探针、检查工具和检查单元的制作方法

1.本发明涉及探针、检查工具和检查单元。


背景技术：

2.在照相机或液晶面板等电子部件模块中，一般在其制造工序中进行导通检查和动作特性检查等。使用探针将用于与设置于电子部件模块的主体基板连接的端子和检查装置的端子连接，由此进行这些检查。
3.作为这种探针，存在专利文献1所记载的探针。该探针具有：一对触头，它们能够分别与电子部件的电极端子和被连接电子部件的电极端子接触；以及蜿蜒部，其介于一对触头之间，连接一对触头。
4.现有技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：日本特开2002
‑
134202号公报


技术实现要素：

7.发明要解决的课题
8.在所述探针中，各触头构成为以1点与电极端子接触，因此，例如在非导体的异物附着于各触头的末端的情况下，由于该异物而在所述探针与电极端子之间产生导通不良，接触可靠性有时降低。
9.本发明的目的在于，提供接触可靠性高的探针、具有该探针的检查工具和具有该检查工具的检查单元。
10.用于解决课题的手段
11.本发明的一例的探针具有：弹性部，其能够沿着第1方向弹性变形；第1接触部，其设置于所述弹性部的所述第1方向上的一端；以及第2接触部，其设置于所述弹性部的所述第1方向上的另一端，所述第1接触部具有多个触点部，所述多个触点部与中心线分离地配置，并且沿着与所述第1方向交叉的第2方向分别隔开间隔地配置，所述中心线穿过所述弹性部的所述第2方向上的中心且在所述第1方向上延伸，所述多个触点部分别被配置成，随着在所述第2方向上远离所述中心线，在所述第1方向上远离所述弹性部。
12.此外，本发明的一例的检查工具具有：所述探针；以及壳体，其在内部收纳有所述探针，所述探针以如下状态被收纳：所述弹性部以所述第1接触部和第2接触部在所述第1方向上接近的方式弹性变形，所述多个触点部分别能够同时与在所述第2方向上延伸的检查对象物或检查装置的连接端子接触。
13.此外，本发明的一例的检查单元具有至少1个所述检查工具。
14.发明效果
15.根据所述探针，具有：弹性部，其能够沿着第1方向弹性变形；第1接触部，其设置于弹性部的第1方向上的一端；以及第2接触部，其设置于弹性部的第1方向上的另一端。第1接
触部具有多个触点部，该多个触点部与中心线分离地配置，并且沿着与第1方向交叉的第2方向分别隔开间隔地配置，所述中心线穿过弹性部的第2方向上的中心且在第1方向上延伸。各触点部分别被配置成，随着在第2方向上远离中心线，在第1方向上远离弹性部。根据这种结构，例如，在以第1接触部和第2接触部在第1方向上接近的方式压缩探针时，能够使各触点部同时与接触对象物(例如检查对象物或检查装置)接触。即，即使非导体的异物附着于多个触点部中的任意一方，也能够避免在探针与接触对象物之间产生导通不良。其结果是，能够实现接触可靠性高的探针。
16.根据所述检查工具，借助所述探针，能够实现接触可靠性高的检查工具。
17.根据所述检查单元，借助所述检查工具，能够实现接触可靠性高的检查单元。
附图说明
18.图1是示出本发明的一个实施方式的探针的立体图。
19.图2是具有图1的探针的检查工具的剖视图。
20.图3是示出图1的探针的第1接触部的放大平面图。
21.图4是用于说明图1的探针的动作的图2的检查工具的剖视图。
22.图5是示出图1的探针的第1变形例的平面图。
23.图6是示出图1的探针的第2变形例的平面图。
24.图7是示出图1的探针的第3变形例的平面图。
25.图8是示出图1的探针的第4变形例的平面图。
26.图9是示出图1的探针的第5变形例的平面图。
27.图10是示出图1的探针的第6变形例的平面图。
具体实施方式
28.下面，按照附图对本发明的一例进行说明。另外，在以下的说明中，根据需要而使用表示特定的方向或位置的用语(例如包含“上”、“下”、“右”、“左”的用语)，但是，这些用语的使用是为了容易参照附图理解本发明，本发明的技术范围不由这些用语的意思来限定。此外，以下的说明本质上只不过是例示，并不意图限制本发明、其应用物或其用途。进而，附图是示意性的，各尺寸的比率等不一定与现实情况一致。
