硅片吹干设备的制作方法

1.本实用新型涉及硅片生产领域，具体涉及一种硅片吹干设备。


背景技术：

2.在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，这是科学技术进步的又一个里程碑。地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。
3.传统技术存在以下技术问题：
4.硅片制作过程中，需要对清洗后花篮中的硅片进行烘干，现有都是工人手持吹风机进行烘干，效率低。


技术实现要素：

5.本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片吹干设备，效率高。
6.为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片吹干设备，包括：升降装置、花篮、第一硅片传输装置、第二硅片传输装置、上风刀、下风刀和高压风机；所述花篮内放置有多个互相间隔的硅片，所述硅片和水平面平行，所述升降装置承载所述花篮，所述升降装置用于改变所述花篮的高度，所述第一硅片传输装置将所述花篮内的硅片传输到所述第二硅片传输装置上，所述高压风机连接所述上风刀和所述下风刀，所述上风刀位于所述第二硅片传输装置的上侧，所述下风刀位于所述第二硅片传输装置的下侧。
7.本实用新型的有益效果：
8.利用升降装置和第一硅片传输装置将花篮内的硅片依次运输到第二硅片传输装置上，上风刀和下风刀从上下两侧对硅片进行烘干，效率高。
9.在其中一个实施例中，所述第一硅片传输装置包括传输装置机架、驱动电机、电机驱动轮组、传动皮带组和传动轮组；所述驱动电机驱动所述电机驱动轮组旋转，所述电机驱动轮组通过所述传动皮带组带动所述传动轮组；所述传动轮组和所述传输装置机架转动连接。
10.在其中一个实施例中，所述电机驱动轮组包括第一电机驱动轮和第二电机驱动轮；所述第一电机驱动轮和第二电机驱动轮通过电机驱动轴固定连接；所述传动轮组包括第一传动轮和第二传动轮；所述第一传动轮和第二传动轮通过传动驱动轴固定连接；所述传动皮带组包括第一传动皮带和第二传动皮带；所述第一电机驱动轮通过所述第一传动皮带带动所述第一传动轮，所述第二电机驱动轮通过所述第二传动皮带带动所述第二传动轮。
11.在其中一个实施例中，所述第一电机驱动轮上设有圆周均匀分布的第一驱动齿，所述第一传动皮带内侧设有第一传动凹槽，所述第一传动轮上设有圆周均匀分布的第一传动齿；所述第一驱动齿和所述第一传动凹槽互相配合，所述第一传动齿和所述第一传动凹
槽互相配合。
12.在其中一个实施例中，所述第二电机驱动轮上设有圆周均匀分布的第二驱动齿，所述第二传动皮带内侧设有第二传动凹槽，所述第二传动轮上设有圆周均匀分布的第二传动齿；所述第二驱动齿和所述第二传动凹槽互相配合，所述第二传动齿和所述第二传动凹槽互相配合。
13.在其中一个实施例中，所述传输装置机架包括第一框架和第二框架；所述第一框架和所述第二框架互相平行；所述第一框架的长度和所述第二框架的长度相等；所述传输装置机架上设置硅片限位组件，所述硅片限位组件包括第一限位块和第二限位块；所述第一限位块固定在所述第一框架上，所述第二限位块固定在所述第二框架上。
14.在其中一个实施例中，所述高压风机通过上风刀调节阀连接所述上风刀，所述高压风机通过下风刀调节阀连接所述下风刀，所述高压风机吸进的气体先通过空气过滤器进行过滤。
15.在其中一个实施例中，所述第二硅片传输装置包括多个互相平行的传输辊，多个所述传输辊之间的距离相等，多个所述传输辊的高度相等，所述上风刀的吹风口和所述硅片之间的角度为30
°
到50
°
，所述下风刀的吹风口和所述硅片之间的角度为30
°
到50
°
。
16.在其中一个实施例中，所述花篮包括第一侧板、第二侧板和多根花篮杆，所述花篮杆的一端固定在所述第一侧板上，所述花篮杆的另一端固定在所述第二侧板上，所述花篮杆沿其长度方向开设有多个齿槽，所述齿槽用于插设硅片。
17.在其中一个实施例中，所述花篮杆由花篮杆外壳和设置在所述花篮杆外壳内的碳纤维内衬组成，所述花篮杆外壳和所述碳纤维内衬相适配；所述花篮杆外壳采用聚偏氟乙烯材料制成，所述碳纤维内衬是碳纤维棒。
附图说明
18.图1是本实用新型硅片吹干设备的结构示意图。
19.图2是本实用新型硅片吹干设备中第一硅片传输装置的结构示意图。
具体实施方式
20.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
