和图11，掩模检查设备mia可以容易对包括若干个区域的掩模mk2执行不良检查处理。例如，掩模mk2可以包括第一区域ar12
‑
1、第二区域ar22和第三区域ar12
‑
2。第二区域ar22可以被布置在第一区域ar12
‑
1与第三区域ar12
‑
2之间。通过第二区域ar22待形成的沉积目标区域可以是显示装置的折叠区域。
172.多个第一开口op12
‑
1可以被限定在第一区域ar12
‑
1中。多个第二开口op22可以被限定在第二区域ar22中。多个第三开口op12
‑
2可以被限定在第三区域ar12
‑
2中。第一开口op12
‑
1和第三开口op12
‑
2可以基本相同。然而，实施例并不限于第一开口op12
‑
1和第三开口op12
‑
2的该示例。例如，第一开口op12
‑
1和第三开口op12
‑
2可以具有不同的形状或不同的设置。
173.第一开口op12
‑
1可以在第一方向dr1和第二方向dr2上设置。第二开口op22可以在第一方向dr1和第二方向dr2上设置。第三开口op12
‑
2可以在第一方向dr1和第二方向dr2上设置。
174.第一开口op12
‑
1中的邻近的第一开口op12
‑
1之间的距离和第三开口op12
‑
2中的邻近的第三开口op12
‑
2之间的距离可以小于第二开口op22中的邻近的第二开口op22之间的距离。布置在相同面积中的第一开口op12
‑
1的数量和第三开口op12
‑
2的数量可以大于第二开口op22的数量。
175.第一开口op12
‑
1在第一区域ar12
‑
1中的占据面积的比率和第三开口op12
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2在第三区域ar12
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2中的占据面积的比率中的每个可以大于第二开口op22在第二区域ar22中的占据面积的比率。
176.根据实施例，相机cm可以用于获取掩模mk2的整个区域的图像。划分部ard可以将掩模mk2的整个图像划分成其中分别包括第一区域ar12
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1、第二区域ar22和第三区域ar12
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2的图像的第一局部图像、第二局部图像和第三局部图像。例如，划分部ard可以将其中图案之间的距离或图案的形状改变的区域确定为第一局部图像与第二局部图像之间的边界以及第二局部图像与第三局部图像之间的边界。
177.掩模检查设备mia可以被配置为将掩模mk2划分成第一区域ar12
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1、第二区域ar22和第三区域ar12
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2，并且然后对第一区域ar12
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1、第二区域ar22和第三区域ar12
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2中的每个执行检查处理。由于对掩模mk2的每个区域分开执行不良检查测试，因此可能可以更容易地检测掩模mk2中的不良并提高掩模检查测试的可靠性。
178.根据实施例，掩模可以包括其中限定有多个第一开口的第一区域以及其中限定有多个第二开口的第二区域，并且这里，第一开口可以在形状、尺寸或设置方面不同于第二开口。在掩模检查设备和使用该掩模检查设备的掩模检查方法中，可能可以对掩模的第一区域和第二区域分开执行不良检查测试。由于对掩模的每个区域分开执行不良检查测试，因此可能可以更容易地检测掩模中的不良并提高掩模检查测试的可靠性。
179.尽管本文已经描述了特定实施例和实现方式，但是其他实施例和修改将从该描述中显而易见。因此，本发明构思不限于这样的实施例，而是限于随附权利要求的更广范围以及对本领域普通技术人员来说是显而易见的各种明显的修改和等同设置。