29.作为一例，如图1所示，本发明的一个实施方式的探针为细长的薄板状，具有导电性，如图2所示，在收纳于绝缘性的壳体100中的状态下被使用，与壳体100一起构成检查工具2。作为一例，在检查工具2中收纳有多个探针10。
30.此外，检查工具2能够构成检查单元1的一部分。例如，如图2所示，在利用一对检查工具2构成检查单元1的情况下，各检查工具2被配置成，后述的探针10的各触点部在与探针10延伸的第1方向x交叉(例如正交)的第2方向y上相邻。
31.如图2所示，各壳体100在其内部具有多个收纳部101(图2中仅示出1个)。各收纳部101具有缝隙状，分别构成为能够电独立地收纳并保持1个探针10。此外，各收纳部101沿着与第1方向x和第2方向y交叉的方向(即图2的纸面贯通方向)排成一列，并且等间隔地配置。
32.如图1和图2所示，各探针10具有：能够沿着第1方向x弹性变形的弹性部20；以及分别设置于该弹性部20的第1方向x上的两端的第1接触部30和第2接触部50。作为一例，各探
针10通过电铸法形成，弹性部20、第1接触部30和第2接触部50沿着第1方向x直列地配置且一体地构成。
33.如图2所示，作为一例，弹性部20由相互隔开间隙23地配置的多个带状弹性片(在该实施方式中为2个带状弹性片)21、22构成。各带状弹性片21、22由在第2方向y上分别延伸的第1横带部24和第2横带部26、以及与各带部24、26连接的1个弯曲带部25构成。
34.第1横带部24和第2横带部26分别在第1方向x上隔开间隙27地配置。第1横带部24的延伸方向的一端与第1接触部30连接，其延伸方向的另一端与弯曲带部25连接。第2横带部26的延伸方向的一端与第2接触部50连接，其延伸方向的另一端与弯曲带部25连接。在各带状弹性片21、22中的最外侧的带状弹性片(即第1横带部24与第2横带部26之间在第1方向x上的距离最远的带状弹性片21)的第2横带部26设置有在第2方向y上延伸的接触面211。该接触面211构成为，在将探针10收纳于壳体100的收纳部101中时，与构成收纳部101的壳体100的内表面接触。各带部24、26相对于第1接触部30和第2接触部50分别配置于第2方向y的相同侧。
35.如图2所示，弯曲带部25相对于中心线cl处于与第1接触部30的主体部31相反的一侧，且与第1横带部24和第2横带部26连接，该中心线cl穿过弹性部20的第2方向y的中心且在第1方向x上延伸。另外，在该实施方式中，设将第1横带部24和弯曲带部25合起来的部分在第2方向y上的最大距离l1的中心为弹性部20的第2方向y的中心。
36.如图2所示，第1接触部30具有多个触点部41、42，该多个触点部41、42在第2方向y上与弹性部20的中心线cl分离地配置，并且沿着第2方向y分别隔开间隔地配置。
37.详细地讲，如图3所示，第1接触部30具有主体部31、以及从主体部31向第1方向x上远离主体部31的方向延伸的多个突起部(在该实施方式中为2个突起部32、33)。
38.主体部31与中心线cl分离地配置，从其板厚方向(即图3的纸面贯通方向)观察，具有在第1方向x上对置的一对侧面311、312和在第2方向y上对置的一对侧面313、314。在主体部31的在第2方向y上对置的一对侧面313、314中的、接近中心线cl的侧面313连接有弹性部20的第1横带部24的延伸方向的一端。
39.主体部31的在第1方向x上对置的一对侧面311、312中的、与第2横带部26对置的侧面311随着在第2方向y上远离中心线cl，向第1方向x上远离第2横带部26的方向倾斜。即，主体部31具有倾斜面311，该倾斜面311在第1方向x上与第2横带部26对置，并且，随着在第2方向y上远离中心线cl，向第1方向x上远离第2横带部26的方向倾斜。该倾斜面311构成为，在以第1接触部30和第2接触部50在第1方向x上接近的方式使弹性部20弹性变形时(即在第1方向x上压缩弹性部20时)，主体部31与弹性部20的第2横带部26和第2接触部50不接触。
