探针、检查工具和检查单元的制作方法

技术特征：
1.一种探针，其具有：弹性部，其能够沿着第1方向弹性变形；第1接触部，其设置于所述弹性部的所述第1方向上的一端；以及第2接触部，其设置于所述弹性部的所述第1方向上的另一端，所述第1接触部具有多个触点部，所述多个触点部与中心线分离地配置，并且沿着与所述第1方向交叉的第2方向分别隔开间隔地配置，所述中心线穿过所述弹性部的所述第2方向上的中心且在所述第1方向上延伸，所述多个触点部分别被配置成，随着在所述第2方向上远离所述中心线，在所述第1方向上远离所述弹性部。2.根据权利要求1所述的探针，其中，所述第1接触部具有：主体部，其与所述中心线分离地配置，连接有所述弹性部的所述一端；以及多个突起部，它们在所述第2方向上分别隔开间隙地配置，从所述主体部向所述第1方向上远离所述主体部的方向延伸，所述多个突起部的所述第1方向上远离所述主体部的末端部分别构成所述多个触点部。3.根据权利要求2所述的探针，其中，所述弹性部具有：第1横带部，其从所述第1接触部的所述主体部向所述第2方向延伸；第2横带部，其相对于所述第1横带部在所述第1方向上隔开间隙地配置；以及弯曲带部，其相对于所述中心线处于与所述主体部相反的一侧，且与所述第1横带部和所述第2横带部连接，所述主体部具有倾斜面，所述倾斜面在所述第1方向上与所述第2横带部对置，并且，随着在所述第2方向上远离所述中心线，向所述第1方向上远离所述第2横带部的方向倾斜。4.一种检查工具，其具有：权利要求1～3中的任意一项所述的探针；以及壳体，其在内部收纳有所述探针，所述探针以如下状态被收纳：所述弹性部以所述第1接触部和所述第2接触部在所述第1方向上接近的方式弹性变形，所述多个触点部分别能够同时与在所述第2方向上延伸的检查对象物或检查装置的连接端子接触。5.一种检查单元，其具有至少1个权利要求4所述的检查工具。

技术总结
探针具有：弹性部，其能够沿着第1方向弹性变形；第1接触部，其设置于弹性部的第1方向上的一端；以及第2接触部，其设置于弹性部的第1方向上的另一端。第1接触部具有多个触点部，该多个触点部与弹性部的和第1方向交叉的第2方向上的中心线分离地配置，并且沿着第2方向分别隔开间隔地配置。多个触点部分别被配置成，随着在第2方向上远离中心线，在第1方向上远离所述弹性部。所述弹性部。所述弹性部。


技术研发人员：笹野直哉 寺西宏真 酒井贵浩
受保护的技术使用者：欧姆龙株式会社
技术研发日：2020.03.19
技术公布日：2021/11/9