21.参阅图1到图2，一种硅片吹干设备，包括：升降装置100、花篮200、第一硅片传输装置300、第二硅片传输装置、上风刀500、下风刀600和高压风机700；所述花篮内放置有多个互相间隔的硅片，所述硅片和水平面平行，所述升降装置承载所述花篮，所述升降装置用于改变所述花篮的高度，所述第一硅片传输装置将所述花篮内的硅片传输到所述第二硅片传输装置上，所述高压风机连接所述上风刀和所述下风刀，所述上风刀位于所述第二硅片传输装置的上侧，所述下风刀位于所述第二硅片传输装置的下侧。
22.可以理解，升降装置可以采用电机和丝杠等等现有的结构实现，在此不再赘述。
23.具体地，所述花篮包括第一侧板210、第二侧板220和多根花篮杆230，所述花篮杆的一端固定在所述第一侧板上，所述花篮杆的另一端固定在所述第二侧板上，所述花篮杆沿其长度方向开设有多个齿槽，所述齿槽用于插设硅片。
24.更具体地，所述花篮杆由花篮杆外壳和设置在所述花篮杆外壳内的碳纤维内衬组成，所述花篮杆外壳和所述碳纤维内衬相适配；所述花篮杆外壳采用聚偏氟乙烯材料制成，所述碳纤维内衬是碳纤维棒。
25.碳纤维的强度很大，花篮杆中运用碳纤维棒能够保证花篮杆在承载多个硅片时所需要的机械强度。花篮杆的外壳采用聚偏氟乙烯材料，使所述花篮杆外壳具有高强度和耐腐蚀性。
26.具体地，所述第一硅片传输装置包括传输装置机架、驱动电机320、电机驱动轮组330、传动皮带组340和传动轮组350；所述驱动电机驱动所述电机驱动轮组旋转，所述电机驱动轮组通过所述传动皮带组带动所述传动轮组；所述传动轮组和所述传输装置机架转动连接。
27.更具体地，所述电机驱动轮组包括第一电机驱动轮和第二电机驱动轮；所述第一电机驱动轮和第二电机驱动轮通过电机驱动轴331固定连接；所述传动轮组包括第一传动轮和第二传动轮；所述第一传动轮和第二传动轮通过传动驱动轴固定连接；所述传动皮带组包括第一传动皮带和第二传动皮带；所述第一电机驱动轮通过所述第一传动皮带带动所述第一传动轮，所述第二电机驱动轮通过所述第二传动皮带带动所述第二传动轮。
28.也就是说，本实用新型这边可以采用双传动皮带的方案，这样的话，硅片被传动皮带传输时更加平稳。
29.为了使传送皮带传输的更加稳定，传送皮带不容易和电机驱动轮、传动轮之间发生滑动，可以采用以下方式：
30.所述第一电机驱动轮上设有圆周均匀分布的第一驱动齿，所述第一传动皮带内侧设有第一传动凹槽，所述第一传动轮上设有圆周均匀分布的第一传动齿；所述第一驱动齿和所述第一传动凹槽互相配合，所述第一传动齿和所述第一传动凹槽互相配合。所述第二电机驱动轮上设有圆周均匀分布的第二驱动齿，所述第二传动皮带内侧设有第二传动凹槽，所述第二传动轮上设有圆周均匀分布的第二传动齿；所述第二驱动齿和所述第二传动凹槽互相配合，所述第二传动齿和所述第二传动凹槽互相配合。
31.更具体地，所述传输装置机架包括第一框架311和第二框架312；所述第一框架和所述第二框架互相平行；所述第一框架的长度和所述第二框架的长度相等；所述传输装置机架上设置硅片限位组件，所述硅片限位组件包括第一限位块3111和第二限位块3112；所述第一限位块固定在所述第一框架上，所述第二限位块固定在所述第二框架上。
32.可以理解，通过第一限位块和第二限位块方便引导硅片在运输过程中位置不发生左右偏移。
33.具体地，所述高压风机通过上风刀调节阀810连接所述上风刀，所述高压风机通过下风刀调节阀820连接所述下风刀，所述高压风机吸进的气体先通过空气过滤器900进行过滤。
34.由于设置上风刀调节阀和下风刀调节阀，上风刀和下风刀的风量可以方便控制和调节。先通过空气过滤器进行过滤，可以防止杂质进入高压风机。
35.具体地，所述第二硅片传输装置包括多个互相平行的传输辊410，多个所述传输辊之间的距离相等，多个所述传输辊的高度相等，所述上风刀的吹风口和所述硅片之间的角度为30
°
到50
°
，所述下风刀的吹风口和所述硅片之间的角度为30
°
到50
°
。这样的话，硅片上
的水迎着上风刀和下风刀进行反方向吹风，硅片上的水可以快速被吹离硅片表面，达到快速吹干的目的。
36.本实用新型的工作原理如下：
37.利用升降装置和第一硅片传输装置将花篮内的硅片依次运输到第二硅片传输装置上，具体地，升降装置每隔预定时间下降一定的高度即两个相邻硅片的距离，第一硅片传输装置的传动皮带就会利用摩擦力把硅片1000一个接着一个传输到第二硅片传输装置上，然后上风刀和下风刀从上下两侧对硅片进行烘干，效率高。
38.以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。