40.在主体部31的在第1方向x上对置的一对侧面311、312中的、与倾斜面311相反一侧的侧面312的第2方向y的大致中央设置有各突起部32、33。侧面312的各突起部32、33周围的缘部构成为，如图2所示，在将探针10收纳于壳体100的收纳部101中时，与构成收纳部101的壳体100的内表面接触。
41.各突起部32、33在第2方向y上分别隔开间隙36地配置，各突起部32、33在第1方向x上从主体部31突出的突出量相互不同。在第2方向y上，将远离弹性部20的中心线cl的突起部32设为第1突起部32，将与第1突起部32相比接近中心线cl的突起部33设为第2突起部33。在将各突起部32、33的第1方向x上远离主体部31的端部设为末端部时，各突起部32、33的末
端部分别弯曲，从主体部31到第1突起部32的末端部为止的第1方向x上的最大距离l2比从主体部31到第2突起部33的末端部为止的最大距离l3大。
42.各突起部32、33的末端部构成各触点部41、42。即，各触点部41、42分别被配置成，随着在第2方向y上远离中心线cl，在第1方向x上远离弹性部20。
43.如图2所示，第2接触部50具有在第1方向x上延伸的大致矩形状。第2接触部50的第1方向x上远离弹性部20的末端部为弯曲的尖细状，构成触点部51。
44.参照图2～图4对检查工具2的探针10的动作进行说明。
45.如图2所示，在收纳于壳体100的收纳部101的探针10的第1方向x上的两端配置接触对象物(例如检查对象物或检查装置)的连接端子111、112，该接触对象物分别具有在第2方向y上延伸的接触面113、114。在图2所示的弹性部20被压缩前的状态下，仅第1接触部30的第1突起部32的触点部41与连接端子111接触。当从该状态起，使配置于第1接触部30侧的连接端子111接近第2接触部50侧的连接端子112时，第1接触部30向收纳部101内被推入而绕弯曲带部25旋转，第2突起部33的触点部42逐渐接近连接端子111。此时，如图3所示，第1突起部32的末端部在连接端子111的接触面113上一边滑动接触(wiping)一边旋转。当进一步使配置于第1接触部30侧的连接端子111接近第2接触部50侧的连接端子112时，如图4所示，各触点部41、42同时与连接端子111接触。
46.这样，在探针10中，具有：弹性部20，其能够沿着第1方向x弹性变形；第1接触部30，其设置于弹性部20的第1方向x上的一端；以及第2接触部50，其设置于弹性部20的第1方向x上的另一端。第1接触部30具有多个触点部41、42，该多个触点部41、42与中心线cl分离，并且沿着与第1方向x交叉的第2方向y分别隔开间隔地配置，所述中心线cl穿过弹性部20的第2方向y上的中心且在第1方向x上延伸。各触点部41、42分别配置成，随着在第2方向y上远离中心线cl，在第1方向x上远离弹性部20。根据这种结构，例如，在以第1接触部30和第2接触部50在第1方向x上接近的方式压缩探针10时，能够使各触点部41、42同时与接触对象物接触。即，即使非导体的异物附着于多个触点部41、42中的任意一方，也能够避免在探针10与接触对象物之间产生导通不良。其结果是，能够实现接触可靠性高的探针10。
47.此外，第1接触部30具有：主体部31，其与中心线cl分离地配置，连接有弹性部20的一端；以及多个突起部32、33，它们在第2方向y上分别隔开间隙36地配置，从主体部31向第1方向x上远离主体部31的方向延伸。多个突起部32、33中的第1方向x上远离主体部31的末端部分别构成多个触点部41、42。根据这种结构，能够更加简单地实现接触可靠性高的探针10。
48.此外，弹性部20具有：第1横带部24，其从第1接触部30的主体部31向第2方向y延伸；第2横带部26，其相对于第1横带部24在第1方向x上隔开间隙27地配置；以及弯曲带部25，其相对于中心线cl处于与主体部31相反的一侧，且与第1横带部24和第2横带部26连接。主体部31具有倾斜面311，该倾斜面311在第1方向x上与第2横带部26对置，并且，随着在第2方向y上远离中心线cl，向第1方向x上远离第2横带部26的方向倾斜。根据这种结构，在第1方向x上压缩弹性部20时，能够避免主体部31与弹性部20的第2横带部26和第2接触部50接触。
49.通过这种探针10，能够实现接触可靠性高的检查工具2。此外，通过具有这种探针10的检查工具2，能够实现接触可靠性高的检查单元1。
50.另外，第1接触部30的触点部不限于由2个触点部41、42构成的情况。第1接触部30的触点部例如如图5所示，也可以由3个触点部41、42、43构成，如图6所示，也可以由4个触点部41、42、43、44构成。
51.在图5的探针10中，第1接触部30具有从主体部31向第1方向x上远离主体部31的方向延伸的3个突起部32、33、34，各突起部32、33、34的末端部分别构成触点部41、42、43。各触点部41、42、43分别被配置成，随着在第2方向y上远离中心线cl，在第1方向x上远离弹性部20。
52.在图6的探针10中，第1接触部30具有从主体部31向第1方向x上远离主体部31的方向延伸的4个突起部32、33、34、35，各突起部32、33、34、35的末端部分别构成触点部41、42、43、44。各触点部41、42、43、44分别被配置成，随着在第2方向y上远离中心线cl，在第1方向x上远离弹性部20。
53.各突起部32、33的末端部不限于分别弯曲的情况。例如，如图6所示，各突起部32、33、34、35各自的末端部也可以是三角状，如图7所示，也可以是，各突起部32、33中的任意一方的末端部是四角状。即，第1接触部30的多个突起部的末端部可以采用能够构成能够同时与接触对象物的连接端子接触的多个触点部的任意形状。
54.第2接触部50的触点部不限于由1个触点部51构成的情况。第2接触部50的触点部例如如图8所示，也可以由2个触点部51、52构成。在图8的探针10中，第2接触部50具有沿着第1方向x从末端部朝向弹性部20延伸的槽53。第2接触部50的由槽53分隔的第2方向y的两侧的末端部分别构成触点部51、52。此外，也可以与第2接触部50的触点部、第1接触部30的触点部(例如图2、图5和图6所示的触点部41、42、43、44)同样地构成。
55.弹性部20不限于由2个带状弹性片21、22构成的情况。例如如图9所示，也可以由1个带状弹性片121构成，如图10所示，也可以由3个带状弹性片121、122、123构成。
56.此外，弹性部20不限于由第1横带部24、第2横带部26和弯曲带部25构成的情况。例如，如图10所示，弹性部20也可以是6个带部24、26、124、125、126、127和5个弯曲带部25沿着第1方向x交替连接而成的蜿蜒形状。在图10的探针10中，将如下直线设为弹性部20的中心线cl，该直线穿过将与第1接触部30连接的第1横带部24和弯曲带部25合起来的部分的第2方向y上的最大距离l1的中心、且在第1方向x上延伸。
57.另外，在图10的探针10中，第1接触部30的主体部31不具有倾斜面311(即能够省略倾斜面311)。此外，图10的探针10构成为，在收纳于壳体100的收纳部101中的情况下，最外侧的带状弹性片123的与第1接触部30连接的第1横带部24和与第2接触部50连接的带部127与壳体100的内表面接触。
58.以上参照附图详细说明了本发明中的各种实施方式，但是，最后，对本发明的各种方式进行说明。另外，在以下的说明中，作为一例，还标注参照标号进行记载。
59.本发明的第1方式的探针10具有：弹性部20，其能够沿着第1方向x弹性变形；第1接触部30，其设置于所述弹性部20的所述第1方向x上的一端；以及第2接触部50，其设置于所述弹性部20的所述第1方向x上的另一端，所述第1接触部30具有多个触点部41、42，所述多个触点部41、42与中心线cl分离地配置，并且沿着与所述第1方向x交叉的第2方向y分别隔开间隔地配置，所述中心线cl穿过所述弹性部20的所述第2方向y上的中心且在所述第1方向x上延伸，所述多个触点部41、42分别被配置成，随着在所述第2方向y上远离所述中心线
cl，在所述第1方向x上远离所述弹性部20。
60.根据第1方式的探针10，例如，在以第1接触部30和第2接触部50在第1方向x上接近的方式压缩探针10时，能够使各触点部41、42同时与接触对象物接触。即，即使非导体的异物附着于多个触点部41、42中的任意一方，也能够避免在探针10与接触对象物之间产生导通不良。其结果是，能够实现接触可靠性高的探针10。
61.在本发明的第2方式的探针10中，所述第1接触部30具有：主体部31，其与所述中心线cl分离地配置，连接有所述弹性部20的所述一端；以及多个突起部32、33，它们在所述第2方向y上分别隔开间隙36地配置，从所述主体部31向所述第1方向x上远离所述主体部31的方向延伸，所述多个突起部32、33的所述第1方向x上远离所述主体部31的末端部分别构成所述多个触点部41、42。
62.根据第2方式的探针10，能够更加简单地实现接触可靠性高的探针10。
63.在本发明的第3方式的探针10中，所述弹性部20具有：第1横带部24，其从所述第1接触部30的所述主体部31向所述第2方向y延伸；第2横带部26，其相对于所述第1横带部24在所述第1方向x上隔开间隙27地配置；以及弯曲带部25，其相对于所述中心线cl处于与所述主体部31相反的一侧，且与所述第1横带部24和所述第2横带部26连接，
64.所述主体部31具有倾斜面311，所述倾斜面311在所述第1方向x上与所述第2横带部26对置，并且，随着在所述第2方向y上远离所述中心线cl，向所述第1方向x上远离所述第2横带部26的方向倾斜。
65.根据第3方式的探针10，在第1方向x上压缩弹性部20时，能够避免主体部31与弹性部20的第2横带部26和第2接触部50接触。
66.本发明的第4方式的检查工具2具有：所述探针10；以及壳体100，其在内部收纳有所述探针10，所述探针10以如下状态被收纳：所述弹性部20以所述第1接触部30和所述第2接触部50在所述第1方向x上接近的方式弹性变形，所述多个触点部41、42分别能够同时与在所述第2方向y上延伸的检查对象物或检查装置的连接端子111接触。
67.根据第4方式的检查工具2，借助所述探针10，能够实现接触可靠性高的检查工具2。
68.本发明的第5方式的检查单元1具有至少1个所述检查工具2。
69.根据第5方式的检查单元1，借助所述检查工具2，能够实现接触可靠性高的检查单元1。
70.另外，通过适当组合所述各种实施方式或变形例中的任意实施方式或变形例，能够发挥各自所具有的效果。此外，能够进行实施方式彼此的组合或实施例彼此的组合或实施方式与实施例的组合，并且，还能够进行不同实施方式或实施例中的特征彼此的组合。
71.本发明参照附图与优选的实施方式相关联地进行了充分记载，但是，对于熟练该技术的人来说，各种变形和修正是显而易见的。应该理解到，只要不脱离基于附加的权利要求书的本发明的范围，则这种变形和修正也包含在其中。
72.产业上的可利用性
73.本发明的探针例如能够应用于照相机设备、usb设备、hdmi设备、或qfn设备和son设备等半导体的检查中使用的检查工具。
74.本发明的检查工具例如能够应用于照相机设备、usb设备、hdmi设备、或qfn设备和
son设备等半导体的检查中使用的检查单元。
75.本发明的检查单元例如能够应用于照相机设备、usb设备、hdmi设备、或qfn设备和son设备等半导体的检查中使用的检查装置。
76.标号说明
77.1检查单元
78.2检查工具
79.10探针
80.20弹性部
81.21、22、121、122、123带状弹性片
82.23间隙
83.24第1横带部
84.25弯曲带部
85.26第2横带部
86.27间隙
87.124、125、126、127带部
88.30第1接触部
89.31主体部
90.311倾斜面
91.312、313、314侧面
92.32、33、34、35突起部
93.36间隙
94.41、42、43、44触点部
95.50第2接触部
96.51、52触点部
97.53槽
98.100壳体
99.101收纳部
100.111、112连接端子
101.113、114接触面。